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    重庆时时彩遗漏是什么意思: 一种触摸传感器及其制作方法、触摸显示面板.pdf

    关 键 词:
    一种 触摸 传感器 及其 制作方法 显示 面板
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    摘要
    申请专利号:

    CN201710002011.7

    申请日:

    2017.01.03

    公开号:

    CN106803513A

    公开日:

    2017.06.06

    当前法律状态:

    实审

    有效性:

    审中

    法律详情: 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 27/32申请日:20170103|||公开
    IPC分类号: H01L27/32; G06K9/00 主分类号: H01L27/32
    申请人: 上海天马微电子有限公司
    发明人: 蔡雨
    地址: 201201 上海市浦东新区汇庆路888、889号
    优先权:
    专利代理机构: 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人: 孟金喆;胡彬
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201710002011.7

    授权公告号:

    |||

    法律状态公告日:

    2017.06.30|||2017.06.06

    法律状态类型:

    实质审查的生效|||公开

    摘要

    本发明实施例提供了一种触摸传感器,包括:基底,基底包括相对的第一表面和第二表面,在基底的第一表面设置有多个凹槽,凹槽为条状,多个凹槽相互交叉构成网格状;凹槽包括多个凹槽交叉形成的交叉区域以及交叉区域之外的延伸区域,凹槽底部在所述交叉区域到所述第二表面的垂直距离大于所述凹槽底部在所述延伸区域到所述第二表面的垂直距离;凹槽底部不超出所述第一表面;触控电极,填充于凹槽内。本发明对触控电极的形成能够实现更好的控制,降低了触控电极的制作难度,增强了触控电极工艺稳定性,并且使得触控电极在凹槽内均匀铺展,大大降低了触控电极的断线可能性,从而提高触控电极的触控可靠性。

