• 四川郎酒股份有限公司获第十二届人民企业社会责任奖年度环保奖 2019-05-13
  • 银保监会新规剑指大企业多头融资和过度融资 2019-05-12
  • 韩国再提4国联合申办世界杯 中国网友无视:我们自己来 2019-05-11
  • 中国人为什么一定要买房? 2019-05-11
  • 十九大精神进校园:风正扬帆当有为 勇做时代弄潮儿 2019-05-10
  • 粽叶飘香幸福邻里——廊坊市举办“我们的节日·端午”主题活动 2019-05-09
  • 太原设禁鸣路段 设备在测试中 2019-05-09
  • 拜耳医药保健有限公司获第十二届人民企业社会责任奖年度企业奖 2019-05-08
  • “港独”没出路!“梁天琦们”该醒醒了 2019-05-07
  • 陈卫平:中国文化内涵包含三方面 文化复兴表现在其中 2019-05-06
  • 人民日报客户端辟谣:“合成军装照”产品请放心使用 2019-05-05
  • 【十九大·理论新视野】为什么要“建设现代化经济体系”?   2019-05-04
  • 聚焦2017年乌鲁木齐市老城区改造提升工程 2019-05-04
  • 【专家谈】上合组织——构建区域命运共同体的有力实践者 2019-05-03
  • 【华商侃车NO.192】 亲!楼市火爆,别忘了买车位啊! 2019-05-03
    • / 7
    • 下载费用:30 金币  

    重庆时时彩2018: 一种二极管裸晶圆高速双针测试装置.pdf

    关 键 词:
    一种 二极管 裸晶圆 高速 测试 装置
      专利查询网所有资源均是用户自行上传分享,仅供网友学习交流,未经上传用户书面授权,请勿作他用。
    摘要
    申请专利号:

    CN201510111796.2

    申请日:

    2015.03.13

    公开号:

    CN104678273A

    公开日:

    2015.06.03

    当前法律状态:

    授权

    有效性:

    有权

    法律详情: 专利权人的姓名或者名称、地址的变更IPC(主分类):G01R 31/26变更事项:专利权人变更前:秦皇岛视听机械研究所变更后:秦皇岛视听机械研究所有限公司变更事项:地址变更前:066000 河北省秦皇岛市海港区河北大街中段165号变更后:066000 河北省秦皇岛市海港区河北大街中段165号|||授权|||实质审查的生效IPC(主分类):G01R 31/26申请日:20150313|||公开
    IPC分类号: G01R31/26(2014.01)I 主分类号: G01R31/26
    申请人: 秦皇岛视听机械研究所
    发明人: 杨刚; 孟宪圆; 杨锋; 于国辉
    地址: 066000河北省秦皇岛市海港区河北大街中段165号
    优先权:
    专利代理机构: 秦皇岛市维信专利事务所(普通合伙)13102 代理人: 戴辉
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201510111796.2

    授权公告号:

    |||||||||

    法律状态公告日:

    2018.02.27|||2017.09.29|||2015.07.01|||2015.06.03

    法律状态类型:

    专利权人的姓名或者名称、地址的变更|||授权|||实质审查的生效|||公开

    摘要

    本发明公开了一种二极管裸晶圆高速双针测试装置,包括第一、第二测试针、用于安放待测裸晶圆芯片的裸晶圆吸片台,及测试仪,该测试仪弹片及其上的弹片触点、该触点与气缸上的触点相对应,当给测试仪表测试信号时,电磁阀驱动气缸上的触点与弹片触点接触,通过第一测试针接触待测裸晶圆上的单颗芯片与测试仪形成闭合回路,实现对待测裸晶圆上单颗芯片的测试,测试结束后,电磁阀驱动气缸上的触点与弹片触点脱离,形成断开电路,同理,电磁阀驱动第二测试针所在的电路形成闭合回路,对第二测试针正下方的芯片进行测试。即可实现裸晶圆上两颗芯片的测试,大大提高了裸晶圆的测试效率。

