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    重庆时时彩选号秘诀: APM皮带速度实时监控装置及方法.pdf

    关 键 词:
    APM 皮带 速度 实时 监控 装置 方法
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    摘要
    申请专利号:

    CN201310641632.1

    申请日:

    2013.12.03

    公开号:

    CN104678121A

    公开日:

    2015.06.03

    当前法律状态:

    驳回

    有效性:

    无权

    法律详情: 发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G01P 3/36申请公布日:20150603|||实质审查的生效IPC(主分类):G01P 3/36申请日:20131203|||公开
    IPC分类号: G01P3/36 主分类号: G01P3/36
    申请人: 上?;绾炅Π氲继逯圃煊邢薰?
    发明人: 周俊; 严玮; 程望阳
    地址: 201203上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号
    优先权:
    专利代理机构: 上海浦一知识产权代理有限公司31211 代理人: 丁纪铁
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201310641632.1

    授权公告号:

    ||||||

    法律状态公告日:

    2019.03.15|||2015.07.01|||2015.06.03

    法律状态类型:

    发明专利申请公布后的驳回|||实质审查的生效|||公开

    摘要

    本发明公开了一种APM皮带速度实时监控装置,该装置主要包括金属滚轮,安装在皮带下方,并和皮带直接接触,接触面长度在两厘米以上。本发明还公开了基于上述装置实时监控APM皮带速度的方法。本发明通过在皮带下方加装滚轮,与皮带形成反向同步运动系统,利用滚轮的转速,监控皮带的速度,避免了多重转换和以小带大的问题,实现了APM皮带速度的实时、有效监控。

    权利要求书

    权利要求书
    1.  APM皮带速度实时监控装置,其特征在于,包括金属滚轮,安装在皮带下方,并和皮 带直接接触,接触面长度在2厘米以上。

    2.  根据权利要求1所述的装置,其特征在于,还包括基座,安装在皮带下方,所述基座 包括框体、压簧和连接面板,所述框体和压簧用于弹压滚轮与皮带正面接触产生反向同步运 动,所述连接面板用于将滚轮连接在基座上。

    3.  根据权利要求1或2所述的装置,其特征在于,还包括计速装置,所述计速装置带有 一个圆盘,圆盘边缘设计有缺口,圆盘边缘前后设置有激光发射源和接收源,该圆盘通过另 一条皮带与滚轮相连并同步运动;所述计速装置还内置有速度计算???,用于将圆盘转动速 度转化为皮带速度。

    4.  根据权利要求1或2所述的装置,其特征在于,所述滚轮与皮带呈45度角接触。

    5.  根据权利要求3所述的装置,其特征在于,所述滚轮与皮带呈45度角接触。

    6.  APM皮带速度实时监控方法,其特征在于,步骤包括:
    1)在皮带下方安装金属滚轮和皮带直接接触;
    2)皮带运转,带动滚轮反向同步转动;
    3)监测滚轮的转速,将滚轮转速转化为皮带速度。

    说明书

    说明书APM皮带速度实时监控装置及方法
    技术领域
    本发明涉及集成电路制造领域,特别是涉及履带式作业模式下,履带速度的实时监控装 置及方法。
    背景技术
    APM(履带式作业模式)的工作原理如图1所示,马达高速转动,通过转轴带动变速箱, 变速箱把马达的速度转化为工艺需求的速度,再通过齿轮带动履带(皮带)运转。
    在这种作业模式下,皮带的速度是通过监控马达的转速来监控的,即默认马达转速就是 皮带速度。这种监控方法的缺点是:1)多重转换后,马达速度不能有效代表皮带速度;2) 以小带大,通过转轴带动变速箱,而转轴由于长期磨损,很容易出现打滑,当转轴打滑时, 马达速度不变,但是最后传递给皮带的速度却变慢了,导致皮带速度异常而机器探测不到的 问题,从而直接影响到成膜的厚度。
    发明内容
    本发明要解决的技术问题之一是提供一种APM皮带速度实时监控装置,它可以实时有效 地监控皮带速度。
    为解决上述技术问题,本发明的APM皮带速度实时监控装置,包括金属滚轮,安装在皮 带下方,并和皮带直接接触,接触面长度在2厘米以上。
    本发明要解决的技术问题之二是提供用上述装置实时监控APM皮带速度的方法。
    为解决上述技术问题,本发明的APM皮带速度实时监控方法,步骤包括:
    1)在皮带下方安装金属滚轮和皮带直接接触;
    2)皮带运转,带动滚轮反向同步转动;
    3)监测滚轮的转速,将滚轮转速转化为皮带速度。
    本发明通过在皮带下方加装滚轮,与皮带形成反向同步运动系统,利用滚轮的转速,监 控皮带的速度,避免了多重转换和以小带大的问题,实现了APM皮带速度的实时、有效监控。
    附图说明
    图1是现有APM的工作原理示意图。
    图2是本发明实时监控APM皮带速度的工作原理示意图。
    图3是本发明实施例的APM皮带速度实时监控装置结构图。
    图4是图3装置的背面(A)和正面(B)结构图。
    具体实施方式
    为对本发明的技术内容、特点与功效有更具体的了解,现结合附图,详述如下:
    本发明采用接触式滚轮方法实时监控APM的皮带速度,其工作原理如图2所示,皮带下 方加装一个金属滚轮(必须用金属材质,以防止烫伤滚轮表面),滚轮和皮带直接接触(接触 面长度必须在2厘米以上,以确保滚轮无打滑),且滚轮和皮带之间保持一定压力。
    皮带运转时,皮带带动滚轮向与皮带相反的方向同步转动,两者形成一个实时相对运动 系统,皮带实际速度实时传递给滚轮。由于是以大带小,滚轮不会出现磨损打滑现象,滚轮 的转速可以代表皮带的速度,因此,通过监测滚轮的转速就可以实时监控皮带的速度了。
    以下对本发明实施例的APM皮带速度实时监控装置的结构做一详细的说明。
    请参阅图3-4所示,该APM皮带速度实时监控装置主要包括基座、滚轮和计速装置等。
    1.基座?;治?、下两节。下节起安装稳固作用,通过连接弯头将基座固定在皮带 下方开阔处的设备金属框体上(打孔安装稳固螺丝)。上节由两部分组成,第一部分由铁质框 体与压簧组成,作用是通过压簧提供的弹压力,使得固定在连接面板上的滚轮与皮带正面接 触产生反向同步运动;第二部分是连接面板,作用是连接基座与滚轮和滚轮的计速装置。
    2.滚轮。滚轮是一个直径为10厘米的滚轴,滚轴的材质与皮带材质相符,均为铁镍合 金。滚轮通过连接面板固定在基座上,并与水平位置的皮带呈向下倾斜45度角接触,如图4 (B)所示,以使滚轮产生反向同步运动。
    3.计速装置。计速装置通过连接面板固定在基座上。计速装置外部有一个圆盘,圆盘边 缘设计有缺口,该圆盘通过皮带与滚轮相连,实现与滚轮的同步运动;计速装置内置有速度 计算???,用于将圆盘转动速度转化为皮带速度。计速装置的工作原理是:滚轮转动,带动 计速装置的圆盘转动,圆盘边缘前后有激光发射源和接收源,激光的光线通过圆盘设计缺口 计为圆盘转动一圈,计速装置内置的速度计算??榻才套俣茸ご乃俣龋ǖノ?为inch/min)。

    关于本文
    本文标题:APM皮带速度实时监控装置及方法.pdf
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