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    重庆时时彩有没漏洞: 固体摄像装置及其制造方法以及电子设备.pdf

    摘要
    申请专利号:

    重庆时时彩单双窍门 www.4mum.com.cn CN201110189004.5

    申请日:

    2009.05.22

    公开号:

    CN102244086A

    公开日:

    2011.11.16

    当前法律状态:

    撤回

    有效性:

    无权

    法律详情: 发明专利申请公布后的视为撤回IPC(主分类):H01L 27/146申请公布日:20111116|||实质审查的生效IPC(主分类):H01L 27/146申请日:20090522|||公开
    IPC分类号: H01L27/146; G02B5/20; G03F7/00 主分类号: H01L27/146
    申请人: 索尼株式会社
    发明人: 大塚洋一; 榎本容幸; 长畑和典; 木村忠之; 林利彦; 青柳健一; 田渕清隆; 杉浦巌; 前田兼作
    地址: 日本东京都
    优先权: 2008.05.22 JP 134698/08; 2009.04.08 JP 094304/09
    专利代理机构: 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人: 马高平
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201110189004.5

    授权公告号:

    ||||||

    法律状态公告日:

    2015.10.28|||2012.02.08|||2011.11.16

    法律状态类型:

    发明专利申请公布后的视为撤回|||实质审查的生效|||公开

    摘要

    本发明提供一种能够提高彩色滤光片的加工精度、抑制混色等的固体摄像装置及其制造方法以及电子设备。该固体摄像装置具有:排列了具有光电转换元件的多个像素的摄像区域以及彩色滤光片,该彩色滤光片包括:第一颜色滤光片成分(2G)、周围被第一颜色滤光片成分(2G)包围并通过自对准而形成的第二颜色滤光片成分(2R)及周围被第一颜色滤光片成分(2G)包围并通过自对准而形成的第三颜色滤光片成分(2B)。

    权利要求书

    1.一种固体摄像装置的制造方法,其特征在于,包括:
    在形成于基板上的硬质掩模的开口部内形成第一颜色滤光片成分、第二
    颜色滤光片成分、第三颜色滤光片成分中的任一个的工序;以及
    在除去所述硬质掩模而形成的开口部形成剩下的彩色滤光片成分的工
    序;并且,
    所述第二颜色滤光片成分和所述第三颜色滤光片成分的各自周围形成
    被所述第一颜色滤光片成分包围的彩色滤光片。
    2.如权利要求1所述的固体摄像装置的制造方法,其特征在于,相互
    邻接的所述第一颜色滤光片成分的四角部接触而形成连续的第一颜色滤光
    片成分。
    3.如权利要求1所述的固体摄像装置的制造方法,其特征在于,在形
    成所述第一颜色滤光片成分之后除去所述硬质掩模而形成第二开口部及第
    三开口部的工序中,具有:
    形成具有开口部的抗蚀剂掩模的工序,该开口部的面积比所述第二开口
    部及第三开口部的面积都??;以及
    利用各向同性干式蚀刻除去所述抗蚀剂掩模的开口部下的硬质掩模的
    工序。
    4.如权利要求1所述的固体摄像装置的制造方法,其特征在于,在形
    成所述剩下的彩色滤光片成分的工序中,具有:
    在除去所述硬质掩模之后,将所述剩下的彩色滤光片成分平滑至具有停
    止层功能的无机膜,该无机膜形成在已有的彩色滤光片的至少表面上。
    5.如权利要求1所述的固体摄像装置的制造方法,其特征在于,具有:
    在邻接的不同的彩色滤光片成分的边界处形成无机膜、遮光膜及气隙中
    的任一个的工序。
    6.如权利要求1所述的固体摄像装置的制造方法,其特征在于,在具
    有形成所述第一颜色滤光片成分并除去所述硬质掩模而形成剩下的彩色滤
    光片成分的工序的情况下,
    第一颜色、第二颜色及第三颜色的滤光片成分材料采用材料固体中不含
    有感光成分的滤光片成分材料。
    7.一种固体摄像装置的制造方法,其特征在于,具有:
    在基板上形成第一颜色滤光片成分的工序,该第一颜色滤光片成分形成
    有开口部且在至少表面上具有无机膜;
    在所述开口部中选择性地形成第二颜色滤光片成分和第三颜色滤光片
    成分的工序,该第二颜色滤光片成分和第三颜色滤光片成分的周围分别由所
    述第一颜色滤光片成分包围;以及
    将所述第二颜色滤光片成分和所述第三颜色滤光片成分平滑至所述无
    机膜的工序。
    8.如权利要求7所述的固体摄像装置的制造方法,其特征在于,所述
    无机膜的形成延长至所述第一颜色滤光片成分的开口部的侧壁。

    关 键 词:
    固体 摄像 装置 及其 制造 方法 以及 电子设备
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