• 四川郎酒股份有限公司获第十二届人民企业社会责任奖年度环保奖 2019-05-13
  • 银保监会新规剑指大企业多头融资和过度融资 2019-05-12
  • 韩国再提4国联合申办世界杯 中国网友无视:我们自己来 2019-05-11
  • 中国人为什么一定要买房? 2019-05-11
  • 十九大精神进校园:风正扬帆当有为 勇做时代弄潮儿 2019-05-10
  • 粽叶飘香幸福邻里——廊坊市举办“我们的节日·端午”主题活动 2019-05-09
  • 太原设禁鸣路段 设备在测试中 2019-05-09
  • 拜耳医药保健有限公司获第十二届人民企业社会责任奖年度企业奖 2019-05-08
  • “港独”没出路!“梁天琦们”该醒醒了 2019-05-07
  • 陈卫平:中国文化内涵包含三方面 文化复兴表现在其中 2019-05-06
  • 人民日报客户端辟谣:“合成军装照”产品请放心使用 2019-05-05
  • 【十九大·理论新视野】为什么要“建设现代化经济体系”?   2019-05-04
  • 聚焦2017年乌鲁木齐市老城区改造提升工程 2019-05-04
  • 【专家谈】上合组织——构建区域命运共同体的有力实践者 2019-05-03
  • 【华商侃车NO.192】 亲!楼市火爆,别忘了买车位啊! 2019-05-03
    • / 12
    • 下载费用:30 金币  

    重庆时时彩稳定: 卧式双端口平面斐索干涉测试装置.pdf

    摘要
    申请专利号:

    重庆时时彩单双窍门 www.4mum.com.cn CN201510189130.9

    申请日:

    2015.04.20

    公开号:

    CN104764593A

    公开日:

    2015.07.08

    当前法律状态:

    授权

    有效性:

    有权

    法律详情: 授权|||实质审查的生效IPC(主分类):G01M 11/02申请日:20150420|||公开
    IPC分类号: G01M11/02 主分类号: G01M11/02
    申请人: 成都太科光电技术有限责任公司; 赵智亮
    发明人: 赵智亮; 陈立华; 林大建; 葛瑞红; 赵子嘉; 郑万国
    地址: 610041四川省成都市高新区科园一路3号
    优先权:
    专利代理机构: 上海精晟知识产权代理有限公司31253 代理人: 冯子玲
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201510189130.9

    授权公告号:

    ||||||

    法律状态公告日:

    2018.08.14|||2015.08.05|||2015.07.08

    法律状态类型:

    授权|||实质审查的生效|||公开

    摘要

    一种用于检测平面光学元件的卧式双端口斐索干涉测试装置,由大测试端口和小测试端口两部分组成,分为大测试端口???、小测试端口???、测试对准???、激光光源??楹捅浣钩上衲?槲甯瞿??。该干涉测试装置可实现φ24mm~600mm口径范围的所有口径平面光学元件反射面形、透射面形、光材料折射率均匀性等参数干涉测试分析。