    权利要求书

    1.一种触摸传感器,其特征在于,包括:
    基底,所述基底包括相对的第一表面和第二表面,在所述基底的第一表面设置有多个
    凹槽,所述凹槽为条状,所述多个凹槽相互交叉构成网格状;
    所述凹槽包括多个凹槽交叉形成的交叉区域以及交叉区域之外的延伸区域,所述凹槽
    底部在所述交叉区域到所述第二表面的垂直距离大于所述凹槽底部在所述延伸区域到所
    述第二表面的垂直距离;
    所述凹槽底部不超出所述第一表面;
    触控电极,填充于所述凹槽内。
    2.根据权利要求1所述的触摸传感器,其特征在于,
    所述凹槽包括沿第一方向延伸的第一凹槽和沿第二方向延伸的第二凹槽,多条第一凹
    槽和多条第二凹槽相互交叉限定出四边形区域,所述四边形区域具有沿第一方向的第一宽
    度和沿第二方向的第二宽度,相邻所述四边形区域之间在所述第一表面第一方向上具有第
    一距离,相邻所述四边形区域之间在第一表面第二方向上具有第二距离。
    3.根据权利要求2所述的触摸传感器,其特征在于,
    所述第一宽度和所述第二宽度相等,所述第一宽度和所述第二宽度为a;
    所述第一距离和所述第二距离相等,所述第一距离和所述第二距离为L。
    4.根据权利要求3所述的触摸传感器,其特征在于,
    在所述交叉区域,所述凹槽底部向所述第一表面凸起;
    所述凸起具有向所述延伸区域延伸的倾斜部,从所述交叉区域向所述延伸区域,所述
    倾斜部的高度逐渐减小。
    5.根据权利要求4所述的触摸传感器,其特征在于,
    所述倾斜部的个数为四个,所述四个倾斜部分别向所述交叉区域两端的第一凹槽延
    伸,以及向所述交叉区域两端的第二凹槽延伸。
    6.根据权利要求5所述的触摸传感器,其特征在于,
    在第一方向或者第二方向上,所述倾斜部垂直于所述第一表面的截面形状为三角形、
    梯形或者弧形。
    7.根据权利要求5所述的触摸传感器,其特征在于,
    向所述第一凹槽延伸的两个倾斜部在第一方向上的最大长度之和小于等于所述第一
    宽度与所述第一距离之和;
    向所述第二凹槽延伸的两个倾斜部在第二方向上的最大长度之和小于等于所述第二
    宽度和与所述第二距离之和。
    8.根据权利要求3所述的触摸传感器,其特征在于,
    所述四边形区域具有倒角。
    9.根据权利要求8所述的触摸传感器,其特征在于,
    所述倒角为45°倒角。
    10.根据权利要求3所述的触摸传感器,其特征在于,
    所述四边形区域具有圆角。
    11.根据权利要求10所述的触摸传感器,其特征在于,
    所述圆角半径R满足:0<R<a/2。
    12.根据权利要求4所述的触摸传感器,其特征在于,
    在所述凹槽的延伸区域,垂直于所述凹槽的延伸方向的截面上,所述凹槽具有多个凹
    槽宽度,从所述第一表面垂直指向所述凹槽底部的方向,所述多个凹槽宽度逐渐减小。
    13.根据权利要求12所述的触摸传感器,其特征在于,
    从所述第一表面垂直指向所述凹槽底部的方向,所述多个凹槽宽度逐渐减小为0。
    14.根据权利要求13所述的触摸传感器,其特征在于,
    在所述凹槽的延伸区域,垂直于所述凹槽的延伸方向的截面上,所述凹槽的截面形状
    为弧形或者三角形。
    15.根据权利要求13所述的触摸传感器,其特征在于,
    所述第一表面到所述凹槽底部的最大垂直距离为H,所述凹槽在垂直于所述凹槽的延
    伸方向的截面上与所述第一表面具有第一交点,所述第一交点与所述凹槽底部的连线与通
    过所述第一交点垂直于所述第一表面的直线之间的夹角为α;
    其中,0<L/H<1,30°<α<60°。
    16.根据权利要求15所述的触摸传感器,其特征在于,
    所述倾斜部具有距离所述第一表面最近的第一顶点和距离所述第一表面最远的第一
    低点,所述第一顶点与所述第一低点的连线与所述第一表面之间的夹角为β,所述第一顶点
    到所述第一表面的垂直距离为h;
    当0≤h≤H/2,β满足:β≤arctan(2(H-h)/(a+L))。
    17.一种触摸显示面板,其特征在于,
    包括如权利要求1~16任意一项所述的触摸传感器。
    18.根据权利要求17所述的触摸显示面板,其特征在于,
    所述触摸显示面板还包括有机发光器件,覆盖所述有机发光器件的薄膜封装层,所述
    触摸传感器直接形成于所述薄膜封装层的表面。
    19.根据权利要求18所述的触摸显示面板,其特征在于,
    所述触摸显示面板还包括有机发光器件,覆盖所述有机发光器件的薄膜封装层,所述
    薄膜封装层包括至少一层有机层和至少两层无机层,所述有机层位于所述两层无机层之
    间;
    所述触摸传感器的基底为所述有机层。
    20.一种触摸传感器的制作方法,其特征在于,包括:
    形成基底,所述基底包括相对的第一表面和第二表面;
    在所述基底的第一表面上形成多个凹槽,所述凹槽相互交叉构成网格状;
    所述凹槽包括多个凹槽交叉形成的交叉区域以及交叉区域之外的延伸区域;所述凹槽
    底部在所述交叉区域到所述第二表面的垂直距离大于所述凹槽底部在所述延伸区域到所
    述第二表面的垂直距离;
    所述凹槽底部不超出所述第一表面;
    形成触控电极,填充于所述凹槽内。
    21.根据权利要求20所述的制作方法,其特征在于,
    通过喷墨打印的方式形成所述基底和所述凹槽。
    22.根据权利要求21所述的制作方法,其特征在于,
    所述喷墨打印的方法包括:形成所述基底的墨滴溶液,喷射所述墨滴溶液,对所述墨滴
    溶液进行固化。
    23.根据权利要求20所述的制作方法,其特征在于,
    形成所述触控电极的步骤包括:将所述触控电极的材料溶解在有机溶剂中形成触控电
    极的电极材料溶液,使用喷墨打印的方式将所述电极材料溶液喷射到所述凹槽的所述交叉
    区域内。
    24.根据权利要求23所述的制作方法,其特征在于,
    所述触控电极的材料为金属;
    所述有机溶剂为:乙基纤维素、硝酸纤维素、聚醋酸乙烯、酮树脂、聚酞胺树脂中的一
    种。

    说明书

    一种触摸传感器及其制作方法、触摸显示面板

    技术领域

    本申请涉及显示技术领域,尤其涉及一种触摸传感器及其制作方法、触摸显示面
    板。

    背景技术

    目前,采用有机发光二极管的柔性显示面板为实现触控功能,通常需在显示面板
    的基础上贴合一层触控模组,导致柔性显示面板不能薄化。为了实现触控式柔性显示面板
    的轻薄化,使用集成技术替代了传统的模组贴合技术,目前的集成技术主要有以下两种:

    一是将触控电极集成在?;つげ?、偏光片或者玻璃盖板,这种方式虽然在一定程
    度上减薄了柔性显示产品,但对?;つげ?、偏光片以及玻璃盖板的制作要求较高。

    二是将触控电极集成在薄膜封装层的表面,触控电极需要经过光刻和湿法刻蚀工
    艺,但是光刻工艺的黄光效应等会损伤有机发光显示面板的发光层,同时湿法工艺过程中
    的酸性或碱性药液容易损伤薄膜封装层中的各膜层。

    发明内容

    本发明提供一种触摸传感器及其制作方法、触摸显示面板,以实现降低触摸传感
    器的生产工艺难度,增强触控电极的连接可靠性,同时有效避免触控电极制作工艺对薄膜
    封装层各膜层材料以及有机发光显示面板中发光元件膜层材料的损伤,提高有机发光显示
    面板工作的可靠性。

