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    重庆时时彩什么时候放假: 干式真空泵设备及冷却干式真空泵设备的方法.pdf

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    真空泵 设备 冷却 方法
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    摘要
    申请专利号:

    CN201110121383.4

    申请日:

    2011.04.19

    公开号:

    CN102220980A

    公开日:

    2011.10.19

    当前法律状态:

    授权

    有效性:

    有权

    法律详情: 授权|||实质审查的生效IPC(主分类):F04C 25/02申请日:20110419|||公开
    IPC分类号: F04C25/02; F04C18/18; F04C28/00 主分类号: F04C25/02
    申请人: 株式会社荏原制作所
    发明人: 伊东一磨; 大山敦; 臼井克明
    地址: 日本东京
    优先权: 2010.04.19 JP 096539/2010; 2010.04.19 JP 096540/2010
    专利代理机构: 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人: 张文达
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    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201110121383.4

    授权公告号:

    ||||||

    法律状态公告日:

    2015.08.26|||2012.12.19|||2011.10.19

    法律状态类型:

    授权|||实质审查的生效|||公开

    摘要

    一种小尺寸的干式真空泵设备,因为其包括使用例如冷却水的冷却剂的高效冷却单元,该冷却单元用于冷却以变频器的切换部件为代表的自发热值高的大电流电路部件。该干式真空泵设备包括:干式真空泵,其包含泵单元和用于驱动该泵单元的电机;变频器,其用于将来自于交流电源的交流电转换为具有预定频率的交流电,并将该交流电提供给电机;电气设备壳体,在其内部容纳着包括该变频器的控制电路组件;泵壳,在其内部容纳着该干式真空泵和该干式真空泵的操作监测传感器;液冷式分隔件,其设置在该电气设备壳体和该泵壳之间,并在其内部具有循环的冷却剂;以及外壳,在其内部容纳着该电气设备壳体、该泵壳、以及该液冷式分隔件,并作为一体结构。

    权利要求书

    权利要求书
    1.  一种干式真空泵设备,包括:
    干式真空泵,其包含泵单元和用于驱动该泵单元的电机;
    变频器,其用于将来自于交流电源的交流电转换为具有预定频率的交流电,并将该交流电提供给电机;
    电气设备壳体,其在其内部容纳着包括该变频器的控制电路组件;
    泵壳,其在其内部容纳着该干式真空泵和该干式真空泵的操作监测传感器;
    液冷式分隔件,其设置在该电气设备壳体和该泵壳之间,并在其内部具有循环的冷却剂;以及
    外壳,其在其内部容纳着作为一体结构的该电气设备壳体、该泵壳以及该液冷式分隔件。

    2.  根据权利要求1所述的干式真空泵设备,其中:外壳包括在其内部限定的冷却剂通道,用于将冷却剂先供给该液冷式分隔件,然后从该冷却剂分隔件供给至电机,然后再供给至该泵单元,以接连地对该液冷式分隔件、该电机和该泵单元进行冷却。

    3.  根据权利要求1所述的干式真空泵设备,其中:该控制电路组件包括产生热量的电气部件,该电气部件包括变频器的开关器件,以及该液冷式分隔件提供用于冷却该电气部件的冷却结构。

    4.  根据权利要求1所述的干式真空泵设备,其中:该液冷式分隔件被保持为不与该干式真空泵的泵单元直接接触,并被固定在从泵单元的外壁延伸的框架上。

    5.  一种干式真空泵设备,包括:
    干式真空泵,其包含泵单元和用于该驱动泵单元的电机;
    变频器,其用于将来自于交流电源的交流电转换为具有预定频率的交流电,并将该交流电提供给电机;
    第一电气设备壳体,其在其内部容纳着作为产生热量的大电流电路的所述变频器;
    第二电气设备壳体,其在其内部容纳着控制电路,该控制电路包括在运转中用于控制该干式真空泵的CPU;
    外壳,其在其内部容纳着作为一体结构的该第一电气设备壳体和该第二电气设备壳体;
    冷却单元,其使用冷却剂冷却该第一电气设备壳体;以及
    空冷结构,其使用自然空气循环或强制空气循环冷却该第二电气设备壳体。

