• 四川郎酒股份有限公司获第十二届人民企业社会责任奖年度环保奖 2019-05-13
  • 银保监会新规剑指大企业多头融资和过度融资 2019-05-12
  • 韩国再提4国联合申办世界杯 中国网友无视:我们自己来 2019-05-11
  • 中国人为什么一定要买房? 2019-05-11
  • 十九大精神进校园:风正扬帆当有为 勇做时代弄潮儿 2019-05-10
  • 粽叶飘香幸福邻里——廊坊市举办“我们的节日·端午”主题活动 2019-05-09
  • 太原设禁鸣路段 设备在测试中 2019-05-09
  • 拜耳医药保健有限公司获第十二届人民企业社会责任奖年度企业奖 2019-05-08
  • “港独”没出路!“梁天琦们”该醒醒了 2019-05-07
  • 陈卫平:中国文化内涵包含三方面 文化复兴表现在其中 2019-05-06
  • 人民日报客户端辟谣:“合成军装照”产品请放心使用 2019-05-05
  • 【十九大·理论新视野】为什么要“建设现代化经济体系”?   2019-05-04
  • 聚焦2017年乌鲁木齐市老城区改造提升工程 2019-05-04
  • 【专家谈】上合组织——构建区域命运共同体的有力实践者 2019-05-03
  • 【华商侃车NO.192】 亲!楼市火爆,别忘了买车位啊! 2019-05-03
    • / 7
    • 下载费用:30 金币  

    重庆时时彩人工走势图: 用于氮氧化物传感器的芯片.pdf

    关 键 词:
    用于 氧化物 传感器 芯片
      专利查询网所有资源均是用户自行上传分享,仅供网友学习交流,未经上传用户书面授权,请勿作他用。
    摘要
    申请专利号:

    CN201611226388.2

    申请日:

    2016.12.27

    公开号:

    CN106770578A

    公开日:

    2017.05.31

    当前法律状态:

    实审

    有效性:

    审中

    法律详情: 实质审查的生效IPC(主分类):G01N 27/403申请日:20161227|||公开
    IPC分类号: G01N27/403 主分类号: G01N27/403
    申请人: 东风电子科技股份有限公司
    发明人: 冯涛; 潘莉莉; 王广平; 王红勤; 王作林; 王贵强
    地址: 201114 上海市闵行区浦江镇高科技园区新骏环路88号13幢203室
    优先权:
    专利代理机构: 上海智信专利代理有限公司 31002 代理人: 王洁
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201611226388.2

    授权公告号:

    |||

    法律状态公告日:

    2017.06.23|||2017.05.31

    法律状态类型:

    实质审查的生效|||公开

    摘要

    本发明涉及一种用于氮氧化物传感器的芯片,芯片由第一基片、第二基片、第三基片、第四基片依次层叠而成,第二基片为具有开槽的基片,包括相间隔开的第一区域和第二区域,第一区域依次设置有第一空腔、第二空腔、第三空腔、第四空腔,第三空腔设置有第一氧泵电极,第四空腔设置有测试电极,第二区域设置有参比气体通道和参比电极,第三基片和第四基片之间设置有加热体,加热体的上下表面均设有绝缘层。采用了本发明的芯片,所有的电极都集中在第一基片的正反面,结构简单且减少了一个氧泵电极,可以大幅度的降低工艺难度;测试电极的表面覆盖?;げ?,可以防止烧结时氧泵电极中Au的挥发对测试电极的污染,从而保障测试电极的催化活性不受影响。