    第一方面,本发明实施例提供了一种触摸传感器,包括:基底,基底包括相对的第
    一表面和第二表面,在基底的第一表面设置有多个凹槽,凹槽为条状,多个凹槽相互交叉构
    成网格状;

    凹槽包括多个凹槽交叉形成的交叉区域以及交叉区域之外的延伸区域,凹槽底部
    在所述交叉区域到所述第二表面的垂直距离大于所述凹槽底部在所述延伸区域到所述第
    二表面的垂直距离;

    凹槽底部不超出第一表面;

    触控电极,填充于凹槽内。

    第二方面,本发明实施例还提供了一种触摸显示面板,包括上述触摸传感器。

    第三方面,本发明实施例还提供了一种触摸传感器的制作方法,包括:形成基底,
    基底相对的第一表面和第二表面;

    在基底的第一表面上形成多个凹槽,所述凹槽相互交叉构成网格状;

    凹槽包括多个凹槽交叉形成的交叉区域以及交叉区域之外的延伸区域;

    凹槽底部在交叉区域到所述第二表面的垂直距离大于凹槽底部在延伸区域到第
    二表面的垂直距离;凹槽底部不超出第一表面;

    形成触控电极,触控电极填充于凹槽内。

    本发明实施例通过提供一种触摸传感器及其制作方法、触摸显示面板,在触摸传
    感器的基底上设置凹槽,在凹槽的交叉区域凹槽底部到第二表面的垂直距离大于凹槽底部
    在延伸区域到第二表面的垂直距离,这样的设置方式可以在使用喷墨打印方法形成触控电
    极时,增强触控电极材料的溶液在凹槽内部的流动性,从而使所形成的触控电极均匀稳定,
    对触控电极的形成能够实现更好的控制,降低了触控电极的制作难度,增强了触控电极工
    艺稳定性,并且使得触控电极在凹槽内均匀铺展,大大降低了触控电极的断线可能性,从而
    提高触控电极的触控可靠性。

    附图说明

    图1A为本发明实施例提供的一种触摸传感器的俯视图;

    图1B为图1A中C处凹槽的局部放大图;

    图1C为图1B沿AA的截面图;

    图1D为图1B沿BB的截面图;

    图2为本发明实施例提供的一种凹槽示意图;

    图3A为本发明实施例提供的一种凹槽立体结构示意图;

    图3B为图3A的俯视图;

    图3C为图3B沿AA的截面图;

    图4A~图4C为本发明实施例提供的三种凹槽截面示意图;

    图5为图3B中沿BB的截面图;

    图6A和图6B分别为本发明实施例提供的两种四边形区域的示意图;

    图7A为图6B沿AA的截面示意图;

    图7B~图7C是本发明实施例给出的两种凹槽截面形状示意图;

    图8为本发明实施例提供的一种触摸显示面板;

    图9为本发明实施例提供的另一种触摸显示面板;

    图10是本发明实施例提供的一种触摸传感器的制作方法流程示意图。

    具体实施方式

    下面结合附图和实施例对本发明作进一步的详细说明??梢岳斫獾氖?,此处所描
    述的具体实施例仅仅用于解释本发明,而非对本发明的限定。另外还需要说明的是,为了便
    于描述,附图中仅示出了与本发明相关的部分而非全部结构。并且为了更加清楚的进行说
    明,不同附图之间延用了相同的附图标记。

    本发明实施例提供了一种触摸传感器,包括:基底,基底包括相对的第一表面和第
    二表面,在基底的第一表面设置有多个凹槽,所述凹槽为条状,所述多个凹槽相互交叉构成
    网格状;凹槽包括多个凹槽交叉形成的交叉区域以及交叉区域之外的延伸区域,所述凹槽
    底部在所述交叉区域到所述第二表面的垂直距离大于所述凹槽底部在所述延伸区域到所
    述第二表面的垂直距离;

    凹槽底部不超出所述第一表面;

    触控电极,填充于凹槽内。

    通常,触摸传感器的触控电极直接形成于触摸传感器基底的表面,触控电极的材
    料包括透明氧化铟锡,而在柔性显示面板中,为了增加触控电极的耐弯折性能会采用具有
    良好可挠性和较低阻抗的金属网格电极,对于金属网格的制作工艺可以采用直接以金属油
    墨加以网印的方式。也可以在基底薄膜上涂布整面金属,再透过黄光微影制程,洗去多余成
    分而产生网格。无论哪一种方式,如果将金属网格电极直接形成在有机发光显示面板内部,
    上述制程都会对发光元件造成不良影响。

