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    重庆时时彩的遗漏数值: 探针型压力传感器及其制作方法.pdf

    摘要
    申请专利号:

    重庆时时彩单双窍门 www.4mum.com.cn CN201310668841.5

    申请日:

    2013.12.11

    公开号:

    CN104713670A

    公开日:

    2015.06.17

    当前法律状态:

    授权

    有效性:

    有权

    法律详情: 授权|||著录事项变更 IPC(主分类):G01L 1/25变更事项:发明人变更前:樊英民 刘争晖 许耿钊 钟海舰 黄增立 徐科变更后:樊英民 刘争晖 徐耿钊 钟海舰 黄增立 徐科|||实质审查的生效IPC(主分类):G01L 1/25申请日:20131211|||公开
    IPC分类号: G01L1/25 主分类号: G01L1/25
    申请人: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
    发明人: 樊英民; 刘争晖; 许耿钊; 钟海舰; 黄增立; 徐科
    地址: 215125江苏省苏州市工业园区独墅湖高教区若水路398号
    优先权:
    专利代理机构: 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙)31218 代理人: 翟羽
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201310668841.5

    授权公告号:

    |||||||||

    法律状态公告日:

    2017.02.22|||2015.11.04|||2015.07.15|||2015.06.17

    法律状态类型:

    授权|||著录事项变更|||实质审查的生效|||公开

    摘要

    本发明提供一种探针型压力传感器及其制作方法,所述探针型压力传感器包括声表面波延迟线及探针,所述声表面波延迟线包括压电衬底和制作在压电衬底上的声表面波发生器及声表面波接收器,所述声表面波发生器与所述声表面波接收器沿声表面波传播方向相对设置,所述探针制作在压电衬底上并设置在声表面波发生器与声表面波接收器之间,在探针受到力的作用的情况下,声表面波延迟线的相位或频率发生变化。本发明探针型压力传感器的优点在于,其能够实现具有微纳米空间分辨率的力的传感,且获得更高的灵敏度和精确度。

    权利要求书

    权利要求书
    1.  一种探针型压力传感器,其特征在于,包括声表面波延迟线及探针,所述声表面波延迟线包括压电衬底和制作在压电衬底上的声表面波发生器及声表面波接收器,所述声表面波发生器与所述声表面波接收器沿声表面波传播方向相对设置,所述探针制作在压电衬底上并设置在声表面波发生器与声表面波接收器之间,在探针受到力的作用的情况下,声表面波延迟线的相位或频率发生变化。

    2.  根据权利要求1所述的探针型压力传感器,其特征在于,所述压电衬底的材料选自于铌酸锂、石英晶体、III-V族化合物、II-VI族化合物中的一种或几种。

    3.  根据权利要求1所述的探针型压力传感器,其特征在于,所述声表面波发生器及声表面波接收器是导电薄膜制成的梳齿状电极。

    4.  根据权利要求1所述的探针型压力传感器,其特征在于,所述探针具有一针尖,所述针尖的高度为在1微米~1毫米,所述针尖的曲率半径为10纳米~100微米。

    5.  一种权利要求1所述的探针型压力传感器的制作方法,其特征在于,包括如下步骤: 提供一压电衬底; 在所述压电衬底表面沿声表面波传播方向制作声表面波发生器及声表面波接收器; 在制作有声表面波发生器及声表面波接收器的压电衬底上制作探针,所述探针位于声表面波发生器与声表面波接收器之间。

    6.  根据权利要求5所述的制作方法,其特征在于,采用光刻、镀膜微加工方法制作声表面波发生器及声表面波接收器。

    7.  根据权利要求5所述的制作方法,其特征在于,采用光刻工艺和化学沉积或物理沉积的方法制作探针。

    8.  一种权利要求1所述的探针型压力传感器的制作方法,其特征在于,包括如下步骤: 提供一压电衬底; 在所述压电衬底表面制作探针; 在制作有探针的压电衬底表面制作声表面波发生器及声表面波接收器,所述声表面波发生器与所述声表面波接收器沿声表面波传播方向相对设置,所述探针位于声表面波发生器与声表面波接收器之间。

    9.  根据权利要求8所述的制作方法,其特征在于,采用干法刻蚀或湿法腐蚀方法制作探针。

    10.  根据权利要求8所述的制作方法,其特征在于,采用非接触式光刻工艺及剥离和腐蚀的方法制作声表面波发生器与所述声表面波接收器。

    关 键 词:
    探针 压力传感器 及其 制作方法
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