    权利要求书

    权利要求书
    1.  一种二极管裸晶圆高速双针测试装置,其特征是,包括:
    第一测试针(1)和第二测试针(2);
    一个裸晶圆吸片台(3),该裸晶圆吸片台(3)用于放置待测裸晶圆芯片(4);
    一个测试仪,该测试仪包括安装板(5),及安装板(5)上设置的弹片绝缘垫块(7),其上对称设有向两侧延伸的弹片(8)及其上的两个弹片触点(9),与两个弹片触点(9)相对应的一侧对称设有触点安装座(11),每一触点安装座(11)的一端设有与弹片触点(9)相对应的两个触点(10),触点安装座(11)另一端与气缸(13)连接,所述的气缸(13)上带有第一进气接头(14)和第二进气接头(15),还包括安装板(5)上安装有电磁阀(17),所述的电磁阀(17)上带有第一接头(16)、第二接头(19)和气源接头(18),所述的第一接头(16)和第二接头(19)分别通过气管与气缸(13)上的第一进气接头(14)和第二进气接头(15)连接,所述气源接头(18)通过气管与外接的气源连接,测试时,两个弹片触点(9)和两个触点(10)组成的电极端与第一测试针(1)和第二测试针(2)的一端连接,第一测试针(1)和第二测试针(2)的另一端与裸晶圆吸片台(3)上的待测裸晶圆芯片(4)接触。