    本发明实施例采用喷墨打印的方式将触控电极形成在基底上的凹槽内,触控电极
    的电极材料可以为金属,将触控电极的电极材料溶解在有机溶剂内形成触控电极的电极材
    料溶液,然后将电极材料溶液喷印至基底的凹槽内,进入凹槽内的液体沿着凹槽的内壁快
    速流动,形成均匀的电极形状,而后固化,有机溶剂挥发,从而形成触控电极。本发明的实施
    例中,凹槽底部在交叉区域到第二表面的垂直距离大于凹槽底部在延伸区域到第二表面的
    垂直距离,电极材料溶液在交叉区域的位置滴下,能够使得滴在交叉区域的电极材料溶液
    向延伸区域进行流动,从而促使电极材料溶液在凹槽内均匀铺展,从而调控电极材料溶液
    在凹槽内的流速和铺展均匀性,保证形成的触控电极的均一性,降低了触控电极断线的可
    能,并且使得各个的触控电极具有均匀的阻抗,提升触摸传感器的触摸性能。需要说明的
    是,本发明实施例中交叉区域是两个或两个以上条状凹槽交叉形成的区域,而延伸区域是
    凹槽在交叉区域之外的区域。

    下面将结合附图对本发明实施例进行详细的说明,图1A为本发明实施例提供的一
    种触摸传感器的俯视图,图1B为图1A中C处凹槽的局部放大图,图1C为图1B沿AA的截面图,
    图1D为图1B沿BB的截面图。需要说明的是,为了更清楚的示出本发明实施例的技术方案,图
    1B省略了触控电极。结合图1A~1D所示,触摸传感器包括基底100,基底100具有相对的第一
    表面100a和第二表面100b,在基底100的第一表面100a设置有多个凹槽101,凹槽101为条
    状,并且多个凹槽101交叉形成网格状,触控电极102填充于凹槽101,由于触控电极102形成
    在凹槽101内,所以多个交叉的凹槽内填充的触控电极相互之间电连接,形成一个用于检测
    触摸位置的触控电极,凹槽101的交叉方式与需要的触控电极的形状相关,如图1A示出了五
    条沿着第一方向X延伸的凹槽和五条沿着第二方向Y延伸的凹槽相互交叉,组成一个用于位
    置检测的触摸电极的形状,但是本发明并不限定凹槽交叉形成的形状,也不限定交叉的凹
    槽的数目。触控电极102可以为自容式触控电极,也可以为互容式触控电极,当触控电极102
    为互容式触控电极,触控电极102包括触控驱动电极和触控检测电极,以实现触摸位置的检
    测,本发明对此不作限定。

    凹槽101包括多个凹槽交叉形成的交叉区域S和交叉区域S之外的延伸区域E,凹槽
    101底部在交叉区域到第二表面的距离d1大于凹槽101底部在延伸区域到第二表面的距离
    d2,本发明实施例中,参考图1C,凹槽101底部不超出第一表面100a,以保证所形成触控电极
    的平整性和电连接性。

    本发明实施例提供的触摸传感器的结构在通过喷墨打印方式形成触控电极的工
    艺中具有显著的优势,在形成触控电极102之前,在基底100的第一表面上形成多个凹槽
    101,多个凹槽101交叉构成的网格形状限定了触控电极102的形状,触控电极102形成在凹
    槽101内能够有利于触摸传感器的减薄从而降低具有该触摸传感器的触摸显示面板的整体
    的厚度,使用户具有更好的用户体验,另一方面,在凹槽内形成触控电极之前,触控电极的
    电极材料溶解在有机溶剂中,形成电极材料溶液,将电极材料溶液在凹槽的交叉区域进行
    喷印,凹槽底部在交叉区域到第二表面的垂直距离大于凹槽底部在延伸区域到第二表面的
    垂直距离有利于电极材料溶液从交叉区域向凹槽的延伸区域的流动,从而加快电极材料溶
    液在凹槽内部的流动速率,一方面提升了工艺量产可行性,另一方面加强了触控电极的铺
    展均匀性,防止形成的触控电极产生断线,影响触摸传感器的触摸稳定性。

    图2为本发明实施例提供的一种凹槽示意图,如图2所示,凹槽101包括沿第一方向
    X延伸的第一凹槽101a和沿第二方向Y延伸的第二凹槽101b,多条第一凹槽101a和多条第二
    凹槽101b相互交叉限定出四边形区域103,四边形区域103具有沿第一方向X的第一宽度a1
    和沿第二方向Y的第二宽度a2,相邻所述四边形区域103之间在所述第一表面第一方向X上
    具有第一距离L1,相邻所述四边形区域之间在第一表面第二方向Y上具有第二距离L2。

    本发明实施例中凹槽101分为第一凹槽101a和第二凹槽101b,第一凹槽101a沿第
    一方向X延伸,第二凹槽101b沿第二方向Y延伸,横纵交叉的第一凹槽和第二凹槽限定出四
    边形区域,这样的排布方式有利于第一凹槽和第二凹槽的工艺制作,可选的,第一宽度a1和
    第二宽度a2可以相等,均为a,即四边形区域的形状为正方形,第一距离L1和第二距离L2可
    以相等,均为L,这里所述的第一距离和第二距离实际就分别为第二凹槽101b和第一凹槽
    101a在第一表面上的宽度,由于触控电极形成在凹槽内,当第一距离L1和第二距离L2相等,
    有利于触控电极的等阻抗设计,从而提高触摸传感器的触摸性能。