    权利要求书

    权利要求书
    1.  一种卧式双端口平面斐索干涉测试装置,特征在于其构成包括激光光源???、大测试端口???、小测试端口???、变焦成像??楹筒馐远宰寄?椋?BR>所述的激光光源??榘?32.8nm的标准激光光源(233)和凸透聚焦物镜组(232),沿激光光源(233)输出光束方向依次是凸透聚焦物镜组(232)和第一45°分光反射镜(231);
    所述的小测试端口??橛裳毓馐敖较蛞来蔚牡谝?5°分光反射镜(231)、第二45°分光反射镜(221)、45°切换反射镜(214)、φ120mm口径凸透准直物镜组(213)、φ120mm口径透射标准平面镜(212)和φ120mm口径反射标准平面镜(211)构成,所述的第一45°分光反射镜(231)、第二45°分光反射镜(221)和45°切换反射镜(114)与光路的夹角为45°,所述的φ120mm凸透镜准直物镜组(213)的数值孔径与所述的凸透镜聚焦物镜组(232)的数值孔径相等,且φ120mm凸透准直物镜组(213)的焦点与所述的凸透聚焦物镜组(232)对所述的标准激光光源(233)输出平行光聚焦焦点重合,所述的φ120mm口径透射标准平面镜(212)在光束前进方向上第一面为楔角面,第二面为标准平面参考面,且面形精度PV值优于30nm,该标准平面参考面垂直于φ120mm凸透准直物镜组(213)的光轴,所述的φ120mm口径反射标准平面镜(211)在光前进方向上的第一面为反射标准参考面,且面形精度PV值优于30nm,该φ120mm口径反射标准平面镜(211)垂直于φ120mm口径凸透准直物镜组(213)的光轴,与φ120mm口径透射标准平面镜参考面形成标准干涉测试腔,被测试光学元件置于φ120mm口径透射标准平面镜的标准平面参考面与φ120mm口径标准反射平面镜(211)的反射参考面之间,实现干涉测试;
    所述的大测试端口??橛裳毓饴芬来蔚牡谝?5°分光反射镜(231)、第二45°分光反射镜(221)、45°转折反射镜(104)、φ600mm口径凸透准直物镜组(103)、φ600mm口径透射标准平面镜(102)和φ600mm口径反射标准平面镜(101)构成,第一45°分光反射镜(231)、第二45°分光反射镜(221)和45°转折反射镜(104)与光路的夹角为45°,所述的φ600mm凸透准直物镜组(103)的数值孔径与所述的凸透聚焦物镜组(232)的数值孔径相等,且φ600mm凸透准直物镜组(103)的焦点与所述的凸透聚焦物镜组(232)的焦点重合,所述的φ600mm口径透射标准平面镜(102) 在光前进方向上第一面为楔角面,第二面为标准平面参考面,且面形精度PV值优于63nm,该标准平面参考面垂直于φ600mm口径凸透准直物镜组(103)的光轴,所述的φ600mm口径反射标准平面镜(101)在光前进方向上的第一面为反射标准参考面,且面形精度PV值优于63nm,所述的φ600mm口径反射标准平面镜(101)的反射标准参考面垂直于φ600mm口径凸透准直物镜组(103)的光轴,与φ600mm口径透射标准平面镜(102)的标准平面参考面形成标准干涉测试腔,被测试的大口径光学元件置于φ600mm口径透射标准平面镜的标准平面参考面与φ600mm口径反射标准平面镜的反射标准参考面之间,实现干涉测试;
    所述的小测试端口和大测试端口共用所述的变焦成像??楹筒馐远宰寄??,通过移动所述的45°切换反射镜(214)来分配大端口小端口对变焦成像??楹筒馐远宰寄?榈氖褂萌ǎ核龅?5°切换反射镜(214)具有沿着φ120mm口径准直物镜组(213)的光轴向远离它的方向开放或遮挡所述的大测试端口光路的移动机构,当所述的45°切换反射镜(214)遮挡所述的大测试端口光路时,进行小端口测试,当所述的45°切换反射镜(214)开放所述的大测试端口光路时,进行大端口测试;无论进行小端口测试或大端口测试,在被测元件表面、透射标准平面镜的标准透射参考面和反射标准平面镜的反射标准参考面形成沿原光路返回的干涉测试光;
    所述的干涉测试光沿原光路返回,经所述的第二45°分光反射镜(221)反射后透过第一45°分光反射镜(231),沿该透射光路方向依次的第一凹透镜(241)、第一凸透镜(242)、5倍变焦镜头(243)、第二凸透镜(244)和第二凹透镜(245)和CCD(246)构成所述的变焦成像???,所述的第一凹透镜(241)、第一凸透镜(242)构成一次成像镜头,该一次成像镜头的一次像面与所述的5倍变焦镜头(243)的前焦平面重合,所述的CCD成像镜头由第二凸透镜(244)和第二凹透镜(245)组成,所述的CCD采用1024×1024像素的工业级高分辨率CCD,所述的CCD成像镜头成像在所述的CCD靶面上;最后通过CCD光电转换输出干涉测试图像,通过判读和分析CCD输出干涉图获得被测元件面形数据;
    所述的测试对准??榘F?222)、对准成像镜组(223)和对准成像CMOS(224),所述的干涉测试光沿原光路返回,在透过第二45°分光反射镜(221)的光路上依次是所述的毛玻片(222)、对准成像镜组(223)和对准成像CMOS(224),所述的毛玻片(222)位于所述的φ600mm口径凸透准直物镜组(103)和φ120mm口径凸 透准直物镜组(213)的焦平面上,所述的对准成像镜组(223)和对准成像CMOS(224)对毛玻片(222)全视场成像。

    2.  根据权利要求1所述的卧式双端口平面斐索干涉测试装置,其特征在于所述的φ120mm口径透射标准平面镜的楔角面为5分的楔角。

    3.  根据权利要求1或2所述的卧式双端口平面斐索干涉测试装置,其特征在于所述的φ600mm口径透射标准平面镜的楔角面设置5分的楔角。

    关 键 词:
    卧式 端口 平面 干涉 测试 装置
      专利查询网所有资源均是用户自行上传分享,仅供网友学习交流,未经上传用户书面授权,请勿作他用。
    关于本文
    本文标题:卧式双端口平面斐索干涉测试装置.pdf
    链接地址://www.4mum.com.cn/p-5894722.html
    关于我们 - 网站声明 - 网站地图 - 资源地图 - 友情链接 - 网站客服客服 - 联系我们

    [email protected] 2017-2018 www.4mum.com.cn网站版权所有
    经营许可证编号:粤ICP备17046363号-1 
     


    收起
    展开
  • 四川郎酒股份有限公司获第十二届人民企业社会责任奖年度环保奖 2019-05-13
  • 银保监会新规剑指大企业多头融资和过度融资 2019-05-12
  • 韩国再提4国联合申办世界杯 中国网友无视:我们自己来 2019-05-11
  • 中国人为什么一定要买房? 2019-05-11
  • 十九大精神进校园:风正扬帆当有为 勇做时代弄潮儿 2019-05-10
  • 粽叶飘香幸福邻里——廊坊市举办“我们的节日·端午”主题活动 2019-05-09
  • 太原设禁鸣路段 设备在测试中 2019-05-09
  • 拜耳医药保健有限公司获第十二届人民企业社会责任奖年度企业奖 2019-05-08
  • “港独”没出路!“梁天琦们”该醒醒了 2019-05-07
  • 陈卫平:中国文化内涵包含三方面 文化复兴表现在其中 2019-05-06
  • 人民日报客户端辟谣:“合成军装照”产品请放心使用 2019-05-05
  • 【十九大·理论新视野】为什么要“建设现代化经济体系”?   2019-05-04
  • 聚焦2017年乌鲁木齐市老城区改造提升工程 2019-05-04
  • 【专家谈】上合组织——构建区域命运共同体的有力实践者 2019-05-03
  • 【华商侃车NO.192】 亲!楼市火爆,别忘了买车位啊! 2019-05-03