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    重庆时时彩稳赚技巧视频: 一种通过正负光刻胶复合显影制备微纳米流体系统的方法.pdf

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    摘要
    申请专利号:

    CN201110099968.0

    申请日:

    2011.04.20

    公开号:

    CN102243435A

    公开日:

    2011.11.16

    当前法律状态:

    终止

    有效性:

    无权

    法律详情: 未缴年费专利权终止IPC(主分类):G03F 7/00申请日:20110420授权公告日:20120822终止日期:20150420|||授权|||实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/00申请日:20110420|||公开
    IPC分类号: G03F7/00; G03F7/30 主分类号: G03F7/00
    申请人: 合肥工业大学
    发明人: 王旭迪; 金建; 郑正龙; 李鑫; 汤启升
    地址: 230009 安徽省合肥市屯溪路193号
    优先权:
    专利代理机构: 安徽省合肥新安专利代理有限责任公司 34101 代理人: 何梅生
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201110099968.0

    授权公告号:

    |||102243435B||||||

    法律状态公告日:

    2016.06.15|||2012.08.22|||2012.02.08|||2011.11.16

    法律状态类型:

    专利权的终止|||授权|||实质审查的生效|||公开

    摘要

    本发明公开了一种通过正负光刻胶复合显影制备微纳米流体系统的方法,是首先以玻璃片为基底,制备具有光栅图形的正光刻胶层,接着在正光刻胶层的表面镀上一层SiO2薄膜,随后在所述SiO2薄膜的表面旋涂一层负光刻胶,完全曝光并显影后得到微纳米流体系统。本发明方法新颖,制作简单,通道的均匀性好,不易出现堵塞,成功率高,同时该方法操作灵活,制造成本低,不需要昂贵的实验器材,利于大面积生产。

    关于本文
    本文标题:一种通过正负光刻胶复合显影制备微纳米流体系统的方法.pdf
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