    图3A为本发明实施例提供的一种凹槽立体结构示意图,图3B为图3A的俯视图,图
    3C为图3B沿AA的截面图,结合图3A~图3C,在交叉区域S,凹槽101底部向第一表面100a凸
    起,凸起具有向延伸区域E延伸的倾斜部1011,从交叉区域S向延伸区域E,倾斜部1011的高
    度逐渐减小。如图3B,在交叉区域S,凹槽101底部向第一表面100a凸起,形成倾斜部1011,从
    而和延伸区域E的凹槽底部形成高度差,并且从凹槽区域S向延伸区域E,倾斜部1011的高度
    逐渐减小,如图D1>D2,倾斜部从交叉区域S延伸至延伸区域E,逐渐减小的高度能够使从交
    叉区域滴下的电极材料溶液利用自身重力向延伸区域流动,从而使在交叉区域滴下的电极
    材料溶液均匀的铺展形成触控电极102,减小了触控电极制作的工艺复杂度。

    继续参考图3A,倾斜部1011的个数为四个,四个倾斜部1011分别向交叉区域S两端
    的第一凹槽101a延伸,以及向交叉区域S两端的第二凹槽101b延伸。需要说明的是,这里所
    说的倾斜部的个数为四个是指从一个交叉区域向外延伸的倾斜部的个数为四个,四个倾斜
    部1011分别向构成交叉区域S的第一凹槽101a和第二凹槽101b的两端延伸。倾斜部1011能
    够引导电极材料溶液快速向延伸区域铺展,需要说明的是,图3A示出的倾斜部的形状只是
    示例性的,只要从交叉区域S向延伸区域E倾斜部的高度逐渐减小就在本发明实施例?;さ?br />范围之内。

    图4A~图4C为本发明实施例提供的三种凹槽截面示意图,图4A~4C的倾斜部截面
    为沿着图3A中第一方向X或者第二方向Y垂直于第一表面的截面图,第一表面即图3A中X-Y
    平面,参考图4A~图4C,在第一方向或者第二方向上,倾斜部1011垂直于第一表面的截面形
    状为三角形、梯形或者弧形,图4A示出了倾斜部1011的截面形状为三角形,图4B示出了倾斜
    部1011的截面形状为梯形,图4C示出了倾斜部1011的截面形状为弧形。三角形、梯形以及弧
    形的截面形状使得电极材料溶液的液滴受到的流动的力具有较大的重力方向的分量,有利
    于触控电极溶液的液滴从交叉区域S向延伸区域E的流动。

    继续参考图3A,倾斜部1011从交叉区域向延伸区域延伸,向第一凹槽101a延伸的
    两个倾斜部在第一方向X上的最大长度之和d3小于等于第一宽度a1和第一距离L1之和;向
    第二凹槽101b延伸的两个倾斜部在第二方向Y上的最大长度之和d4小于等于第二宽度a2和
    第二距离L2之和;本发明实施例中一个倾斜部1011的长度可以定义为从交叉区域的中心开
    始,向延伸区域延伸的倾斜部高度不再减小的位置止,两点之间的长度距离为倾斜部1011
    的长度??梢岳斫獾氖?,相邻两个交叉区域在第一方向上的最大距离即为第一宽度和第一
    距离之和,相邻两个交叉区域在第二方向上的最大距离即为第二宽度和第二距离之和。当
    向第一凹槽101a延伸的两个倾斜部在第一方向X上的最大长度之和d3等于第一宽度a1和第
    一距离L1之和,在第一方向延伸的第一凹槽101a的底部将不存在平坦区域;当向第二凹槽
    101b延伸的两个倾斜部在第二方向Y上的最大长度之和d4小于等于第二宽度a2和第二距离
    L2之和,在第二方向延伸的第二凹槽101b的底部将不存在平坦区域,电极材料溶液的液滴
    能够利用自身重力从而具有最好的流动性。

    图5为图3B中沿着BB的截面图,如图5所示,倾斜部1011具有距离所述第一表面
    100a最近的第一顶点P和距离所述第一表面100a最远的第一低点Q,所述第一顶点P与所述
    第一低点Q的连线与所述第一表面100a之间的夹角为β,第一顶点P到所述第一表面的垂直
    距离为h;第一表面100a到凹槽底部的最大垂直距离为H,其中,当0≤h≤H/2,β满足:β≤
    arctan(2(H-h)/(a+L))。

    可以理解的是,凹槽底部不超出第一表面100a,凹槽底部向第一表面100a凸起形
    成向延伸区域延伸的倾斜部1011,由于倾斜部1011从交叉区域向延伸区域的高度逐渐减
    小,倾斜部1011在交叉区域具有距离第一表面最近的第一顶点P,当第一顶点到凹槽底部的
    垂直距离h满足:0≤h≤H/2第一顶点P与第一低点Q的连线与所述第一表面100a之间的夹角
    β不能大于arctan(2(H-h)/(a+L)),当夹角β小于arctan(2(H-h)/(a+L)),倾斜部能够最大
    限度的向延伸区域延展,既能够使从交叉区域滴下的电极材料溶液在凹槽内具有良好的流
    动性,又能够防止倾斜部角度过大导致的触控电极断线。

