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    重庆时时彩五星带座标走势图: 一种电感扫描测头的测试装置及测试方法.pdf

    摘要
    申请专利号:

    重庆时时彩单双窍门 www.4mum.com.cn CN201610057360.4

    申请日:

    2016.01.27

    公开号:

    CN105606014A

    公开日:

    2016.05.25

    当前法律状态:

    实审

    有效性:

    审中

    法律详情: 实质审查的生效IPC(主分类):G01B 7/008申请日:20160127|||公开
    IPC分类号: G01B7/008 主分类号: G01B7/008
    申请人: 清华大学深圳研究生院
    发明人: 陈艳华; 梁斌; 刘厚德; 王学谦; 李志恒
    地址: 518055 广东省深圳市南山区西丽大学城清华校区
    优先权:
    专利代理机构: 深圳新创友知识产权代理有限公司 44223 代理人: 杨洪龙
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201610057360.4

    授权公告号:

    |||

    法律状态公告日:

    2016.06.22|||2016.05.25

    法律状态类型:

    实质审查的生效|||公开

    摘要

    本发明公开了一种电感扫描测头的测试装置及测试方法,测试装置包括扫描测头和微进给装置,所述微进给装置包括微分头、立柱、底板、平面度调节部件、X方向调节部件和Y方向调节部件,所述立柱固定在所述底板上,所述微分头可转动地固定在所述立柱上,所述微分头可沿所述立柱上下移动,所述平面度调节部件用于调节所述底板的平面度,所述X方向调节部件和Y方向部件分别用于调节所述底板沿X方向运动和沿Y方向运动,所述微分头的头部用于对所述扫描测头的测量球施加不同的进给量。本发明结构简单,可以利用精度很高的微分头对扫描测头的单轴、平面和空间性能进行测试,测试方法简单。