    6.  根据权利要求5所述的干式真空泵设备,其中:该干式真空泵包括齿轮单元,以及该冷却单元包括使用冷却水作为冷却剂用来冷却该干式真空泵的电机或齿轮单元的冷却单元。

    7.  一种冷却干式真空泵设备的方法,该干式真空泵设备包括:干式真空泵,其包含泵单元和用于该驱动泵单元的电机;变频器,其用于将来自于交流电源的交流电转换为具有预定频率的交流电,并将该交流电提供给电机;第一电气设备壳体,其在其内部容纳着作为高自发热值的、产生热量的大电流电路的所述变频器;第二电气设备壳体,其在其内部容纳着控制电路,该控制电路包括用于控制该干式真空泵运转的CPU;以及外壳,其在其内部容纳着作为一体结构的该第一电气设备壳体和该第二电气设备壳体;该方法包括:
    使用冷却剂对该第一电气设备进行冷却,以及
    使用自然空气循环或强制空气循环对该第二电气设备壳体进行冷却。

    说明书

    说明书干式真空泵设备及冷却干式真空泵设备的方法
    技术领域
    本发明涉及一种干式真空泵设备,以及涉及一种冷却干式真空泵设备的方法,并且更具体地涉及一种尺寸小型化并具有高效率冷却结构的干式真空泵设备,以及具体地涉及冷却这种干式真空泵设备的方法。
    背景技术
    近年来,在低于大气压力下操作的干式真空泵可容易获得清洁的真空环境,并且这种设备已使用在包括半导体制造设备的广泛应用场合中。干式真空泵设备具有由电机驱动的泵单元。由于多种原因,用于将电力提供至电机以驱动该干式真空泵设备的泵单元的电力供应装置通常结合或包括有变频器(inverter)。其中一个原因为该变频器能够使供给至电机的电力频率高于市电频率,从而增加电机的转速以获得更高的真空泵抽气能力。由变频器控制的干式真空泵设备能够使用较小的电机即可获得所需的真空度。
    根据另一个原因,当通过操作真空泵设备使得腔室或者类似空间已经被抽空至需要的真空度,并且该真空泵设备开始在非常小的负荷下运转时,为了高效率地操作电机,变频器使得容易对其输出端电压及电机转速进行控制。
    变频器结合或包括有位于其内部的半导体开关器件,并通过交流(AC)/直流(DC)/交流(AC)变换单元以这样一个频率输出输出电压,该频率与施加于该变频器的输入电压的频率不同。该变频器需要与适当冷却设备相结合,其中冷却被用来改变频率的半导体开关器件,因为该半导体开关器件会被其内部损耗加热。
    传统的干式真空泵设备结合有包括变频器的电力供应装置,并具有空气冷却结构,其使用自然空气循环或强制空气循环冷却来该变频器的半导体开关器件。同样提出这样一种水冷结构,其通过使冷却剂循环通过安装在干式真空泵的电机壳体的固定部的较低部分的冷却管的方式,来对干式真空泵进行冷却,从而干式真空泵中的基底能够有效地冷却(参见日本公开专利文献:JP2003-269369)。
    在真空泵中,包括有空气冷却结构的泵电机和泵外壳需要具有非常大的冷却区域。因此,一些真空泵具有包括有冷却剂循环结构的水冷式泵电机和水冷式泵壳(参见PC(WO)2006-520873和日本公开专利文献JP8-21392)。
    发明内容
    使用自然空气循环或强制空气循环来冷却变频器的半导体开关器件(switching device)的冷却结构必然尺寸较大,由于其冷却效率低,并从而使得其自身成为减小干式真空泵设备的整体尺寸的一个障碍。而水冷结构仅对干式真空泵的一部分进行冷却,不能有效地对干式真空泵设备整体进行冷却。
    本发明鉴于上述情形而提出。因此,本发明的一个目的为提供一种干式真空泵设备,其包括:变频器,用于将交流电提供给电机以驱动泵单元,以及高效地冷却结构,其使用例如冷却水的冷却剂冷却自发热值高的、例如该变频器的开关器件的大电流电路部件,从而能够使该干式真空泵设备的尺寸减??;本发明的另一个目的是提供一种冷却该干式真空泵设备的方法。