    可选的,图6A和图6B分别为本发明实施例提供的两种四边形区域的示意图,如图
    6A所示,四边形区域103具有倒角103a,倒角103a可以为45°倒角。本发明实施例中,形成触
    控电极时,电极材料溶液在交叉区域的位置滴下,进入凹槽中,滴下的触控电极溶液从交叉
    区域向凹槽的延伸区域进行流动,四边形区域103的倒角103a,减小了触控电极液滴从凹槽
    的交叉区域向延伸区域流动的阻力,有利于触控电极溶液的液滴从交叉区域向延伸区域的
    快速流动,特别的,45°倒角的设计能够使向第一方向和第二方向流动的电极材料溶液具有
    相同的流体阻力分量,从而使向第一方向和第二方向流动的电极材料溶液具有相同的流
    速,从而有利于触控电极的制作工艺。

    如图6B所示,四边形区域103具有圆角103b,圆角103b的半径R满足:0<R<a/2。圆角
    的设计可以减小流体在沟槽交叉位置的涡流现象,降低液体流动的阻力。

    图7A为图6B沿着AA的截面示意图,参考图7A,在凹槽的延伸区域,垂直于凹槽的延
    伸方向的截面上,凹槽具有多个凹槽宽度w1、w2……wn,从第一表面100a垂直指向凹槽底部
    的方向,多个凹槽宽度逐渐减小,即:w1<w2<……<wn。这样设置的方式使得从凹槽顶部到凹
    槽底部具有一个倾斜角度,使凹槽侧壁对电极材料溶液的压力产生了分量,减小了流体对
    凹槽的直接冲击,从而降低了压差阻力,进而可以有效的减小流体的阻力,加快了电极材料
    溶液的流动,更有利于电极材料溶液在凹槽内铺展开来。

    图7B~图7C是本发明实施例给出的两种凹槽截面形状示意图,参考图7B,在凹槽
    的延伸区域,垂直于凹槽延伸方向的截面上,凹槽的截面形状为三角形,参考图7C,在在凹
    槽的延伸区域,垂直于凹槽延伸方向的截面上,凹槽的截面形状为弧形。在图7B和图7C的实
    施方式中,多个凹槽的宽度逐渐减小为0,即凹槽底部不为平面。此时凹槽的侧壁对流动在
    凹槽内部的液体的压差阻力最小。

    继续参考图7C,第一表面100a到凹槽底部的最大垂直距离为H,凹槽在垂直于凹槽
    延伸方向的截面上与第一表面100a具有第一交点O,第一交点O与凹槽底部的连线OO’与经
    过第一交点O垂直于第一表面100a的直线OM之间的夹角为α,其中,0<L/H<1,30°<α<60°。

    α的角度表征凹槽侧壁向凹槽底部的倾斜程度,L/H的比值代表凹槽侧壁在特定倾
    斜程度下,凹槽向底部的延伸程度。发明人经过研究发现,随着沟槽深度的增加,流淌在沟
    槽里的流体的速度梯度逐渐减小,因而当沟槽深度大于沟槽顶面开口的宽度,30°<α<60°的
    条件下,能够有效减小液体与沟槽壁接触面的粘性阻力。

    图8为本发明实施例提供的一种触摸显示面板,包括上述任一一种触摸传感器,触
    摸显示面板可以为有机发光显示面板,包括有机发光器件110,覆盖有机发光器件110的薄
    膜封装层111,触摸传感器TS直接形成于薄膜封装层111的表面。

    本实施例提供的触摸显示面板可以为有机发光二极管显示面板,触摸显示面板包
    括基底120,基底120可以为柔性基底。柔性基底可以由具有柔性的任意合适的绝缘材料形
    成。例如,柔性基底可以由诸如聚酰亚胺(PI)、聚碳酸酯(PC)、聚醚砜(PES)、聚对苯二甲酸
    乙二醇酯(PET)、聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)、多芳基化合物(PAR)或玻璃纤维增强塑料
    (FRP)等聚合物材料形成。柔性基底可以是透明的、半透明的或不透明的。柔性基底使得触
    摸显示面板能够实现弯曲、卷曲和可折叠等柔性显示。

    缓冲层121位于柔性基底上,缓冲层121可以覆盖柔性基底的整个上表面。在一个
    实施例中,缓冲层包括无机层或有机层。例如,缓冲层可以由从诸如氧化硅(SiOx)、氮化硅
    (SiNx)、氮氧化硅(SiOxNy)、氧化铝(AlOx)或氮化铝(AlNx)等的无机材料或者诸如压克力
    (acryl)、聚酰亚胺(PI)或聚酯等的有机材料中选择的材料形成?;撼宀?21可以包括单层
    或多个层?;撼宀阕璧惭鹾褪?,防止湿气或杂质通过柔性基底扩散,并且在柔性基底的上
    表面上提供平坦的表面。

