• 四川郎酒股份有限公司获第十二届人民企业社会责任奖年度环保奖 2019-05-13
  • 银保监会新规剑指大企业多头融资和过度融资 2019-05-12
  • 韩国再提4国联合申办世界杯 中国网友无视:我们自己来 2019-05-11
  • 中国人为什么一定要买房? 2019-05-11
  • 十九大精神进校园:风正扬帆当有为 勇做时代弄潮儿 2019-05-10
  • 粽叶飘香幸福邻里——廊坊市举办“我们的节日·端午”主题活动 2019-05-09
  • 太原设禁鸣路段 设备在测试中 2019-05-09
  • 拜耳医药保健有限公司获第十二届人民企业社会责任奖年度企业奖 2019-05-08
  • “港独”没出路!“梁天琦们”该醒醒了 2019-05-07
  • 陈卫平:中国文化内涵包含三方面 文化复兴表现在其中 2019-05-06
  • 人民日报客户端辟谣:“合成军装照”产品请放心使用 2019-05-05
  • 【十九大·理论新视野】为什么要“建设现代化经济体系”?   2019-05-04
  • 聚焦2017年乌鲁木齐市老城区改造提升工程 2019-05-04
  • 【专家谈】上合组织——构建区域命运共同体的有力实践者 2019-05-03
  • 【华商侃车NO.192】 亲!楼市火爆,别忘了买车位啊! 2019-05-03
    • / 6
    • 下载费用:30 金币  

    重庆时时彩龙虎和玩法: 一种用于投影光刻中的焦面检测装置.pdf

    关 键 词:
    一种 用于 投影 光刻 中的 检测 装置
      专利查询网所有资源均是用户自行上传分享,仅供网友学习交流,未经上传用户书面授权,请勿作他用。
    摘要
    申请专利号:

    CN201110224619.7

    申请日:

    2011.08.05

    公开号:

    CN102243138A

    公开日:

    2011.11.16

    当前法律状态:

    驳回

    有效性:

    无权

    法律详情: 发明专利申请公布后的驳回IPC(主分类):G01M 11/02申请公布日:20111116|||实质审查的生效IPC(主分类):G01M 11/02申请日:20110805|||公开
    IPC分类号: G01M11/02; G03F7/20; G03F9/00 主分类号: G01M11/02
    申请人: 中国科学院光电技术研究所
    发明人: 唐燕; 胡松; 陈铭勇
    地址: 610209 四川省成都市双流350信箱
    优先权:
    专利代理机构: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 周长兴
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201110224619.7

    授权公告号:

    ||||||

    法律状态公告日:

    2013.10.30|||2012.02.08|||2011.11.16

    法律状态类型:

    发明专利申请公布后的驳回|||实质审查的生效|||公开

    摘要

    一种用于投影光刻中的焦面检测装置,主要结构为:照明光源发出的光照射到绝对编码光栅上,经绝对编码光栅调制后的光通过投影成像系统后被第一反射镜投影成像到待测面上,经待测面反射后,通过第二反射镜进入检焦标记放大系统后由探测器接收;待测面的高度变化,使探测器接收到的绝对编码光栅像发生变化,利用探测器接收绝对编码光栅像,并提取与待测面高度对应的光栅像绝对编码,完成对待测面位置高度的检测。本发明采用绝对编码光栅代替传统光栅狭缝,通过增加绝对编码光栅编码位数,减小编码周期,能够增大焦面检测范围,提高检焦精度。