    为了实现上述目的,本发明提供一种干式真空泵设备,包括:干式真空泵,包含泵单元和用于驱动该泵单元的电机;变频器,用于将来自于交流电源的交流电转换为具有预定频率的交流电,并将该交流电提供给电机;电气设备壳体,在其内部容纳着包括该变频器的控制电路组件;泵壳,在其内部容纳着该干式真空泵和该干式真空泵的操作监测传感器;液冷式分隔件,设置在该电气设备壳体和该泵壳之间,并在其内部具有循环的冷却剂;以及外壳,在其内部容纳该电气设备壳体、该泵壳以及该液冷式分隔件作为一体结构。
    在本发明的一个优选方面,该外壳包括在其内部限定的冷却剂通道,用于将冷却剂先供给该液冷式分隔件,然后从该冷却剂分隔件供给至电机,然后再供给至该泵单元,以接连地对该液冷式分隔件、该电机和该泵单元进行冷却。
    在本发明的一个优选方面,该控制电路组件包括产生热量的电气部件,该电气部件包括该变频器的开关器件,以及该液冷式分隔件提供用于冷却该电气部件的冷却结构。
    在本发明的一个优选方面,该液冷式分隔件被保持为不与该干式真空泵的泵单元直接接触,并被固定在从泵单元的外壁延伸的框架上。
    由于上述设置,在其内部容纳着包括该变频器的控制电路组件的电气设备壳体、在其内部容纳着该干式真空泵和该干式真空泵的操作监测传感器的泵壳、以及设置在该电气设备壳体和该泵壳之间并使冷却剂在其内部循环的液冷式分隔件,是作为一体结构被容纳在该外壳内。在该液冷式分隔件中循环的冷却剂有效地吸收电气设备壳体中的控制电路组件产生的热量,并且从而电气设备壳体中的控制电路组件被高效地冷却。从而,该干式真空泵设备可具有小的冷却结构,并且从而其自身尺寸变小。
    当外壳具有限定在其内部、用于将冷却剂先供给该液冷式分隔件的冷却剂通道,然后从该冷却剂分隔件供给至电机,然后再供给至该泵单元,以接连地对该液冷式分隔件、该电机和该泵单元进行冷却时,包括该变频器的控制电路组件可先被冷却剂冷却,然后该电机和该泵单元能够被该冷却剂接连地冷却。这使得干式真空泵设备的尺寸能够减小,并能够作为整体进行冷却。
    用于冷却产生热量的电气部件(其包括被容纳在电气设备壳体内的变频器的开关器件)的冷却结构,是可通过具有在其内部循环的冷却剂的液冷式分隔件来提供。从而,该电气部件能够通过该液冷式分隔件中的循环的冷却剂有效冷却。
    液冷式分隔件可被保持为不与该真空泵的泵单元直接接触,并可固定在从泵单元的外壁延伸的框架上。这使得有可能使从泵单元吸收的热量最小化,并减少干式真空泵的泵单元内壁表面上的沉积物。
    本发明还提供一种干式真空泵设备,包括:干式真空泵,包含泵单元和用于驱动泵单元的电机;变频器,用于将来自于交流电源的交流电转换为具有预定频率的交流电,并将该交流电提供给电机;第一电气设备壳体,在其内部容纳着作为产生热量的大电流电路的所述变频器;第二电气设备壳体,在其内部容纳着控制电路,该控制电路包括用于在运转中控制该干式真空泵的CPU;外壳,在其内部作为一体结构容纳着该第一电气设备壳体和该第二电气设备壳体;冷却单元,使用冷却剂冷却该第一电气设备壳体;以及空冷结构,使用自然空气循环或强制空气循环冷却该第二电气设备壳体。
    在本发明的一个优选方面,该干式真空泵包括齿轮单元,以及该冷却单元包括使用冷却水作为冷却剂的、用来冷却该干式真空泵的电机或齿轮单元的冷却单元。
    本发明还提供一种冷却干式真空泵设备的方法,该干式真空泵设备包括:干式真空泵,包含泵单元和用于该驱动泵单元的电机;变频器,用于将来自于交流电源的交流电转换为具有预定频率的交流电,并将该交流电提供给电机;第一电气设备壳体,在其内部容纳着作为高自发热值的、产生热量的大电流电路的所述变频器;第二电气设备壳体,在其内部容纳着控制电路,该控制电路包括用于在运转中控制该干式真空泵的CPU;以及外壳,在其内部作为一体结构容纳着该第一电气设备壳体和该第二电气设备壳体;该方法包括:使用冷却剂对该第一电气设备进行冷却,以及使用自然空气循环或强制空气循环对该第二电气设备壳体进行冷却。