    薄膜晶体管TFT(Thin Film Transistor)位于缓冲层121上。本发明实施例以顶栅
    型的薄膜晶体管TFT为例进行的结构说明。

    薄膜晶体管TFT包括位于缓冲层121上的半导体有源层122,半导体有源层122包括
    通过掺杂N型杂质离子或P型杂质离子而形成的源极区域122a和漏极区域122b。在源极区域
    122a和漏极区域122b之间的区域是其中不掺杂杂质的沟道区域122c。

    半导体有源层122可以通过非晶硅的结晶使非晶硅改变为多晶硅而形成。

    为了使非晶硅结晶,可以利用诸如快速热退火(RTA)法、固相结晶(SPC)法、准分子
    激光退火(ELA)法、金属诱导结晶(MIC)法、金属诱导横向结晶(MILC)法或连续横向固化
    (SLS)法等各种方法。

    栅绝缘层123包括诸如氧化硅、氮化硅或金属氧化物的无机层,并且可以包括单层
    或多个层。

    栅电极124位于栅绝缘层123上的特定区域中。栅电极124可以包括金(Au)、银
    (Ag)、铜(Cu)、镍(Ni)、铂(Pt)、钯(Pd)、铝(Al)、钼(Mo)或铬(Cr)的单层或多层,或者诸如铝
    (Al):钕(Nd)合金、钼(Mo):钨(W)合金的合金。

    层间绝缘层125位于栅电极124上。层间绝缘层125可以由氧化硅或氮化硅等的绝
    缘无机层形成??裳≡竦?,层间绝缘层可以由绝缘有机层形成。

    源电极126和漏电极127位于层间绝缘层125上。源电极126和漏电极127分别通过
    接触孔电连接(或结合)到源极区域和漏极区域,接触孔是通过选择性地去除栅绝缘层和层
    间绝缘层而形成的。

    钝化层128位于源电极和漏电极上。钝化层128可以由氧化硅或氮化硅等的无机层
    形成或者由有机层形成。

    平坦化层129位于钝化层128上。平坦化层129包括压克力、聚酰亚胺(PI)或苯并环
    丁烯(BCB)等的有机层,平坦化层129具有平坦化作用。

    有机发光器件形成在薄膜晶体管TFT上。

    薄膜封装层位于有机发光器件上。在一个实施例中,薄膜封装层?;し⒐獠愫推?br />它薄层免受外部湿气和氧等的影响。

    通常,直接形成于触摸显示面板内部的触摸传感器通过蒸镀、刻蚀的工艺形成,上
    述工艺中包括清洗等湿法制程,需要薄膜封装层具有优良的阻隔水汽和氧气的能力,才能
    够保证湿法制程不会对薄膜封装层内部的有机发光器件造成影响,这无疑具有很高的工艺
    难度。本发明所提供的触摸传感器TS的结构可以通过喷墨打印的方式形成,因而当触摸传
    感器TS直接形成于薄膜封装层的表面,对发光元件层不会造成影响,降低了对薄膜封装层
    封装性能的要求。触摸传感器TS具有包括多个凹槽的基底,基底包括相对的第一表面和第
    二表面,凹槽为条状,多个凹槽交叉构成网格状,凹槽包括多个凹槽交叉形成的交叉区域以
    及交叉区域之外的延伸区域,凹槽底部在交叉区域到第二表面的垂直距离大于凹槽底部在
    延伸区域到第二表面的垂直距离,凹槽底部不超出第一表面。触控电极通过喷墨打印的方
    式形成于凹槽的内部,触控电极的电极材料在喷印到凹槽内之前先溶解在溶剂中形成电极
    材料溶液,电极材料溶液在交叉区域滴下,由于交叉区域到第二表面的垂直距离大于延伸
    区域到第二表面的垂直距离,电极材料溶液在重力作用下像延伸区域流动,增强了电极材
    料溶液在凹槽内部的流动性和铺展性,所形成的触控电极具有良好的工艺稳定性。由于触
    控电极形成于凹槽内,触摸传感器TS的表面具有良好的平整性,为触摸显示面板的后续膜
    层制备工艺提供了有利条件。并且基材由于具有多个凹槽,增强了触摸传感器的耐弯折性
    能,有利于触摸显示面板的柔性应用。

    通常触控电极选用金属材料,本发明实施例通过将具有上述结构的触摸传感器TS
    直接形成于薄膜封装层的表面,能够降低触摸显示面板的整体厚度,实现显示面板与触摸
    传感器的集成,并且形成于薄膜封装层之上的触摸传感器TS位于触摸显示面板的圆偏光片
    和发光元件层之间,能够降低外部环境光对金属触控电极的反射,减小图形可见的现象。