    2.  根据权利要求1所述的一种二极管裸晶圆高速双针测试装置,其特征是,所述的测试仪是一个具有 X/Y/Z三个方向运动的平台。

    3.  根据权利要求1所述的一种二极管裸晶圆高速双针测试装置,其特征是,所述的弹片(8)安装在弹片绝缘垫块(7)上,该弹片绝缘垫块(7)为绝缘材料。

    4.  根据权利要求1所述的一种二极管裸晶圆高速双针测试装置,其特征是,所述的弹片(8)安装在弹片安装架(6)上,该弹片安装架(6)为L型。

    5.  根据权利要求1所述的一种二极管裸晶圆高速双针测试装置.其特征是,所述的弹片(8)为T型。

    说明书

    说明书一种二极管裸晶圆高速双针测试装置
    技术领域
    本发明专利涉及一种二极管裸晶圆高速双针测试装置。
    背景技术
    一直以来,对二极管裸晶圆测试都采用人工抽检测试或者单针全检测,一个裸晶圆上分布着上千乃至数万个芯片,采用人工测试只能实现抽测,无法进行整个裸晶圆上芯片的全部测试,会造成漏测,影响到后道工序成品的质量,采用现有的单针测试探针台,每次测试完裸晶圆上单颗芯片,裸晶圆吸片台自动移至下一颗芯片的位置进行测试,由于裸晶圆上芯片尺寸小,对裸晶圆吸片台的移动机构的精度要求较高,频繁的移动还会造成设备的快速磨损,如果简单的采用双针同时测试,由于二极管自身的特性,会造成测试不准确及测试仪表的损坏。
    发明内容
    鉴于上述现状,本发明的目的是提供一种二极管裸晶圆高速双针测试装置,能高速有效地对裸晶圆上的芯片实现高速测试。
    为实现上述目的,本发明的技术解决方案是,一种二极管裸晶圆高速双针测试装置, 包括:
    第一测试针和第二测试针;
    一个裸晶圆吸片台,该裸晶圆吸片台用于放置待测裸晶圆芯片;
    一个测试仪,该测试仪包括安装板,及安装板上设置的弹片绝缘垫块,其上对称设有向两侧延伸的弹片及其上的两个弹片触点,与两个弹片触点相对应的一侧对称设有触点安装座,每一触点安装座的一端设有与弹片触点相对应的两个触点,触点安装座另一端与气缸连接,所述的气缸上带有第一进气接头和第二进气接头,还包括安装板上安装有电磁阀,所述的电磁阀上带有第一接头、第二接头和气源接头,所述的第一接头和第二接头分别通过气管与气缸上的第一进气接头和第二进气接头连接,所述气源接头通过气管与外接的气源连接,测试时,两个弹片触点和两个触点组成的电极端与第一测试针和第二测试针的一端连接,第一测试针和第二测试针的另一端与裸晶圆吸片台上的待测裸晶圆芯片接触。因此,当给测试仪表测试信号时,电磁阀驱动气缸带动触点与弹片触点接触,第一测试针、待测裸晶圆上的单颗芯片和测试仪形成闭合回路,实现对待测裸晶圆上单颗芯片的测试,测试结束后,电磁阀驱动气缸带动触点与弹片触点脱离,形成断开电路,同理,电磁阀驱动第二测试针所在的电路形成闭合回路,对第二测试针正下方的芯片进行测试。
    本发明中,所涉及的测试仪是一个具有 X/Y/Z三个方向运动的平台。
    进一步地,所述的弹片安装在弹片绝缘垫块上,该弹片绝缘垫块为绝缘材料。
    进一步地,所述的弹片安装在弹片安装架上,该弹片安装架为L型。
    进一步地.所述的弹片为T型。
    本发明具有的效果是,设计了专门用于测试裸晶圆上的芯片测试仪,通过高速双针测试装置,能高速有效地对裸晶圆上的数量较多的芯片实现高速测试。保证了裸晶圆上芯片的全部测试,无漏测,及后道工序成品的质量。解决了传统人工测试只能完成抽测,单针测试效率低,易漏测,而且频繁的移动测试还会造成设备的快速磨损。
    附图说明
    图1a、b是本发明的示意图;
    图2是图1中的电磁阀示意图;
    图3是图1中的弹片绝缘垫块上的弹片及弹片触点示意图。
    具体实施方式
    下面结合附图实施例,对本发明作进一步详细描述。
    参见图1至图示3,所述的测试仪,包括安装板5,及安装板5上设置的弹片安装架6,本实施例所述的弹片安装架6为L型,在所述弹片安装架6一侧安装有弹片绝缘垫块7,所述的弹片绝缘垫块7为绝缘材料,该弹片绝缘垫块7一侧对称设有向两侧延伸的第一弹片8和第二弹片8-1,及其上铆接的第一弹片触点9和第二弹片触点9-1,所述的第一弹片8和第二弹片8-1为T型,与第一弹片8和第二弹片8-1上的第一弹片触点9和第二弹片触点9-1相对应的一侧对称设有第一触点安装座11和第二触点安装座11-1,该第一触点安装座11和第二触点安装座11-1一端设有与第一弹片触点9和第二弹片触点9-1相对应的第一触点10和第二触点10-1,第一触点安装座11和第二触点安装座11-1另一端连接第一气缸连接座12和第二气缸连接座12-1,通过第一气缸连接座12和第二气缸连接座12与第一气缸13和第二气缸13-1连接,所述的第一气缸13和第二气缸13-1上分别带有的第一进气接头14、第二进气接头15和第三进气接头14-1、第四进气接头15-1,还包括安装板5上安装有第一电磁阀17和第二电磁阀17-1,所述的第一电磁阀17和第二电磁阀17上分别带有第一接头16、第二接头19和第三接头16-1和第四接头19-1,所述的第一接头16、第二接头19和第三接头16-1、第四接头19-1分别通过气管与第一气缸13上的第一进气接头14、第二进气接头15及第二13-1上的第三进气接头14-1、第四进气接头15-1连接,所述电第一电磁阀17和第二电磁阀17-1上设有第一气源接头18和第二气源接头18-1,该第一气源接头18和第二气源接头18-1分别通过气管与外接的气源连接。
    本发明的裸晶圆吸片台3安装在具有X/Y/Z三个方向运动的测试仪平台上,通过测试仪平台Z向的提升与第一测试针1 和第二测试针2的接触,通过X/Y/Z轴的运动,可以将待测裸晶圆芯片4移至第一测试针1和第二测试针2的正下方并接触,当第一测试针1与芯片接触时,第一电磁阀17动作,气体由第一接头16流经第一进气接头14进入第一气缸13,第一气缸带动触点10与弹片触点9接触,将芯片、第一测试针1和测试仪导通,来实现第一测试针1正下方芯片的测试,测试结束后,第一电磁阀17动作,气体由第一接头19流经第一进气接头15进入第一气缸13,第一气缸带动第一触点10与第一弹片触点9脱离,将芯片、第一测试针1和测试仪断开,同时,第二测试针2与芯片接触时,第二电磁阀17-1动作,气体由第一接头16-1流经第二进气接头14-1进入第二气缸13-1,第二气缸带动触点10-1与第二弹片触点9-1接触,将芯片、第二试针2和测试仪导通,来实现第二试针2正下方芯片的测试,可以大大缩减裸晶圆吸片台3安装在具有X/Y/Z三个方向运动时间和平台的运行精度,大大提高了芯片的测试效率,依照此方法也可以实现四个芯片的同时测试,乃至多个芯片的测试。
    当给测试仪表测试信号时,电磁阀驱动气缸带动触点与弹片触点接触,第一测试针1、待测裸晶圆上的单颗芯片和测试仪形成闭合回路,实现对待测裸晶圆上单颗芯片的测试,测试结束后,电磁阀驱动气缸带动触点与弹片触点脱离,形成断开电路,同理,电磁阀驱动第二测试针2所在的电路形成闭合回路,对第二测试针2正下方的芯片进行测试。