    由于在其内部容纳着作为自加热值高的、产生热量的大电流电路的变频器的第一电气设备壳体是通过使用冷却剂的冷却单元高效地冷却,因此干式真空泵设备能够具有小的冷却结构,并且从而自身尺寸变小。
    附图说明
    附图1为根据本发明的干式真空泵设备的系统布置的简图;
    附图2为根据本发明的一个实施方式的干式真空泵设备的结构设置的示意图;
    附图3A为冷却结构的侧视图,其用来冷却容纳在干式真空泵设备的电气设备壳体内的电气部件和电子器件;
    附图3B为附图3A的俯视图;
    附图4为根据本发明的另一实施方式的干式真空泵设备的结构设置的示意图;
    附图5为根据本发明的又一实施方式的干式真空泵设备的结构性设置的示意图;以及
    附图6为根据本发明的又一另外实施方式的干式真空泵设备的结构性设置的示意图。
    具体实施方式
    下面参考附图详细描述本发明的优选实施方式。在下面的附图中,使用相同或相应的参考特征表示相同或相应的部分,并且为了简要,尽可能避免对它们进行多余的描述。
    附图1为根据本发明的干式真空泵设备的系统配置的简图。如附图1所示,干式真空泵设备包括:电源10,其具有整流器(rectifier)13,具有滤波电容器(smoothing capacitor)14的直流(DC)电路15,直流(DC)/直流(DC)变换电路16以及变频器(inverter)17;干式真空泵12,其具有电机12a和泵单元12b;以及控制电路18。电源10和控制电路18还可称为控制电路组件。整流器13与交流电源19连接。交流电源19将交流电提供给整流器13,该整流器13将交流电转换为直流电。在控制电路18的控制下,直流(DC)/直流(DC)变换电路16将来自于整流器13的直流电转换为供给至变频器17的具有预定电压的直流电。在控制电路18的控制下,变频器17将由直流(DC)/直流(DC)变换电路16提供的直流电转换为供给至真空泵12的电机12a的具有预定频率的交流电。启动电机12a以驱动泵单元12b,从而操作真空泵12。
    在具有上述系统配置的干式真空泵设备中,当操作真空泵12时,整流器13的整流装置、直流电路15的滤波电容器14、直流(DC)/直流(DC)变换电路16的开关器件、以及变频器17的开关器件产生热量,因为它们输出电力或功率来启动电机12a。真空泵12的电机12a和泵单元12b也产生热量。根据本发明的干式真空泵设备包括有用于有效吸收由上述开关器件以及干式真空泵设备的电气部件和电子器件所产生热量的小型冷却结构或小尺寸的冷却结构,从而对干式真空泵设备进行冷却。包括有这种小型冷却结构的干式真空泵设备同样为小型的或小尺寸的。
    附图2为根据本发明一个实施方式的干式真空泵设备20的结构性配置的示意图。如图2所示,干式真空泵设备20包括电气设备壳体21、泵外壳22、以及置于电气设备壳体21和泵外壳22之间的液冷式分隔件23。电气设备壳体21、泵外壳22和液冷式分隔件23被容纳在外壳24内,以形成一体结构或整体结构。
    电气设备壳体21在其中容纳着产生热量的多种电气部件和电子器件,包括整流器13的整流装置,直流(DC)电路15的滤波电容器14,直流(DC)/直流(DC)变换电路16的开关器件,变频器17的开关器件,以及控制电路18的电气部件。泵壳22内容纳着两个干式真空泵12-1、12-2以及干式真空泵12-1、12-2的操作监测传感器(未示出)。由于容纳在电气设备壳体21中的电气部件和电子器件产生热量,因此它们置于干式真空泵12-1、12-2之上。液冷式分隔件23置于电气部件和电子器件以及干式真空泵12-1、12-2之间,以隔绝热量从干式真空泵12-1、12-2传递至电气设备壳体21中的电气部件和电子器件。