    图9为本发明实施例提供的另一种触摸显示面板,与图8示出的实施方式不同的
    是,薄膜封装层111包括至少一层有机层111a和至少两层无机层111b,有机层111a位于两层
    无机层111b之间,触摸传感器TS的基材为有机层111a。本发明的实施例将触控电极设置在
    薄膜封装层内,有机层复用为触摸传感器的基材,一方面可以避免外界水汽以及氧气等对
    触控电极的腐蚀,另一方面最大程度的降低了触摸显示面板的厚度,符合轻薄化的发展趋
    势。并且触控电极设置在薄膜封装层的一有机层的第一凹槽结构内,因此可以显著降低触
    控电极在弯折过程中断裂的风险。

    本发明还提供了一种触摸传感器的制作方法,图10是本发明实施例提供的一种触
    摸传感器的制作方法流程示意图;如图10所示,所述制作方法包括:

    S01:形成基底;所述基底包括相对的第一表面和第二表面;

    S02:在所述基底的第一表面上形成多个凹槽,所述凹槽相互交叉构成网格状;

    所述凹槽包括多个凹槽交叉形成的交叉区域以及交叉区域之外的延伸区域;所述
    凹槽底部在所述交叉区域到所述第二表面的垂直距离大于所述凹槽底部在所述延伸区域
    到所述第二表面的垂直距离;

    所述凹槽底部不超出所述第一表面;

    S03:形成触控电极,填充于凹槽内。

    在步骤S01和S02中,形成基底以及基底表面的凹槽可以采用喷墨打印的方式同时
    形成,将基底的材料溶解于溶剂中形成基底的墨滴溶液,将墨滴溶液进行喷射,对喷射出的
    墨滴溶液进行固化,从而形成基底和凹槽,可以通过控制喷射出的墨滴溶液的墨滴大小以
    及控制墨滴溶液的固化时间来控制形成的凹槽的形状和深度。采用喷墨打印的方式能够自
    由灵活的控制所形成的基材的厚度、凹槽的形状、凹槽的间距等,且一次工艺形成,不需要
    经过蒸镀、刻蚀的多道工艺,可选的,在交叉区域形成倾斜部的过程中,倾斜部可以与凹槽
    同时形成,也可以在形成凹槽之后进一步通过喷墨打印的工艺形成倾斜部。

    在步骤S03中,形成所述触控电极的步骤包括:将所述触控电极的材料溶解在所述
    有机溶剂中形成触控电极的电极材料溶液,使用喷墨打印的方式将所述触控电极材料溶液
    喷射到所述凹槽内。

    通常,触摸传感器的触控电极直接形成于触摸传感器基底的表面,触控电极的材
    料包括透明氧化铟锡,而在柔性显示面板中,为了增加触控电极的耐弯折性能会采用具有
    良好可挠性和较低阻抗的金属网格电极,对于金属网格的制作工艺可以采用直接以金属油
    墨加以网印的方式。也可以在基底薄膜上涂布整面金属,再透过黄光微影制程,洗去多余成
    分而产生网格。无论哪一种方式,如果将金属网格电极直接形成在有机发光显示面板内部,
    上述制程都会对发光元件造成不良影响。

    本发明实施例采用喷墨打印的方式将触控电极形成在基材上的凹槽内,凹槽可以
    为条状凹槽,并且多个条状凹槽相互交叉形成网格状,相互交叉的凹槽的数目和交叉所形
    成的网格的形状取决于希望能成的一个用于触摸位置检测的触控电极的形状。触控电极的
    电极材料可以为金属,可选的,可以为金、银或者铜等金属材料。有机溶剂为:乙基纤维素、
    硝酸纤维素、聚醋酸乙烯、酮树脂、聚酞胺树脂中的一种。将触控电极的电极材料溶解在有
    机溶剂内形成触控电极的电极材料溶液,然后将电极材料溶液喷印至基材的凹槽内,可以
    将电极材料溶液在凹槽交叉的区域进行喷印,进入凹槽内的液体沿着凹槽的内壁快速流
    动,形成均匀的电极形状,而后固化,有机溶剂挥发,从而形成触控电极。本发明实施例所形
    成的凹槽,在交叉区域凹槽底部到第二表面的距离大于在延伸区域凹槽底部到第二表面的
    距离,这样的设置方式可以在使用喷墨打印方法形成触控电极时,增强触控电极材料的溶
    液在凹槽内部的流动性,从而使所形成的触控电极均匀稳定,对触控电极的形成能够实现
    更好的控制,降低了触控电极的制作难度,增强了触控电极工艺稳定性,并且使得触控电极
    在凹槽内均匀铺展,大大降低了触控电极的断线可能性,从而提高触控电极的触控可靠性。

    注意,上述仅为本发明的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解,
    本发明不限于这里所述的特定实施例,对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、
    重新调整和替代而不会脱离本发明的?;し段?。因此,虽然通过以上实施例对本发明进行
    了较为详细的说明,但是本发明不仅仅限于以上实施例,在不脱离本发明构思的情况下,还
    可以包括更多其他等效实施例,而本发明的范围由所附的权利要求范围决定。

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