    权利要求书

    1.一种用于氮氧化物传感器的芯片,其特征在于,所述的芯片由第一基片、第二基片、
    第三基片、第四基片依次层叠而成,
    所述的第二基片为具有开槽的基片,包括相间隔开的第一区域和第二区域,所述的第
    一区域依次设置有第一空腔、第二空腔、第三空腔、第四空腔,所述的第三空腔设置有第一
    氧泵电极,所述的第四空腔设置有测试电极,所述的第二区域设置有参比气体通道,所述的
    参比气体通道内设置有参比电极,
    所述的第三基片和第四基片之间设置有加热体,所述的加热体的上下表面均设有绝缘
    层。
    2.根据权利要求1所述的用于氮氧化物传感器的芯片,其特征在于,所述的相邻的空腔
    之间设置有一列扩散障碍层。
    3.根据权利要求1所述的用于氮氧化物传感器的芯片,其特征在于,所述的第一基片的
    外表面设置有外电极。
    4.根据权利要求1所述的用于氮氧化物传感器的芯片,其特征在于,所述的外电极和测
    试电极表面均覆盖有多孔?;げ?。
    5.根据权利要求4所述的用于氮氧化物传感器的芯片,其特征在于,所述的外电极的表
    面覆盖的多孔?;げ阄嗫籽趸敛?,所述的测试电极的表面覆盖的多孔?;げ阄嗫准?br />晶石层。
    6.根据权利要求1所述的用于氮氧化物传感器的芯片,其特征在于,所述的绝缘层为致
    密氧化铝层。
    7.根据权利要求1所述的用于氮氧化物传感器的芯片,其特征在于,所述的第一氧泵电
    极包括Pt和质量百分比为1%的Au,所述的测试电极、参比电极以及外电极均为Pt。
    8.根据权利要求1所述的用于氮氧化物传感器的芯片,其特征在于,所述的基片均为氧
    化锆基片。

    说明书

    用于氮氧化物传感器的芯片

    技术领域

    本发明涉及汽车尾气控制系统的设计领域,尤其涉及传感器的芯片,具体是指一
    种用于氮氧化物传感器的芯片。

    背景技术

    随着我国城镇化进程的加速,化石燃料消耗迅速增加,很多的有毒、有害的气体被
    释放到大气中污染环境,其中最典型的一类,就是NOx气体,它不仅会导致光化学烟雾以及
    酸雨、破坏臭氧层,还会对人类的呼吸系统产生副作用,出现脱发、喉咙发炎、视力受损、呼
    吸系统抵抗力下降等症状。因此氮氧化物减排被列为环境?;さ囊笾?。很多的毒理以
    及流行病学研究发现了NOx的副作用。NO2以及NO气体(合称NOx)目前受到较大的关注。这种
    气体在一些道路特别是高人口密度的居住区的浓度较高,这就显得问题更加严重了。研究
    表明,75%的NOx气体是由汽车排放产生的,这其中大约一半是由非道路运输的车辆产生
    的,如工程机械、农业机械等,同时这些机械的寿命要远远大于道路运输车辆,对这些机械
    车辆降低NOx的排放就变得更加有效了。因此人们投入了很大的精力和财力来降低这种气
    体的产生并通过更为严厉的法规来限制这类气体的排放。

    在汽车行业中降低NOx的方法主要有两种,NOx气体捕获以及NOx还原。但是无论哪
    种方法,准确的测定NOx的浓度是首先要解决的问题。

    NOx的测试方法有很多种,如共振电离光谱法、傅立叶转换红外光谱法、气相色谱/
    质谱法、化学发光分析等,这些方法可以很精确的测定NOx的浓度,但是也有很多的缺点,如
    不能在线测试,测试设备体积庞大等。这些缺点导致不能应用于汽车尾气的处理。

    目前基于氧化锆基的电化学电流测试方法NOx传感器是采用6层氧化锆基片叠层
    共烧而成,中间加入了加热体,测试电极、氧泵电极等。它首先通过降低汽车尾气中的O2的
    含量,将尾气中O2含量降到了很低的程度(10~3ppm),NOx气体在测试电极表面分解成N2和
    O2气体,通过测定O2气体产生的电流强度,测试NOx的浓度。这种装置的优点在于可以在线测
    试NOx的浓度,体积小,安装方便。但是缺点也是很明显的,这种芯片制备工艺复杂,有很多
    的制备步骤,有多达8个电极,这些步骤中的任何一步失误的话都会导致前功尽弃。如果简
    化NOx传感器的结构的话,可以提高产品的成品率。

    本发明针对这种情况提出简化结构、减少一个电极的用于氮氧化物传感器的芯
    片。

    发明内容

    本发明的目的是克服了上述现有技术的缺点,提供了一种结构简单、减少氧泵电
    极数,大幅度降低工艺难度、保障测试电极的催化活性的用于氮氧化物传感器的芯片。

    为了实现上述目的,本发明的用于氮氧化物传感器的芯片具有如下构成:

    所述的芯片由第一基片、第二基片、第三基片、第四基片依次层叠而成,

    所述的第二基片为具有开槽的基片,包括相间隔开的第一区域和第二区域,所述
    的第一区域依次设置有第一空腔、第二空腔、第三空腔、第四空腔,所述的第三空腔设置有
    第一氧泵电极,所述的第四空腔设置有测试电极,所述的第二区域设置有参比气体通道,所
    述的参比气体通道内设置有参比电极,

