• 浪潮孙丕恕从信息时代到智能时代 人工智能价值将爆发式释放 2019-12-21
  • 四川郎酒股份有限公司获第十二届人民企业社会责任奖年度环保奖 2019-05-13
  • 银保监会新规剑指大企业多头融资和过度融资 2019-05-12
  • 韩国再提4国联合申办世界杯 中国网友无视:我们自己来 2019-05-11
  • 中国人为什么一定要买房? 2019-05-11
  • 十九大精神进校园:风正扬帆当有为 勇做时代弄潮儿 2019-05-10
  • 粽叶飘香幸福邻里——廊坊市举办“我们的节日·端午”主题活动 2019-05-09
  • 太原设禁鸣路段 设备在测试中 2019-05-09
  • 拜耳医药保健有限公司获第十二届人民企业社会责任奖年度企业奖 2019-05-08
  • “港独”没出路!“梁天琦们”该醒醒了 2019-05-07
  • 陈卫平:中国文化内涵包含三方面 文化复兴表现在其中 2019-05-06
  • 人民日报客户端辟谣:“合成军装照”产品请放心使用 2019-05-05
  • 【十九大·理论新视野】为什么要“建设现代化经济体系”?   2019-05-04
  • 聚焦2017年乌鲁木齐市老城区改造提升工程 2019-05-04
  • 【专家谈】上合组织——构建区域命运共同体的有力实践者 2019-05-03
    • / 12
    • 下载费用:30 金币  

    重庆时时彩稳定找号: 一种非制冷红外焦平面探测器微桥的制作方法和结构.pdf

    关 键 词:
    一种 制冷 红外 平面 探测器 制作方法 结构
      专利查询网所有资源均是用户自行上传分享,仅供网友学习交流,未经上传用户书面授权,请勿作他用。
    摘要
    申请专利号:

    CN201610685286.0

    申请日:

    2016.08.18

    公开号:

    CN106352989A

    公开日:

    2017.01.25

    当前法律状态:

    实审

    有效性:

    审中

    法律详情: 实质审查的生效IPC(主分类):G01J 5/24申请日:20160818|||公开
    IPC分类号: G01J5/24 主分类号: G01J5/24
    申请人: 烟台睿创微纳技术股份有限公司
    发明人: 王宏臣; 杨水长
    地址: 264006 山东省烟台市经济技术开发区贵阳大街11号
    优先权:
    专利代理机构: 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 代理人: 杨立;王博
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201610685286.0

    授权公告号:

    |||

    法律状态公告日:

    2017.03.01|||2017.01.25

    法律状态类型:

    实质审查的生效|||公开

    摘要

    本发明涉及一种非制冷红外焦平面探测器微桥的制作方法和结构,该制作方法包括:在以读出电路为基底的晶圆上制备反射层;在反射层上依次制备绝缘介质层、第一牺牲层和第一支撑层;蚀刻第一支撑层,在反射层上方制备第一通孔;在第一支撑层上依次制备第一电极、第一介质层、第一钝化层、第二牺牲层、第二支撑层、热敏层、?;げ?;蚀刻第二支撑层,在第一电极上方制备第二通孔;蚀刻?;げ?,在热敏层上方制备接触孔;在热敏层及第二支撑层上依次制备第二电极、第二介质层、第二钝化层、第三牺牲层、第三支撑层、第三钝化层;释放各层牺牲层,得到探测器结构。本发明通过三层微桥结构提高了像素结构的有效填充因子及红外吸收效率。

    关于本文
    本文标题:一种非制冷红外焦平面探测器微桥的制作方法和结构.pdf
    链接地址://www.4mum.com.cn/p-6014272.html
    关于我们 - 网站声明 - 网站地图 - 资源地图 - 友情链接 - 网站客服 - 联系我们

    [email protected] 2017-2018 www.4mum.com.cn网站版权所有
    经营许可证编号:粤ICP备17046363号-1 
     


    收起
    展开
  • 浪潮孙丕恕从信息时代到智能时代 人工智能价值将爆发式释放 2019-12-21
  • 四川郎酒股份有限公司获第十二届人民企业社会责任奖年度环保奖 2019-05-13
  • 银保监会新规剑指大企业多头融资和过度融资 2019-05-12
  • 韩国再提4国联合申办世界杯 中国网友无视:我们自己来 2019-05-11
  • 中国人为什么一定要买房? 2019-05-11
  • 十九大精神进校园:风正扬帆当有为 勇做时代弄潮儿 2019-05-10
  • 粽叶飘香幸福邻里——廊坊市举办“我们的节日·端午”主题活动 2019-05-09
  • 太原设禁鸣路段 设备在测试中 2019-05-09
  • 拜耳医药保健有限公司获第十二届人民企业社会责任奖年度企业奖 2019-05-08
  • “港独”没出路!“梁天琦们”该醒醒了 2019-05-07
  • 陈卫平:中国文化内涵包含三方面 文化复兴表现在其中 2019-05-06
  • 人民日报客户端辟谣:“合成军装照”产品请放心使用 2019-05-05
  • 【十九大·理论新视野】为什么要“建设现代化经济体系”?   2019-05-04
  • 聚焦2017年乌鲁木齐市老城区改造提升工程 2019-05-04
  • 【专家谈】上合组织——构建区域命运共同体的有力实践者 2019-05-03
  • 财神爷心水论坛 河北11选5走势图爱彩乐 北单比分sp值开奖 2000炮李逵劈鱼捕鱼机 000338股票行情 老版紫微倒数 山东十一选五 重庆百变王牌历史开奖记录 湖南幸运赛车 今天贵州快三开奖结果 天津11选5开奖走势 竞彩足球比分新浪直播 麻将来了底分最高 广西快乐双彩分布图 网球比分直播 重庆快乐十分钟遗漏