    权利要求书

    1.一种电感扫描测头的测试装置,包括扫描测头和微进给装置,其特
    征是,所述微进给装置包括微分头、立柱、底板、平面度调节部件、X方
    向调节部件和Y方向调节部件,所述立柱固定在所述底板上,所述微分头
    可转动地固定在所述立柱上,所述微分头可沿所述立柱上下移动,所述平
    面度调节部件用于调节所述底板的平面度,所述X方向调节部件和Y方向
    部件分别用于调节所述底板沿X方向运动和沿Y方向运动,所述微分头的
    头部用于对所述扫描测头的测量球施加不同的进给量。
    2.如权利要求1所述的电感扫描测头的测试装置,其特征是,所述微
    进给装置还包括微分头支架、第一滑动铰链和第二滑动铰链,所述立柱包
    括第一立柱和第二立柱,所述微分头固定在所述微分头支架上,所述微分
    头支架可绕着第一滑动铰链和第二滑动铰链转动,所述第一滑动铰链和第
    二滑动铰链分别可沿着第一立柱和第二立柱滑动,所述微分头位于所述第
    一立柱和第二立柱之间。
    3.如权利要求1所述的电感扫描测头的测试装置,其特征是,
    所述平面度调节部件为三个调节螺钉,通过旋转三个调节螺钉来调节
    所述底板的平面度。
    4.如权利要求1所述的电感扫描测头的测试装置,其特征是,
    所述X方向调节部件为两个调节螺钉,通过旋转两个调节螺钉来调节
    所述底板沿X方向运动,所述Y方向调节部件为两个调节螺钉,通过旋转
    两个调节螺钉来调节所述底板沿Y方向运动。
    5.一种采用如权利要求1所述的电感扫描测头的测试装置的测试方
    法,其特征是,包括如下步骤:
    S1、调整所述微分头的高度以及转动所述微分头,使所述微分头处于
    与所述扫描测头的选定坐标轴方向的测量杆的夹角在设定角度范围内的直
    线上;
    S2、调节所述平面度调节部件、X方向调节部件和Y方向调节部件,
    使得所述扫描测头的选定坐标轴上具有电压输出,而所述选定坐标轴以外
    的其他坐标轴没有电压输出;
    S3、拧动所述微分头,对所述选定坐标轴方向的测量杆的测量球施加
    进给量,记录所述选定坐标轴对应的输出电压,并根据所述选定坐标轴上
    的测微传感器已知的输出电压-进给量曲线,计算得到所述测量球的测量进
    给量;
    S4、根据所述进给量和测量进给量评价所述扫描测头的所述选定坐标
    轴上的测量性能。
    6.如权利要求5所述的测试方法,其特征是,
    所述步骤S3包括如下步骤:
    根据所述进给量和测量进给量,判断所述扫描测头的所述选定坐标轴
    方向上的测量精度;
    或者,
    使所述微分头对所述测量球施加不同的进给量,并分别记录对应的输
    出电压,得到相同进给量下的多个不同输出电压,计算在相同的进给量下
    任意两个输出电压之间的最大差值作为所述选定坐标轴上的重复性精度;
    或者,
    使所述微分头对所述测量球施加不同的进给量,并分别记录对应的输
    出电压,得到输出电压-进给量数据组;
    根据所述输出电压-进给量数据组绘制输出电压-进给量曲线;
    使用最小二乘法计算输出电压-进给量曲线的线性度误差。
    7.一种采用如权利要求1所述的电感扫描测头的测试装置的测试方
    法,其特征是,包括如下步骤:
    S1、调节所述平面度调节部件、X方向调节部件和Y方向调节部件,
    使所述微分头的头部接触选定坐标轴以外的其他任一坐标轴的测量球,并
    使得所述扫描测头的选定坐标轴上没有电压输出,而所述选定坐标轴以外
    的其他两个坐标轴具有电压输出;
    S2、拧动所述微分头,对所述测量球施加进给量,记录所述其他两个
    坐标轴的输出电压,并根据已知的两个坐标轴上的测微传感器的输出电压-
    进给量曲线,计算得到测量进给量;
    S3、根据所述进给量和测量进给量,测试所述扫描测头的所述其他两
    个坐标轴确定的平面上的测量性能。
    8.如权利要求7所述的测试方法,其特征是,
    在步骤S3中,
    根据所述进给量和测量进给量,判断所述扫描测头在所述其他两个坐
    标轴确定的平面上的测量精度;
    或者,
    使所述微分头对所述测量球施加不同的进给量,并分别记录对应的输
    出电压,得到相同进给量下对应的多个不同测量进给量,计算在相同进给
    量下任意两个测量进给量的最大差值作为所述确定的平面上的重复测量精
    度;
    或者,
    使所述微分头对所述测量球施加不同的进给量,并分别记录对应的输
    出电压,得到输出电压-进给量数据组;
    根据所述输出电压-进给量数据组绘制输出电压-进给量曲线;
    使用最小二乘法计算输出电压-进给量曲线的线性度误差。
    9.一种采用如权利要求1所述的电感扫描测头的测试装置的测试方
    法,其特征是,包括如下步骤:
    S1、调节所述平面度调节部件、X方向调节部件和Y方向调节部件,
    使所述微分头的头部接触任一坐标轴的测量球,并使所有坐标轴均具有电
    压输出;
    S2、拧动所述微分头,对所述测量球施加进给量,记录每个坐标轴的
    输出电压,并根据已知的每个坐标轴上的测微传感器的输出电压-进给量曲
    线,计算得到测量进给量;
    S3、根据所述进给量和测量进给量,测试所述扫描测头的空间上的测
    量性能。
    10.如权利要求9所述的测试方法,其特征是,
    在步骤S3中,
    根据所述进给量和测量进给量,判断所述扫描测头在空间上的测量精
    度;
    或者,
    使所述微分头对所述测量球施加不同的进给量,并分别记录对应的输
    出电压,得到相同进给量下对应的多个不同测量进给量,计算在相同进给
    量下任意两个测量进给量的最大差值作为空间上的重复测量精度;
    或者,
    使所述微分头对所述测量球施加不同的进给量,并分别记录对应的输
    出电压,得到输出电压-进给量数据组;
    根据所述输出电压-进给量数据组绘制输出电压-进给量曲线;
    使用最小二乘法计算输出电压-进给量曲线的线性度误差。

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    一种 电感 扫描 测试 装置 方法
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