    所述的第三基片和第四基片之间设置有加热体,所述的加热体的上下表面均设有
    绝缘层。

    较佳地,所述的相邻的空腔之间设置有一列扩散障碍层。

    较佳地,所述的第一基片的外表面设置有外电极。

    较佳地,所述的外电极和测试电极表面均覆盖有多孔?;げ?。

    更佳地,所述的外电极的表面覆盖的多孔?;げ阄嗫籽趸敛?,所述的测试电
    极的表面覆盖的多孔?;げ阄嗫准饩?。

    较佳地,所述的绝缘层为致密氧化铝层。

    较佳地,所述的第一氧泵电极包括Pt和质量百分比为1%Au,所述的测试电极、参
    比电极以及外电极均为Pt。

    较佳地,所述的基片均为氧化锆基片。

    采用了该发明中的用于氮氧化物传感器的芯片,可以通过增加氧泵电极的电压
    (V),将第三空腔中的氧浓度降低到很低的程度(10~3ppm),通过监测测试电极和参比电极
    之间的电动势,调整氧泵的电压,将测试电极和参比电极之间的电动势控制在450mV左右,
    NOx气体在测试电极表面分解成N2和O2气体,通过测定测试电极和外电极之间的电流强度I,
    得到NOx的浓度。本发明中所有的氧泵电极、测试电极、参比电极以及外电极都集中在第一
    层基片的正反面,结构简单,工艺步骤简单且减少了一个氧泵电极,可以大幅度的降低工艺
    难度。并且测试电极的表面覆盖?;げ?,可以防止烧结时氧泵电极中Au的挥发对测试电极
    的污染,从而保障了测试电极的催化活性不受影响,只需一次烧结即可完成,从而简化了制
    作过程降低了制作难度。

    附图说明

    图1为本发明的用于氮氧化物传感器的芯片的结构示意图。

    附图标记

    1 第一基片

    2 第二基片

    3 第三基片

    4 第四基片

    5 第一空腔

    6 第二空腔

    7 第三空腔

    8 第四空腔

    9 第一氧泵电极

    10 测试电极

    11 参比气体通道

    12 参比电极

    13 加热体

    14 扩散障碍层

    15 外电极

    16 多孔氧化铝层

    17 多孔尖晶石层

    18 加热体表面绝缘层

    具体实施方式

    为了能够更清楚地描述本发明的技术内容,下面结合具体实施例来进行进一步的
    描述。

    本发明的一种用于氮氧化物传感器的芯片,其中所述的芯片由第一基片、第二基
    片、第三基片、第四基片依次层叠而成,所述的第二基片为具有开槽的基片,包括相间隔开
    的第一区域和第二区域,所述的第一区域依次设置有第一空腔、第二空腔、第三空腔、第四
    空腔,所述的第三空腔设置有第一氧泵电极,所述的第四空腔设置有测试电极,所述的第二
    区域设置有参比气体通道,所述的参比气体通道内设置有参比电极,所述的第三基片和第
    四基片之间设置有加热体,所述的加热体的上下表面均设有绝缘层。

    其中所述的相邻的空腔之间设置有一列扩散障碍层;所述的第一基片的外表面设
    置有外电极;所述的外电极和测试电极表面均覆盖有多孔?;げ?;所述的外电极的表面覆
    盖的多孔?;げ阄嗫籽趸敛?,所述的测试电极的表面覆盖的多孔?;げ阄嗫准饩?br />层;所述的绝缘层为致密氧化铝层;所述的第一氧泵电极包括Pt和质量比为1%Au,所述的
    测试电极、参比电极以及外电极均为Pt;所述的基片均为氧化锆基片。

    如图1所示的本发明的一个具体实施例中,芯片由第一基片1、第二基片2、第三基
    片3、第四基片4依次层叠而成,所述的第二基片2包括相间隔开的第一区域和第二区域,所
    述的第一区域依次设置有第一空腔5、第二空腔6、第三空腔7、第四空腔8,所述的第三空腔7
    设置有第一氧泵电极9,所述的第四空腔8设置有测试电极10,所述的第二区域设置有参比
    气体通道11,所述的参比气体通道11内设置有参比电极12,所述的第三基片和第四基片之
    间设置有加热体13,所述的加热体的上下表面均设有绝缘层,如图1所示,该实施例中提供
    了四个加热体13,但本发明对加热体的数量不作限定。

