• 四川郎酒股份有限公司获第十二届人民企业社会责任奖年度环保奖 2019-05-13
  • 银保监会新规剑指大企业多头融资和过度融资 2019-05-12
  • 韩国再提4国联合申办世界杯 中国网友无视:我们自己来 2019-05-11
  • 中国人为什么一定要买房? 2019-05-11
  • 十九大精神进校园:风正扬帆当有为 勇做时代弄潮儿 2019-05-10
  • 粽叶飘香幸福邻里——廊坊市举办“我们的节日·端午”主题活动 2019-05-09
  • 太原设禁鸣路段 设备在测试中 2019-05-09
  • 拜耳医药保健有限公司获第十二届人民企业社会责任奖年度企业奖 2019-05-08
  • “港独”没出路!“梁天琦们”该醒醒了 2019-05-07
  • 陈卫平:中国文化内涵包含三方面 文化复兴表现在其中 2019-05-06
  • 人民日报客户端辟谣:“合成军装照”产品请放心使用 2019-05-05
  • 【十九大·理论新视野】为什么要“建设现代化经济体系”?   2019-05-04
  • 聚焦2017年乌鲁木齐市老城区改造提升工程 2019-05-04
  • 【专家谈】上合组织——构建区域命运共同体的有力实践者 2019-05-03
  • 【华商侃车NO.192】 亲!楼市火爆,别忘了买车位啊! 2019-05-03
    • / 27
    • 下载费用:20 金币  

    买重庆时时彩能赚钱吗: 流体处理结构、光刻设备和器件制造方法.pdf

    摘要
    申请专利号:

    重庆时时彩单双窍门 www.4mum.com.cn CN201110094314.9

    申请日:

    2011.04.12

    公开号:

    CN102221788A

    公开日:

    2011.10.19

    当前法律状态:

    授权

    有效性:

    有权

    法律详情: 授权|||实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/20申请日:20110412|||公开
    IPC分类号: G03F7/20 主分类号: G03F7/20
    申请人: ASML荷兰有限公司
    发明人: D·M·H·菲利浦斯; D·J·M·迪莱克斯; C·J·G·范德顿根; M·A·C·斯凯皮斯; P·P·J·伯克文斯; M·J·范德赞登; P·马尔德
    地址: 荷兰维德霍温
    优先权: 2010.04.15 US 61/324,642; 2010.06.08 US 61/352,588
    专利代理机构: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 吴敬莲
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201110094314.9

    授权公告号:

    102221788B||||||

    法律状态公告日:

    2014.07.30|||2011.11.30|||2011.10.19

    法律状态类型:

    授权|||实质审查的生效|||公开

    摘要

    本发明公开了一种流体处理结构、一种光刻设备和一种器件制造方法。所述流体处理结构配置成供给浸没液体至限定在投影系统和面对流体处理结构的正对表面之间的空间。流体处理结构的下表面具有:供给开口,配置成朝向正对表面供给流体;多个抽取开口,配置成移除流体处理结构和正对表面之间的流体;和在供给开口和抽取开口之间的突起。

    权利要求书

    权利要求书
    1.  一种流体处理结构,配置成供给浸没液体至限定在投影系统和面对流体处理结构的正对表面之间的空间,其中流体处理结构的下表面具有:
    供给开口,配置成朝向正对表面供给流体;
    多个抽取开口,配置成移除流体处理结构和正对表面之间的流体;和
    在供给开口和抽取开口之间的突起。

    2.  如权利要求1所述的流体处理结构,其中,在使用时供给开口和抽取开口离开正对表面的距离基本上相同。

    3.  如权利要求1或2所述的流体处理结构,其中,在使用时突起和正对表面之间的间隙小于供给开口和正对表面之间的间隙或抽取开口和正对表面之间的间隙。

    4.  如权利要求1-3中任一项所述的流体处理结构,其中,在使用时突起离正对表面的距离小于250μm,期望在50到200μm之间,更期望离正对表面的距离在100到150μm之间。

    5.  如权利要求1-4中任一项所述的流体处理结构,其中,在使用时供给开口和/或抽取开口离所述表面的距离大于100μm,期望离所述表面的距离在100到250μm之间,更期望离所述表面的距离在150到200μm之间。

    6.  如权利要求1-5中任一项所述的流体处理结构,其中,所述突起突起离开所述下表面至少10μm,期望在10到75μm之间,更期望在25到50μm之间。

    7.  如权利要求1-6中任一项所述的流体处理结构,其中,供给开口的至少一部分和/或抽取开口的至少一个布置成在平面上看为有角的形状。

    8.  如权利要求1-7中任一项所述的流体处理结构,其中,抽取开口基本上围绕供给开口。

    9.  如权利要求1-8中任一项所述的流体处理结构,还包括气刀装置,其具有限定在下表面内的伸长的孔。

    10.  如权利要求9所述的流体处理结构,其中,所述伸长的孔基本上围绕抽取开口。

    11.  如权利要求1-10中任一项所述的流体处理结构,其中,所述突起围绕供给开口形成闭合的回路。

    12.  如权利要求1-10中任一项所述的流体处理结构,还包括至少一个附加的突起,所述突起和所述附加的突起布置成除了在平面上的供给开口布置形成的形状的角部处之外包围供给开口。

