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    重庆时时彩最大漏洞: 一种金属纳米叉指光栅的制备方法.pdf

    摘要
    申请专利号:

    重庆时时彩单双窍门 www.4mum.com.cn CN201310301646.9

    申请日:

    2013.07.18

    公开号:

    CN104142530A

    公开日:

    2014.11.12

    当前法律状态:

    授权

    有效性:

    有权

    法律详情: 授权|||实质审查的生效IPC(主分类):G02B 5/18申请日:20130718|||公开
    IPC分类号: G02B5/18; G03F7/00 主分类号: G02B5/18
    申请人: 中国科学院物理研究所
    发明人: 李俊杰; 孙伟杰; 李林; 全保刚; 夏晓翔; 顾长志
    地址: 100190 北京市海淀区中关村南三街八号
    优先权: 2013.05.06 CN 201310168003.1
    专利代理机构: 北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙) 11390 代理人: 王艺
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201310301646.9

    授权公告号:

    ||||||

    法律状态公告日:

    2016.08.17|||2014.12.10|||2014.11.12

    法律状态类型:

    授权|||实质审查的生效|||公开

    摘要

    本发明公开了一种金属纳米叉指光栅的制备方法,其包括以下步骤:步骤A:在清洗好的衬底基片上,采用镀膜设备生长一定厚度的金属膜;步骤B:对所述金属膜旋涂光刻胶,采用电子束光刻方法在光刻胶上制备叉指光栅;步骤C:采用离子束刻蚀方法将所述叉指光栅转移到金属膜上;步骤D:在热丙酮溶液中洗去金属膜和叉指光栅上的残胶,再使用微波等离子体去胶机去掉残留有机物。上述制备方法采用了电子束光刻和离子束刻蚀技术,能够实现纳米尺寸的结构加工,精确控制叉指型金属光栅的结构周期,有效的改变光栅的结构周期,缝宽及线宽;且通过本方法制备的叉指光栅,兼有纳米电极和纳米光栅的两种功能。

    权利要求书

    权利要求书
    1.  一种金属纳米叉指光栅的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
    步骤A:在清洗好的衬底基片上,采用镀膜设备生长金属膜;
    步骤B:对所述金属膜旋涂光刻胶,采用电子束光刻方法在光刻胶上制备叉指光栅;
    步骤C:采用离子束刻蚀方法将所述叉指光栅转移到金属膜上;
    步骤D:洗去金属膜和叉指光栅上的残胶,以及去掉上面的残留有机物。

    2.  根据权利要求1所述的金属纳米叉指光栅的制备方法,其特征在于,在步骤A中,所述衬底基板清洗完毕之后,需将其放置于热板上烘烤5-10min。

    3.  根据权利要求1所述的金属纳米叉指光栅的制备方法,其特征在于,在步骤A中,所述金属膜的厚度为30-80nm。

    4.  根据权利要求1所述的金属纳米叉指光栅的制备方法,其特征在于,在步骤B中,所述光刻胶为对电子敏感光刻胶,且旋涂光刻胶之后,采用热板或烘箱对涂有光刻胶烘烤1-2min,烘烤温度为180°。

    5.  根据权利要求1所述的金属纳米叉指光栅的制备方法,其特征在于,在步骤C中,对光刻胶和衬底均有刻蚀效果。

    6.  根据权利要求1所述的金属纳米叉指光栅的制备方法,其特征在于,在步骤A中:对所述衬底基片的清洗是依次采用丙酮、酒精、二次去离子水进行三步超声清洗,每步各清洗3-5min,然后再使用氮气枪吹干。

    7.  根据权利要求1所述的金属纳米叉指光栅的制备方法,其特征在于,在步骤A中,生长金属膜之前,先在衬底基片上先生长一层铬或钛过渡层,然后再在此过渡层上生长金属膜。

    8.  根据权利要求1所述的金属纳米叉指光栅的制备方法,其特征在于,在步骤B中,通过更改曝光剂量来调整光栅图形的尺寸,且曝光结 束之后进行显影和定影,显影时间40s,定影时间30s。

    9.  根据权利要求1所述的金属纳米叉指光栅的制备方法,其特征在于,在步骤C中,离子束刻蚀与样品台的刻蚀角度为10-30°,离子能量为250eV-350eV,离子束刻蚀时间2min-3min。

    10.  根据权利要求1所述的金属纳米叉指光栅的制备方法,其特征在于,在步骤D中,是在热丙酮溶液中洗去金属膜和叉指光栅上的残胶,使用微波等离子体去胶机去掉残留有机物。

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    一种 金属 纳米 光栅 制备 方法
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