    干式真空泵12-1包括电机12-1a,泵单元12-1b,以及齿轮单元12-1c。类似地,干式真空泵12-2包括电机12-2a,泵单元12-2b,以及齿轮单元12-2c。干式真空泵12-1、12-2的电机12-1a、12-2a,泵单元12-1b、12-2b,以及齿轮单元12-1c、12-2c在操作期间也产生热量。干式真空泵12-1具有包括吸入口27的外壳,干式真空泵12-2具有包括排出口28的外壳。
    液冷式分隔件23被保持为不与干式真空泵12-1、12-2的泵单元12-1b、12-2b直接接触,并固定在从泵单元12-1b、12-2b的外壁延伸的框架上。
    外壳24,或者更具体地说,液冷式分隔件23和泵壳22具有限定在其中的冷却剂通道25,以用于供例如冷却水(即冷水)的冷却剂流动通过。冷却剂通道25设置成首先将冷却水W提供给液冷式分隔件23,然后从液冷式分隔件23供给至干式真空泵12-1、12-2的电机12-1a、12-2a,然后再供给至其泵单元12-1b、12-2b,以在冷却水W流动时相继对产生热量的电气部件和电子器件进行冷却。
    如上所述,液冷式分隔件23置于电气设备壳体21和泵外壳22之间,以及冷却剂通道25设置成首先将冷却水W提供给液冷式分隔件23,然后从液冷式分隔件23供给至干式真空泵12-1、12-2的电机12-1a、12-2a,然后再供给至其泵单元12-1b、12-2b。这样能够有效地对易于产生一定量热量而可能导致故障的电气部件和电子器件进行冷却,并且还能够对容纳整流器13、直流电路15、直流(DC)/直流(DC)变换电路16、变频器17以及控制电路18的电气设备壳体21与容纳着干式真空泵12-1、12-2的泵外壳22有效地进行热隔离。从而,包括有冷却剂通道25的干式真空泵设备20的总体容积最小化,进而尺寸变小。
    附图3A为冷却结构的侧视图,其用于冷却被容纳在电气设备壳体21中的整流器13的整流装置、直流电路15的滤波电容器14、直流(DC)/直流(DC)变换电路16的开关器件、变频器17的开关器件以及控制电路18的电气部件。附图3B为附图3A的俯视图。如图3A和3B所示,属于整流器13、直流电路15、直流(DC)/直流(DC)变换电路16、变频器17以及控制电路18的、并且产生热量的电气部件和电子器件安装在冷却水W在其中循环的液冷式分隔件23上面。
    液冷式分隔件23具有在其中限定的冷却剂通道25,其中作为冷却剂的冷却水在通道中流动。冷却水供给至冷却剂通道25。液冷式分隔件23由例如金属的高传热率的材料制成,例如铝。通过这种设置,由容纳在电气设备壳体21中的电气部件和电子器件产生的热量传递至液冷式分隔件23,并被流动通过冷却剂通道25的冷却水有效吸收。
    在该实施方式中,泵壳22在其中容纳两个干式真空泵12-1、12-2。但是,泵壳22可在其中容纳一个真空泵或三个或更多个真空泵。
    如上所述,根据该实施方式的真空泵设备20包括:在其中容纳控制电路组件(即整流器13、直流电路15、直流(DC)/直流(DC)变换电路16、变频器17以及控制电路18)的电气设备壳体21;在其中容纳干式真空泵12-1、12-2和干式真空泵12-1、12-2的操作监测传感器的泵壳22;以及置于电气设备壳体21和泵壳22之间并具有用于循环冷却剂通过的冷却剂通道25的液冷式分隔件23;其中,电气设备壳体21,泵壳22,和液冷式分隔件23作为一体结构置于外壳24内。冷却剂循环通过液冷式分隔件23中的冷却剂通道25,以吸收被容纳在电气设备壳体21中的电气部件和电子器件产生的热量,从而高效率地对容纳在电气设备壳体21中的电气部件和电子器件进行冷却。包括液冷式分隔件23的冷却结构尺寸小,并且从而包括有该冷却结构的干式真空泵设备20尺寸也变小。