    关于本文
    本文标题:一种二极管裸晶圆高速双针测试装置.pdf
    链接地址://www.4mum.com.cn/p-5887153.html
    关于我们 - 网站声明 - 网站地图 - 资源地图 - 友情链接 - 网站客服 - 联系我们

    [email protected] 2017-2018 www.4mum.com.cn网站版权所有
    经营许可证编号:粤ICP备17046363号-1 
     


    收起
    展开
  • 四川郎酒股份有限公司获第十二届人民企业社会责任奖年度环保奖 2019-05-13
  • 银保监会新规剑指大企业多头融资和过度融资 2019-05-12
  • 韩国再提4国联合申办世界杯 中国网友无视:我们自己来 2019-05-11
  • 中国人为什么一定要买房? 2019-05-11
  • 十九大精神进校园:风正扬帆当有为 勇做时代弄潮儿 2019-05-10
  • 粽叶飘香幸福邻里——廊坊市举办“我们的节日·端午”主题活动 2019-05-09
  • 太原设禁鸣路段 设备在测试中 2019-05-09
  • 拜耳医药保健有限公司获第十二届人民企业社会责任奖年度企业奖 2019-05-08
  • “港独”没出路!“梁天琦们”该醒醒了 2019-05-07
  • 陈卫平:中国文化内涵包含三方面 文化复兴表现在其中 2019-05-06
  • 人民日报客户端辟谣:“合成军装照”产品请放心使用 2019-05-05
  • 【十九大·理论新视野】为什么要“建设现代化经济体系”?   2019-05-04
  • 聚焦2017年乌鲁木齐市老城区改造提升工程 2019-05-04
  • 【专家谈】上合组织——构建区域命运共同体的有力实践者 2019-05-03
  • 【华商侃车NO.192】 亲!楼市火爆,别忘了买车位啊! 2019-05-03
  • 北京pk10定位胆规则 聚宝盆人工计划 3d和值走势图带坐标连线 彩世家下载 老时时开奖记录结果 彩票大奖都是假的吗 微信投票赚钱软件正规 悠洋棋牌游戏 中国象棋下载电脑版 彩神计划手机版苹果 秒速时时两面技巧 波音博大玩家 做生意不赚钱女朋友嫌弃我 福彩快三能玩吗 10万炮捕鱼内购破解版 爱上女蒲团2