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    重庆时时彩热号分析: 风门装置.pdf

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    风门 装置
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    摘要
    申请专利号:

    CN201010621565.3

    申请日:

    2010.12.27

    公开号:

    CN102162531A

    公开日:

    2011.08.24

    当前法律状态:

    驳回

    有效性:

    无权

    法律详情: 发明专利申请公布后的驳回IPC(主分类):F16K 1/18申请公布日:20110824|||实质审查的生效IPC(主分类):F16K 1/18申请日:20101227|||公开
    IPC分类号: F16K1/18; F16K31/12; H01L21/00 主分类号: F16K1/18
    申请人: 北京七星华创电子股份有限公司
    发明人: 何金群; 裴立坤; 昝威
    地址: 100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M2号楼2层
    优先权:
    专利代理机构: 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 代理人: 王莹
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201010621565.3

    授权公告号:

    ||||||

    法律状态公告日:

    2013.05.08|||2011.10.05|||2011.08.24

    法律状态类型:

    发明专利申请公布后的驳回|||实质审查的生效|||公开

    摘要

    本发明公开了一种风门装置,包括:风门(1);摆动气缸(4),其转轴与风门(1)的转轴(2)连接;压差计(7),其与风门(1)和设备外部连接。本发明的风门装置设计简单,效果好,当风门附近与设备外部的气压差超出设定范围时,可实现风门的自动打开,从而避免安全事故的发生。

    权利要求书

    1.一种风门装置,其特征在于,包括:风门(1);摆动气缸(4),其转轴与所述风门(1)的转轴(2)连接;压差计(7),其与所述风门(1)和设备外部连接。2.如权利要求1所述的风门装置,还包括联轴器(5),其设置于所述摆动气缸(4)的转轴和所述风门(1)的转轴(2)之间。3.如权利要求2所述的风门装置,还包括支架(6),用于将所述摆动气缸(4)设置于所述风门(1)上。4.如权利要求3所述的风门装置,其特征在于,所述转轴(2)与设置于所述风门(1)内的挡板(3)连接在一起。

    说明书

    风门装置

    技术领域

    本发明涉及半导体清洗设备领域,尤其涉及一种风门装置。

    背景技术

    在半导体清洗设备中,微环境的状态对晶片的清洗效果影响比较大,保持一个良好的设备微环境对工艺的进行至关重要。通常,设备上方的FFU(Filter?Fan?Unit)会产生过滤后的干净的气流,气流自上而下流向设备中的其他单元,如清洗腔室、机械手区域、CDS(Chemical?Dispense?System),同时会有排气装置将设备中可能产生的被污染气体排出,从而使设备中的气流处于一个动态平衡的状态。通?;嵩谏璞傅呐牌诎沧胺缑?,以控制排气的开关。半导体清洗设备的风门通常都是手动开关的,但是风门有时是安装在设备的上部,不方便人工控制。并且,在做半导体工艺的过程中,有时是没有人在现场的,如果出现需要开关风门的情况,这时候就不能满足设备的需要。如果设备中有化学液挥发出来,风门堵塞后,大量的化学气体会留在设备中,可能造成安全事故。

    发明内容

    (一)要解决的技术问题

    本发明的目的是设计一种自动开关的风门装置,以满足半导体设备的需要。

    (二)技术方案

    为达到上述目的,本发明提出了一种风门装置,包括:

    风门;

    摆动气缸,其转轴与所述风门的转轴连接;

    压差计,其与所述风门和设备外部连接。

    其中,还包括联轴器,其设置于所述摆动气缸的转轴和所述风门的转轴之间。

    其中,还包括支架,用于将所述摆动气缸设置于所述风门上。

    其中,所述转轴与所述风门内的挡板连接。

    (三)有益效果

    本发明的上述技术方案具有如下优点:本发明的风门装置设计简单,效果好,当风门附近与设备外部的气压差超出设定范围时,可实现风门的自动打开,从而避免安全事故的发生。

    附图说明

    图1为本发明风门装置实施例的示意图;

    图2为本发明风门装置实施例的气缸的示意图。

    具体实施方式

    下面结合附图和实施例,对本发明的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明,但不用来限制本发明的范围。

    如图1所示为本发明风门装置实施例的示意图,本发明的风门装置位于设备内部,并且包括:风门1、摆动气缸4、联轴器5、支架6和压差计7。差压计7的一端与风门1连接而另一端穿过设备外板8从而与设备外部连接,以检测它们之间的气压差。用联轴器5将风门1的转轴2与摆动气缸4的转轴连接,风门1的转轴2与风门1内的挡板3相连接,同时用支架6将摆动气缸4固定在风门1的面板上。

    如图2所示,摆动气缸4的工作由两位五通电磁阀来控制(未示出,其设置于摆动气缸4上或附近),摆动气缸4的气源由设备中的压缩空气来提供。

    本发明的工作原理是:挡板3的初始位置为与风门法兰9成10°,当差压计7检测到气压差超出设定范围时,电磁阀动作,同时气缸4会摆动80°,带动转轴上的挡板3转动80°,此时挡板3与设备的风门法兰9垂直,风门完全打开,气体在风门中的流动横截面最大(气体的流动方向如图1中的箭头所示),以保证设备中气体可以快速排出。当排出足够气体时,差压计会检测到气压差处于设定范围之内,从而控制电磁阀动作,气缸往回摆动80°,带动挡板回到初始位置,风门自动关闭。

    以上所述仅是本发明的实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明技术原理的前提下,还可以做出若干改进和变型,这些改进和变型也应视为本发明的?;し段?。

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