    附图4为根据本发明另一实施方式的干式真空泵设备20a的结构设置的示意图。如图4所示,在该干式真空泵设备20a中,干式真空泵12的泵单元12b置于外壳24的中央,电机12a和齿轮单元12c设置在泵单元12b的两侧。在其内部容纳着变频器17(见图1)和其他电气部件和电子器件的第一电气设备壳体31设置在电机12a的侧面。使用例如水的冷却剂来冷却电机12a和第一电气设备壳体31的高效冷却单元30被置于电机12a和第一电气设备壳体31之间。使用例如水的冷却剂来冷却齿轮单元12c的另一高效冷却单元32设置在齿轮单元12c的侧面。内部容纳着具有包括泵控制CPU的电气部件的控制电路18(见图1)的第二电气设备壳体33设置在泵单元12b和电机12a上面。泵单元12b具有包括入口27和出口28的外壳。
    泵单元12b包括例如容积式(positive-displacement)真空泵,该真空泵具有设置在转子壳内的两个转轴以及固定在转轴上的多组成对的罗茨型转子(roots-type rotor)。这些转子以小间隙彼此间隔开,并且同样以小间隙与转子壳(rotor casing)的内周面间隔开,从而固定于转轴的转子能够围绕转轴彼此不接触且也不会接触壳体地进行旋转。转子壳具有一系列转子隔室(rotor compartment),其沿着转轴限定在其内部并且容纳各组转子,用于通过这些转子隔室传输被泵送的气体。电机12a具有与多个转轴中的一个相连接的输出轴。当电机12a被驱动时,电机的输出轴旋转着被连接在其上的转轴,该转轴通过齿轮单元12c的齿轮使另一转轴与其同步旋转。于是,转子通过入口27抽吸气体,并通过出口28排出气体。
    当电机12a通电驱动时,其电机定子产生热量。所产生的热量传递至电机12a的电机壳,导致其温度增加。随着两个转轴旋转,齿轮单元12c的齿轮也产生热量。所产生的热量传递至齿轮单元12c的齿轮壳,导致其温度增加。电机壳被高效冷却单元30的例如水的冷却剂所冷却,并且齿轮壳被高效冷却单元32的例如水的冷却剂所冷却。
    如上所述,在干式真空泵设备20a的运转期间,电机壳的温度被来自于电机12a的电机定子的热量增加,而齿轮壳的温度被来自于齿轮单元12c的旋转齿轮的热量所升高。根据该实施方式,使用一般采用水冷系统的高效冷却单元(冷却结构)30、32对电机壳和齿轮壳进行冷却。将驱动功率或电力提供给电机12a的变频器17(见图1)是包括例如IGBTs的开关器件。由于流经这些开关器件的电流以及由这些开关器件产生的切换损耗,变频器17的这些开关器件产生相对高的热量。因此,变频器17需要冷却。根据该实施方式,用于冷却电机壳的高效冷却单元30用于冷却变频器17。
    用于控制干式真空泵设备20a操作的控制电路18(见图1)具有电气部件??刂频缏?8的电气部件(包括泵控制CPU),其自身产生的热量并不高。因此只要控制电路18设置在通常保持为控制电路18的电气部件能够使用的外界温度的位置,控制电路18并不需要具有专门的散热结构,但是假设干式真空泵设备20a可能在超过正常操作范围的条件下使用,其与包括强制空气冷却系统的空冷结构相结合或组合。
    如上所述,用于冷却电机12a的高效冷却单元30使用例如水冷系统,并作为吸收由变频器17的开关器件产生的热量的冷却装置而使用,而包括强制空冷系统的空冷结构被作为冷却其自身产生的热量并不高的、控制电路18的电气部件的冷却装置而使用。因此,干式真空泵设备20a具有最小的、简单和有效的冷却结构。
