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    重庆时时彩网赚团队: 正型放射线敏感性组合物、层间绝缘膜及其形成方法.pdf

    摘要
    申请专利号:

    重庆时时彩单双窍门 www.4mum.com.cn CN201110094234.3

    申请日:

    2011.04.12

    公开号:

    CN102221782A

    公开日:

    2011.10.19

    当前法律状态:

    驳回

    有效性:

    无权

    法律详情: 发明专利申请公布后的驳回IPC(主分类):G03F 7/039申请公布日:20111019|||实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/039申请日:20110412|||公开
    IPC分类号: G03F7/039; G03F7/00 主分类号: G03F7/039
    申请人: JSR株式会社
    发明人: 一户大吾
    地址: 日本国东京都
    优先权: 2010.04.15 JP 2010-093597
    专利代理机构: 北京三幸商标专利事务所 11216 代理人: 刘激扬
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201110094234.3

    授权公告号:

    ||||||

    法律状态公告日:

    2016.08.10|||2013.02.06|||2011.10.19

    法律状态类型:

    发明专利申请公布后的驳回|||实质审查的生效|||公开

    摘要

    本发明提供一种正型放射线敏感性组合物、层间绝缘膜及其形成方法,该正型放射线敏感性组合物在高水平的保持放射线敏感性组合物的放射线敏感度的同时,抑制自由基或过氧化物的发生,由此可形成下述层间绝缘膜等,该层间绝缘膜具有优异的耐光性以及耐热性,而且抑制透光率、耐热透明性以及电压保持率的降低。本发明的正型放射线敏感性组合物包括:[A]在同一或不同聚合物分子中具有包含下述式(1)所示的基团的结构单元和含环氧基的结构单元的聚合物;[B]光酸产生剂;以及[C]从含受阻酚结构的化合物、含受阻胺结构的化合物、含亚磷酸烷基酯结构的化合物以及含硫醚结构的化合物构成的群组中选出的一种或两种以上化合物。

    权利要求书

    权利要求书
    1.  一种正型放射线敏感性组合物,其包括:[A]在一同或不同聚合物分子中具有包含下述式(1)所示的基团的结构单元和含环氧基的结构单元的聚合物;
    [B]光酸产生剂;以及
    [C]从含受阻酚结构的化合物、含受阻胺结构的化合物、含亚磷酸烷基酯结构的化合物以及含硫醚结构的化合物构成的群组中选出的一种或两种以上化合物,

    式(1)中,R1和R2各自独立地是氢原子、烷基、环烷基或芳基,这些烷基、环烷基或芳基的氢原子的一部分或全部可以被取代基团取代,其中,不包括R1和R2都是氢原子的情形,R3是烷基、环烷基、芳烷基、芳基或-M(R3m)3所示的基团,M是Si、Ge或Sn,R3m是烷基,这些的氢原子的一部分或全部可以被取代基团取代,R1和R3可以连接形成环状醚。

    2.  如权利要求1所述的正型放射线敏感性组合物,其特征在于,[B]光酸产生剂含有下述式(2)所表示的肟磺酸酯基,

    式(2)中,RB1表示烷基、环烷基或芳基,这些基团的氢原子的一部分或全部可以被取代基取代。

    3.  如权利要求1或2所述的正型放射线敏感性组合物,其特征在于,相对于100质量份[A]聚合物,[C]化合物的含量在0.1质量份以上、10质量份以下。

    4.  如权利要求1或2所述的正型放射线敏感性组合物,其特征在于,该组合物用于形成显示元件用的层间绝缘膜。

    5.  一种显示元件用层间绝缘膜的形成方法,具有下述工序:
    (1)将在权利要求4所记载的正型放射线敏感性组合物的涂膜形成于基板上的工序;
    (2)对在工序(1)形成的涂膜的至少一部分照射放射线的工序;
    (3)对在工序(2)中照射了放射线的涂膜进行显影的工序;以及
    (4)对在工序(3)显影的涂膜进行加热的工序。

    6.  一种显示元件用的层间绝缘膜,由权利要求4所记载的正型放射线敏感性组合物形成。

    关 键 词:
    放射线 敏感性 组合 绝缘 及其 形成 方法
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