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    重庆时时彩投注站怎么开: 硅单晶炉测温探头安装机构.pdf

    关 键 词:
    硅单晶炉 测温 探头 安装 机构
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    摘要
    申请专利号:

    CN201110100359.2

    申请日:

    2011.04.21

    公开号:

    CN102252768A

    公开日:

    2011.11.23

    当前法律状态:

    驳回

    有效性:

    无权

    法律详情: 发明专利申请公布后的驳回IPC(主分类):G01K 1/14申请公布日:20111123|||实质审查的生效IPC(主分类):G01K 1/14申请日:20110421|||公开
    IPC分类号: G01K1/14 主分类号: G01K1/14
    申请人: 无锡市惠德晶体控制设备有限公司
    发明人: 惠梦君
    地址: 214174 江苏省无锡市惠山经济开发区堰桥配套区堰畅路11-1号(惠德晶体)
    优先权:
    专利代理机构: 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人: 刘宗杰
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201110100359.2

    授权公告号:

    ||||||

    法律状态公告日:

    2015.07.22|||2013.03.20|||2011.11.23

    法律状态类型:

    发明专利申请公布后的驳回|||实质审查的生效|||公开

    摘要

    本发明公开一种硅单晶炉测温探头安装机构,其包括测温探头,所述测温探头通过安装法兰安装于硅单晶炉体之上,所述安装法兰上开设有若干个不对称分布的安装孔,所述安装孔处于同一圆周上,利用固定螺钉穿过安装孔固定测温探头,上述硅单晶炉测温探头安装机构的安装法兰的安装孔采用不对称分布,避免了维修拆装时,产生的位置偏差,确保每次安装的一致性,不仅结构简单,易于实现,而且安装便捷,避免由于位置偏差导致的温度偏差。

    权利要求书

    1.一种硅单晶炉测温探头安装机构,其包括测温探头,所述测温探头通过
    安装法兰安装于硅单晶炉体之上,其特征在于:所述安装法兰上开设有若干个
    不对称分布的安装孔,利用固定螺钉穿过安装孔固定测温探头。
    2.根据权利要求1所述的硅单晶炉测温探头安装机构;其特征在于:所述
    安装孔设置为3个,对应安装孔设置有3个固定螺钉。
    3.根据权利要求2所述的硅单晶炉测温探头安装机构;其特征在于:所述
    安装孔处于同一圆周上,且将所处圆周分割成中心角分别为130°、130°和100°
    的三段圆弧。

    说明书

    硅单晶炉测温探头安装机构

    技术领域

    本发明涉及硅单晶炉测温装置,尤其涉及一种硅单晶炉测温探头安装机构。

    背景技术

    目前,硅单晶炉工艺中有加热和控温过程,安装有测温探头。探头的安装
    方式可以是螺纹式或法兰式,法兰式采用几个(通常是4)均匀分布的螺钉固
    定,但是测温探头对安装位置,角度,以及探头本身的旋转角度比较敏感,在
    现实维护安装时上述安装方式无法保证重复性,结果会引起测量误差。

    发明内容

    本发明的目的在于提供一种硅单晶炉测温探头安装机构,其具有结构简单,
    安装便捷以及避免产生安装偏差的特点。

    本发明的目的是通过以下技术方案来实现:

    一种硅单晶炉测温探头安装机构,其包括测温探头,所述测温探头通过安
    装法兰安装于硅单晶炉体之上,其中,所述安装法兰上开设有若干个不对称分
    布的安装孔,利用固定螺钉穿过安装孔固定测温探头。

    特别地,所述安装孔设置为3个,对应安装孔设置有3个固定螺钉。

    特别地,所述安装孔处于同一圆周上,且将所处圆周分割成中心角分别为
    130°130°和100°的三段圆弧。

    本发明的有益效果为,所述硅单晶炉测温探头安装机构的安装法兰的安装
    孔采用不对称分布,避免了维修拆装时,产生的位置偏差,确保每次安装的一
    致性,不仅结构简单,易于实现,而且安装便捷,避免由于位置偏差导致的温
    度偏差。

    附图说明

    下面根据附图和实施例对本发明作进一步详细说明。

    图1为本发明硅单晶炉测温探头安装机构的主视图;

    图2为本发明硅单晶炉测温探头安装机构的剖面图。

    图中:

    1、测温探头;2、安装法兰;3、安装孔。

    具体实施方式

    请参照图1及图2所示,图1为本发明硅单晶炉测温探头安装机构的主视
    图;图2为本发明硅单晶炉测温探头安装机构的剖面图。

    于本实施例中,一种硅单晶炉测温探头安装机构,其包括测温探头1,所
    述测温探头1通过安装法兰2安装于硅单晶炉体之上,所述安装法兰2上开设
    有3个不对称分布的安装孔3,对应安装孔3设置有3个固定螺钉,利用固定
    螺钉穿过安装,3固定测温探头1,所述安装孔3处于同一圆周上,且将所处圆
    周分割成三段圆弧,所述三段圆弧的中心角分别为:A=130°,B=130°,C=
    100°。

    上述硅单晶炉测温探头安装机构的安装法兰的安装孔采用不对称分布,避
    免了维修拆装时,产生的位置偏差,确保每次安装的一致性,不仅结构简单,
    易于实现,而且安装便捷,避免由于位置偏差导致的温度偏差。

    以上实施例只是阐述了本发明的基本原理和特性,可随安装孔的设置个数
    的改变而改变。本发明不受上述事例限制,在不脱离本发明精神和范围的前提
    下,本发明还有各种变化和改变,这些变化和改变都落入要求?;さ谋痉⒚鞣?br />围内。本发明要求?;し段в伤降娜ɡ笫榧捌涞刃锝缍?。

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