    附图5为根据本发明的又一实施方式的干式真空泵设备20b的结构设置的示意图。附图5显示的干式真空泵设备20b与附图4所示的干式真空泵设备20a的不同点在于,在其内部容纳着变频器17(见图1)和其他电气部件和电子器件的第一电气设备壳体31被设置在齿轮单元12c的侧面,而用于冷却齿轮单元12c的齿轮壳的高效冷却单元32被设置在齿轮单元12c和第一电气设备壳体31之间。附图5表示的干式真空泵设备20b的其他的结构细节与附图4表示的干式真空泵设备20a的相同。
    如上所述,用于冷却齿轮单元12c的齿轮壳的高效冷却单元32被用作吸收由变频器17的开关器件产生的热量的冷却装置,而包括强制空冷系统的空冷结构被用作冷却其自身产生的热量并不高的、控制电路18的电气部件的冷却装置。因此,干式真空泵设备20a具有最小的、简单和有效的冷却结构。
    附图6为根据本发明的又一另外实施方式的干式真空泵设备20c的结构设置的示意图。附图6显示的干式真空泵设备20c与附图4所示的干式真空泵设备20a的不同点在于,控制电路冷却风扇34被设置在控制电路18侧面(见图1),而控制电路18和控制电路冷却风扇34被容纳在第二电气设备壳体33内,从而由控制电路18产生的热量通过控制电路冷却风扇34传输的空气强制散掉,以冷却控制电路18。附图6表示的干式真空泵设备20c的其他的结构细节与附图4表示的干式真空泵设备20a的相同。
    如上所述,用于冷却电机12a的电机壳的高效冷却单元30被用作吸收由变频器17的开关器件产生的热量的冷却装置,而控制电路18侧面上的控制电路冷却风扇34被用作对其自身产生的热量并不高的、控制电路18的电气部件进行强制空冷的冷却装置。因此,干式真空泵设备20c具有最小的、简单和有效的冷却结构。
    在干式真空泵设备20a、20b、20c中,电源10(见图1)和包括电机12a、泵单元12b、齿轮单元12c的干式真空泵12作为一体结构被容纳在外壳24中。每个干式真空泵设备20a、20b、20c均包括第一电气设备壳体31和第二电气设备壳体33,其中第一电气设备壳体31在其内部容纳着自加热值高的、以变频器17为代表的大电流电路,而第二电气设备33在其内部容纳着控制电路18,控制电路18具有以泵控制CPU为代表的电气部件,这些电气部件自身产生的热量不高。每个于式真空泵设备20a、20b、20c均包括第三电气设备壳体,该第三电气设备壳体在其内部容纳着干式真空泵12的操作监测传感器。在其内部容纳着自加热值高的、以变频器17为代表的大电流电路的第一电气设备壳体31,是通过用来对电机12a或齿轮单元12c使用例如水的冷却剂进行冷却的高效冷却单元进行冷却,而其内部容纳着具有以泵控制CPU为代表的电气部件的控制电路18的第二电气设备壳体33是通过使用自然空气循环或强制空气循环的空冷结构进行冷却。
    如上所述,根据本发明的干式真空泵设备包括第一电气设备壳体31和第二电气设备壳体33,其中第一电气设备壳体31在其内部容纳着自加热值高的、以变频器17为代表的大电流电路,而第二电气设备33在其内部容纳着以泵控制CPU为代表的控制电路18。第一电气设备壳体31通过具有冷却剂的高效冷却单元所冷却,而第二电气设备壳体33通过具有自然空气循环或强制空气循环的空冷结构冷却。在其内部容纳着自加热值高的、以变频器17为代表的大电流电路的第一电气设备壳体31被高效地冷却,因此干式真空泵设备的尺寸能够降低。
    在上述实施方式中,冷却水被用作通过冷却剂通道25流动的冷却剂。然而,在冷却剂通道25中可使用任何其他的冷却剂。此外,高效冷却单元30、32中可使用任何其他的冷却剂。
    尽管对本发明的某些优选实施方式进行了详细表示和描述,可以理解的是,本领域技术人员可在这些实施方式中进行各种变化和修改,这些变化和修改均落在附加权利要求的范围内。

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