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    重庆时时彩龙虎合开奖结果: 基于纳米材料的传感器检测气体的方法.pdf

    摘要
    申请专利号:

    重庆时时彩单双窍门 www.4mum.com.cn CN201611020960.X

    申请日:

    2015.01.22

    公开号:

    CN106404849A

    公开日:

    2017.02.15

    当前法律状态:

    实审

    有效性:

    审中

    法律详情: 实质审查的生效IPC(主分类):G01N 27/12申请日:20150122|||公开
    IPC分类号: G01N27/12 主分类号: G01N27/12
    申请人: 江西师范大学
    发明人: 骆兴芳; 袁彩雷; 易强; 俞挺
    地址: 330022 江西省南昌市紫阳大道99号
    优先权:
    专利代理机构: 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 代理人: 孙佳胤
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201611020960.X

    授权公告号:

    |||

    法律状态公告日:

    2017.03.15|||2017.02.15

    法律状态类型:

    实质审查的生效|||公开

    摘要

    一种基于纳米材料的传感器检测气体的方法,包括:获取第一曲线,所述第一曲线为:在没有待检测气体的环境下,所述传感器的频率与S11的曲线;将所述传感器放置于待检测环境,获取第二曲线,所述第二曲线为:在待检测环境下,所述传感器的频率与S11的曲线;通过比较第一曲线和第二曲线的频移的谐振频率变化与否,检测待检测环境下是否存在待检测气体。本发明实施例的传感器检测气体的方法灵敏度高、检测精度高、兼容性好。

    权利要求书

    1.一种基于纳米材料的传感器检测气体的方法,其特征在于,包括:
    所述传感器包括:具有第一表面和与第一表面相对的第二表面的半导体衬底;位于第
    一表面的第一介质层;位于第二表面的第二介质层;位于第一介质层表面的传输线,且传输
    线具有间隔;填充所述间隔的MoS2纳米结构;位于第二介质层的接地层,所述接地层内具有
    互补开口谐振环,互补开口谐振环的位置与传输线的间隔对应。
    获取第一曲线,所述第一曲线为:在没有待检测气体的环境下,所述传感器的频率与S11
    的曲线;
    将所述传感器放置于待检测环境,获取第二曲线,所述第二曲线为:在待检测环境下,
    所述传感器的频率与S11的曲线;
    通过比较第一曲线和第二曲线的频移的谐振频率变化与否,检测待检测环境下是否存
    在待检测气体。
    2.如权利要求1所述的检测气体的方法,其特征在于,还包括:通过获取待检测环境的
    多条第二曲线,根据多条第二曲线频移的谐振频率变化幅度,来获取待检测环境的待检测
    气体浓度。
    3.如权利要求1所述的检测气体的方法,其特征在于,半导体衬底厚度为400微米至600
    微米,介电常数为11.9;所述第一介质层的材料为氧化硅,所述第一介质层110的厚度为10
    到30微米,所述第一介质层的介电常数为4;所述第二介质层的材料为氧化硅,所述第二介
    质层的厚度为10到30微米,所述第二介质层的介电常数为4;所述传输线长度为11毫米至13
    毫米,宽度为0.6毫米;所述接地层的厚度为5微米至20微米。
    4.如权利要求1所述的检测气体的方法,其特征在于,所述互补开口谐振环的结构为两
    个互相反向放置的同心开口谐振环,其中,较大的开口谐振环的尺寸为:开口为0.3毫米,环
    的内径为5.52毫米,环的外径为5.92毫米;较小的开口谐振环的尺寸为:开口为0.3毫米,环
    的内径为4.72毫米,环的外径为5.12毫米;较大的开口谐振环与较小的开口谐振环的间距
    为0.2毫米。
    5.如权利要求1所述的检测气体的方法,其特征在于,当所述传感器的MoS2纳米结构数
    量为1时,所述传感器的等效电路包括:输入端,所述输入端连接传输线第一等效电感的第
    一端,传输线第一等效电感的第二端连接MoS2纳米结构的等效电阻的第一端,MoS2纳米结构
    的等效电阻的第二端连接MoS2纳米结构的等效电感的第一端,MoS2纳米结构的等效电感的
    第二端连接MoS2纳米结构的等效电容的第一端,MoS2纳米结构的等效电容的第二端连接传
    输线第二等效电感的第一端,传输线第二等效电感的第二端连接输出端,传输线第一等效
    电容的第一端连接传输线第一等效电感的第二端,传输线第一等效电容的第二端连接传输
    线第二等效电容的第一端,传输线第二等效电容的第二端连接传输线第二等效电感的第一
    端;互补开口谐振环的等效电感的第一端连接传输线第一等效电容的第二端,互补开口谐
    振环的等效电容的第一端连接传输线第一等效电容的第二端,互补开口谐振环的等效电感
    的第二端连接互补开口谐振环的等效电容的第二端并接地。

    关 键 词:
    基于 纳米 材料 传感器 检测 气体 方法
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