    13.  如权利要求1-12中任一项所述的流体处理结构,其中,所述供给开口包括多个供给开口。

    14.  如权利要求1-13中任一项所述的流体处理结构,其中,所述突起具有连续的表面。

    15.  如权利要求1-14中任一项所述的流体处理结构,其中,所述突起的表面是平的表面。

    16.  如权利要求1-15中任一项所述的流体处理结构,其中,在使用时突起的表面平行于正对表面。

    17.  如权利要求1-16中任一项所述的流体处理结构,其中,在流体处理结构的下表面中存在台阶,所述台阶在突起和形成有供给开口的下表面的一部分或形成有多个抽取开口的下表面的一部分或两者之间。

    18.  一种流体处理结构,配置成供给浸没液体至限定在投影系统和面对流体处理系统的正对表面之间的空间,其中流体处理结构的下表面具有:
    供给开口,配置成朝向正对表面供给流体;和
    突起,处于供给开口的相对于投影系统的光轴的径向向内的位置处。

    19.  如权利要求18所述的流体处理结构,其中,用以抽取流体的一个或多个开口形成在下表面中。

    20.  如权利要求19所述的流体处理结构,其中,所述一个或多个开口在供给开口的径向向外的位置处。

    21.  如权利要求18-20中任一项所述的流体处理结构,其中,所述突起形成在下表面的第二部分中,所述下表面的第二部分位于与其中形成供给开口的下表面的第一部分的平面不同的平面内。

    22.  如权利要求21所述的流体处理结构,其中,所述第二部分在使用时比第一部分远离正对表面。

    23.  一种流体处理结构,配置成供给浸没液体至限定在投影系统和面对流体处理系统的正对表面之间的空间,其中形成在流体处理结构的下表面中的是:
    用以朝向正对表面供给浸没液体的一个或多个供给开口;和
    位于所述下表面的表面中的台阶,其相对于所述下表面的几何中心位于所述一个或多个供给开口的径向向外的位置处,所述台阶配置成减小浸没液体离开所述空间的径向向外的流量。

    24.  如权利要求1-23中任一项所述的流体处理结构,其中,所述流体处理结构配置成仅供给浸没液体至衬底和/或衬底台的局部区域。

    25.  一种浸没光刻设备,包括:
    投影系统,用以将辐射束投影到由衬底台支撑的衬底上;和
    如权利要求1-24中任一项所述的流体处理结构,其中正对表面是衬底的表面和/或衬底台的表面。

    26.  一种器件制造方法,包括:
    在投影系统的最终元件和衬底之间提供流体;
    其中在投影系统的最终元件和衬底之间提供流体的步骤包括:朝向衬底通过位于流体处理结构的下表面中的供给开口供给液体;和通过位于流体处理结构的下表面中的抽取开口从流体处理结构和衬底和/或衬底台之间移除流体,其中突起设置在供给开口和抽取开口之间的下表面上。

    关 键 词:
    流体 处理 结构 光刻 设备 器件 制造 方法
      专利查询网所有资源均是用户自行上传分享,仅供网友学习交流,未经上传用户书面授权,请勿作他用。
    0条评论

    还可以输入200字符

    暂无评论,赶快抢占沙发吧。

    关于本文
    本文标题:流体处理结构、光刻设备和器件制造方法.pdf
    链接地址://www.4mum.com.cn/p-5861989.html
    关于我们 - 网站声明 - 网站地图 - 资源地图 - 友情链接 - 网站客服客服 - 联系我们

    [email protected] 2017-2018 www.4mum.com.cn网站版权所有
    经营许可证编号:粤ICP备17046363号-1 
     


    收起
    展开
  • 四川郎酒股份有限公司获第十二届人民企业社会责任奖年度环保奖 2019-05-13
  • 银保监会新规剑指大企业多头融资和过度融资 2019-05-12
  • 韩国再提4国联合申办世界杯 中国网友无视:我们自己来 2019-05-11
  • 中国人为什么一定要买房? 2019-05-11
  • 十九大精神进校园:风正扬帆当有为 勇做时代弄潮儿 2019-05-10
  • 粽叶飘香幸福邻里——廊坊市举办“我们的节日·端午”主题活动 2019-05-09
  • 太原设禁鸣路段 设备在测试中 2019-05-09
  • 拜耳医药保健有限公司获第十二届人民企业社会责任奖年度企业奖 2019-05-08
  • “港独”没出路!“梁天琦们”该醒醒了 2019-05-07
  • 陈卫平:中国文化内涵包含三方面 文化复兴表现在其中 2019-05-06
  • 人民日报客户端辟谣:“合成军装照”产品请放心使用 2019-05-05
  • 【十九大·理论新视野】为什么要“建设现代化经济体系”?   2019-05-04
  • 聚焦2017年乌鲁木齐市老城区改造提升工程 2019-05-04
  • 【专家谈】上合组织——构建区域命运共同体的有力实践者 2019-05-03
  • 【华商侃车NO.192】 亲!楼市火爆,别忘了买车位啊! 2019-05-03