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    重庆时时彩最高: 可溯源的在片高值电阻测量系统及其溯源方法.pdf

    摘要
    申请专利号:

    重庆时时彩单双窍门 www.4mum.com.cn CN201610956483.1

    申请日:

    2016.10.27

    公开号:

    CN106526322A

    公开日:

    2017.03.22

    当前法律状态:

    实审

    有效性:

    审中

    法律详情: 实质审查的生效IPC(主分类):G01R 27/02申请日:20161027|||公开
    IPC分类号: G01R27/02 主分类号: G01R27/02
    申请人: 中国电子科技集团公司第十三研究所
    发明人: 郑世棋; 刘岩; 吴爱华; 乔玉娥; 翟玉卫; 梁法国; 丁晨; 刘霞美
    地址: 050051 河北省石家庄市合作路113号
    优先权:
    专利代理机构: 石家庄国为知识产权事务所 13120 代理人: 王占华
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201610956483.1

    授权公告号:

    |||

    法律状态公告日:

    2017.04.19|||2017.03.22

    法律状态类型:

    实质审查的生效|||公开

    摘要

    本发明公开了一种可溯源的在片高值电阻测量系统,属于测试和测量技术领域??伤菰吹脑谄咧档缱璨饬肯低嘲ǜ咧档缱璨饬恳瞧?、探针系统,高值电阻测量仪器和探针系统通过线缆连接,探针系统包括探针一组和探针二组,所述高值电阻测量仪器与探针一组连接或与探针二组连接。其溯源方法为,高值电阻测量仪器通过线缆与探针一组连接,标准高值电阻通过线缆与探针二组连接;在片直通对接线连接探针一组和探针二组。本发明的测量系统能够提供可溯源的在片高值电阻参数测试数据,使得在片高值电阻测试数据的准确性可验证,不同系统的测试数据之间可比较。其溯源方法可以实现参数溯源并提供关于测试数据的不确定度信息。

    权利要求书

    1.一种可溯源的在片高值电阻测量系统,包括高值电阻测量仪器、探针系统,高值电阻
    测量仪器和探针系统通过线缆连接,其特征在于,所述探针系统包括探针一组和探针二组,
    所述高值电阻测量仪器与探针一组连接或与探针二组连接。
    2.根据权利要求1所述的可溯源的在片高值电阻测量系统,其特征在于,对于不支持
    Guard技术的高值电阻测量仪器,探针一组和探针二组均含2枚探针,2枚探针对应信号Hi和
    信号Lo;对于支持Guard技术的高值电阻测量仪器,每组探针各含3枚探针,对应信号Hi、Lo、
    和Guard。
    3.根据权利要求2所述的可溯源的在片高值电阻测量系统,其特征在于,探针一组和探
    针二组均含2枚探针时,所用的线缆为同轴线缆;探针一组和探针二组均含3枚探针时,所用
    的线缆为三同轴线缆。
    4.一种可溯源的在片高值电阻测量系统的溯源方法,其特征在于,所述高值电阻测量
    仪器通过线缆与探针一组连接,标准高值电阻通过线缆与探针二组连接;
    或者是,所述高值电阻测量仪器与探针二组连接,标准高值电阻与探针一组连接;
    在片直通对接线连接探针一组和探针二组。
    5.根据权利要求4所述的可溯源的在片高值电阻测量系统的溯源方法,其特征在于,对
    于两组探针均含2枚探针的情况,也即探针系统为4探针时,线缆采用同轴线缆,同轴线缆A
    的一端连接高值电阻测量仪器,另一端连接探针H和探针L;同轴线缆B的一端连接标准高值
    电阻,另一端连接探针H’和探针L’; 探针H与探针H’通过在片直通对接线连接,探针L与探
    针L’ 通过在片直通对接线连接,操作在片高值电阻测量系统测量阻值,与标准高值电阻阻
    值比较,即实现参数的溯源;
    对于两组探针均含3枚探针的情况,也即探针系统为6探针时,线缆采用三同轴线缆,三
    同轴线缆A的一端连接高值电阻测量仪器,另一端连接探针H、探针L和探针G;三同轴线缆B
    的一端连接标准高值电阻,另一端连接探针H’、探针L’和探针G’;3根在片直通对接线分别
    将探针H与探针H’连接、探针L与探针L’连接、探针G与探针G’连接,操作在片高值电阻测量
    系统测量阻值,与标准高值电阻阻值比较,即实现参数的溯源。
    6.根据权利要求4所述的可溯源的在片高值电阻测量系统的溯源方法,其特征在于,在
    片直通对接线的结构是在绝缘衬底上设有金属导通线,金属导通线为扁平结构。
    7.根据权利要求6所述的可溯源的在片高值电阻测量系统的溯源方法,其特征在于,金
    属导通线的材料为Au,绝缘衬底的材料为陶瓷或者蓝宝石。
    8.根据权利要求4所述的可溯源的在片高值电阻测量系统的溯源方法,其特征在于,对
    可溯源的在片高值电阻测量系统进行不确定度评价,测量的不确定度分解为以下2项:
    (1) 未修正的系统误差对应的不确定度u1;
    (2) 随机误差对应的不确定度u2;
    u1进一步分解为高值电阻测量仪器的系统误差对应的不确定度u11,对应于R处,以及线
    缆及探针的系统误差对应的不确定度u12,对应于R-A间;
    u11直接采用其说明书技术指标Rspec,按照均匀分布处理来确定,即

    对于不确定度u12,则将R-A间的测量回路扩展为R-B间测量回路,该测量回路包括探针
    一组及线缆、在片直通对接线、探针二组及线缆、标准高值电阻,然后评估R-B间测量回路引
    入的系统误差上限,按照均匀分布处理,作为u12的估计值;
    不确定度具体操作步骤如下:首先使用高值电阻测量仪器直接测量标准高值电阻,对
    应于R处,重复若干次取平均值Rr;然后测量B处的标准高值电阻,重复若干次取平均值Rx;|
    Rr-Rx|作为系统误差上限,即
    (1)
    对于u2,多次测量被测,并取数据的实验标准差S作为的u2估计值,即
    (2)
    合成为标准不确定度:
    (3)
    取扩展系数k = 2,扩展不确定度:
    (4)
    U即测量结果的不确定度。

    关 键 词:
    溯源 片高值 电阻 测量 系统 及其 方法
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