    其中所述的相邻的空腔之间设置有一列扩散障碍层14,即四个空腔之间设有三列
    扩散障碍层14,以形成空腔,其中,第一空腔和第二空腔作为缓冲空腔;所述的第一基片的
    外表面设置有外电极15;所述的外电极和测试电极表面均覆盖有多孔?;げ?;所述的外电
    极的表面覆盖的多孔?;げ阄嗫籽趸敛?6,所述的测试电极的表面覆盖的多孔?;げ?br />为多孔尖晶石层17;所述的绝缘层18为致密氧化铝层;所述的第一氧泵电极包括Pt和1%
    Au,所述的测试电极、参比电极以及外电极均为Pt;所述的基片均为氧化锆基片。

    在使用时,通过增加氧泵电极的电压(V),将第三空腔中的氧浓度降低到很低的程
    度(10~3ppm),通过监测测试电极和参比电极之间的电动势,调整氧泵的电压。将测试电极
    和参比电极之间的电动势控制在450mV左右,NOx气体在测试电极表面分解成N2和O2气体,通
    过测定测试电极和外电极之间的电流强度I,得到NOx的浓度。

    采用了本发明的用于氮氧化物传感器的芯片,所有的氧泵电极、测试电极、参比电
    极以及外电极都集中在第一基片的正反面,结构简单,工艺步骤简单且减少了一个氧泵电
    极,可以大幅度的降低工艺难度;测试电极的表面覆盖?;げ?,可以防止烧结时氧泵电极中
    Au的挥发对测试电极的污染,从而保障了测试电极的催化活性不受影响。只需一次烧结即
    可完成,从而简化了制作过程降低了制作难度。

    在此说明书中,本发明已参照其特定的实施例作了描述。但是,很显然仍可以作出
    各种修改和变换而不背离本发明的精神和范围。因此,说明书和附图应被认为是说明性的
    而非限制性的。

    关于本文
    本文标题:用于氮氧化物传感器的芯片.pdf
    链接地址://www.4mum.com.cn/p-6004541.html
    关于我们 - 网站声明 - 网站地图 - 资源地图 - 友情链接 - 网站客服 - 联系我们

    [email protected] 2017-2018 www.4mum.com.cn网站版权所有
    经营许可证编号:粤ICP备17046363号-1 
     


    收起
    展开
  • 四川郎酒股份有限公司获第十二届人民企业社会责任奖年度环保奖 2019-05-13
  • 银保监会新规剑指大企业多头融资和过度融资 2019-05-12
  • 韩国再提4国联合申办世界杯 中国网友无视:我们自己来 2019-05-11
  • 中国人为什么一定要买房? 2019-05-11
  • 十九大精神进校园:风正扬帆当有为 勇做时代弄潮儿 2019-05-10
  • 粽叶飘香幸福邻里——廊坊市举办“我们的节日·端午”主题活动 2019-05-09
  • 太原设禁鸣路段 设备在测试中 2019-05-09
  • 拜耳医药保健有限公司获第十二届人民企业社会责任奖年度企业奖 2019-05-08
  • “港独”没出路!“梁天琦们”该醒醒了 2019-05-07
  • 陈卫平:中国文化内涵包含三方面 文化复兴表现在其中 2019-05-06
  • 人民日报客户端辟谣:“合成军装照”产品请放心使用 2019-05-05
  • 【十九大·理论新视野】为什么要“建设现代化经济体系”?   2019-05-04
  • 聚焦2017年乌鲁木齐市老城区改造提升工程 2019-05-04
  • 【专家谈】上合组织——构建区域命运共同体的有力实践者 2019-05-03
  • 【华商侃车NO.192】 亲!楼市火爆,别忘了买车位啊! 2019-05-03
  • 股票涨跌停 股票融资100万一天多少利息 9月股票推荐 股指期货与股票涨跌 上证指数年线图 2007年上证指数 炒股软件 股票行情大盘走势图下载 华旭期货股票配资 2010年10月上证指数 股票指数期货行情 短线股票推荐山鹰王子 股票涨跌怎么看 免费股票分析软件排行榜 手机股票软件 2014年3月5日上证指数