    权利要求书

    1.一种用于投影光刻中的焦面检测装置,主要结构为:
    一照明光源,发出的光照射到绝对编码光栅上,经绝对编码光栅调制
    后的光通过投影成像系统后被第一反射镜投影成像到待测面上,经待测面
    反射后,通过第二反射镜进入检焦标记放大系统后由探测器接收;待测面
    的高度变化,使探测器接收到的绝对编码光栅像发生变化,利用探测器接
    收绝对编码光栅像,并提取与待测面高度对应的光栅像绝对编码,完成对
    待测面位置高度的检测。
    2.根据权利要求1所述的用于投影光刻中的焦面检测装置,其中,
    所述照明光源为宽带或单色光源。
    3.根据权利要求1或2所述的用于投影光刻中的焦面检测装置,其
    中,所述照明光源为卤素灯、氙灯、发光二极管或激光器。
    4.根据权利要求1所述的用于投影光刻中的焦面检测装置,其中,
    所述绝对编码光栅具有0、1两种透过率,并利用二进制编码对其透过率
    分布进行编码。
    5.根据权利要求1或4所述的用于投影光刻中的焦面检测装置,其
    中,所述绝对编码光栅沿竖直方向由若干条码道组成,每条码道上由透光
    和不透光的矩形区相间组成,相邻码道的矩形区数目是两倍关系,绝对编
    码光栅上水平方向上每一个位置均与一个固定的二进制编码对应。
    6.根据权利要求1所述的用于投影光刻中的焦面检测装置,其中,
    待测面是投影光刻中待加工的表面,具有镜面反射、漫反射性质的平面或
    曲面。
    7.根据权利要求1所述的用于投影光刻中的焦面检测装置,其中,
    所述探测器件为对光信号敏感的线阵或面阵光电探测类器件中的一种。
    8.根据权利要求1或7所述的用于投影光刻中的焦面检测装置,其
    中,所述探测器件为CCD面阵探测器、线阵CCD探测器或CMOS器件。

    说明书

    一种用于投影光刻中的焦面检测装置

    技术领域

    本发明涉及投影光刻系统中的检焦技术,是一种基于光学三角测量原
    理,利用编码光栅,实现对基片高度变化量进行大范围测量的技术。

    背景技术

    投影光刻机是大规模集成电路生产的重要设备之一。投影光刻机中的
    投影物镜作为核心部件,其主要功能是将掩模板上的图形按一定比例成像
    到要加工的对象上。由于投影物镜焦深有限,为保证曝光质量,在曝光过
    程中需要使加工对象的相应表面始终位于物镜焦深范围之内。为此,投影
    光刻机采用了检焦系统对加工对象的表面高度变化量进行测量,并以此为
    依据对工件台进行调整,使待加工表面始终位于投影物镜焦平面上。

    现有光刻设备中的检焦系统,通常采用三角原理对待加工表面的高度
    变化信息进行测量。测量过程中,将狭缝光栅像投影到待加工表面,利用
    CCD或其他光电探测器件接收反射后的狭缝像,待加工表面的高度变化将
    使CCD探测到的狭缝像位置发生变化,通过求解CCD探测到的狭缝像中
    心位置信息能够获得待加工表面的高度变化量。由于采用狭缝作为位置标
    记,检焦系统的测量范围有限,但高度变化超出CCD视场范围,将无法
    进行测量。并且测量过程中,狭缝像可能位于CCD边缘位置,为了获得
    高质量的成像结果,对CCD镜头质量有较高要求。

    发明内容

    本发明的目的是提供一种用于投影光刻中的基于编码光栅的焦面检
    测装置,以解决现有光刻设备检焦系统存在的测量范围有限,CCD镜头成
    像质量要求高等问题。

    为了实现上述目的,本发明提供的用于投影光刻中的焦面检测装置,
    主要结构为:

    一照明光源,发出的光照射到绝对编码光栅上,经绝对编码光栅调制
    后的光通过投影成像系统后被第一反射镜投影成像到待测面上,经待测面
    反射后,通过第二反射镜进入检焦标记放大系统后由探测器接收;待测面
    的高度变化,使探测器接收到的绝对编码光栅像发生变化,利用探测器接
    收绝对编码光栅像,并提取与待测面高度对应的光栅像绝对编码,完成对
    待测面位置高度的检测。

    所述的用于投影光刻中的焦面检测装置,其中,所述照明光源为宽带
    或单色光源。

    所述的用于投影光刻中的焦面检测装置,其中,所述照明光源为卤素
    灯、氙灯、发光二极管或激光器。

    所述的用于投影光刻中的焦面检测装置,其中,所述绝对编码光栅具
    有0、1两种透过率,并利用二进制编码对其透过率分布进行编码。

    所述的用于投影光刻中的焦面检测装置,其中,所述绝对编码光栅沿
    竖直方向由若干条码道组成,每条码道上由透光和不透光的矩形区相间组
    成,相邻码道的矩形区数目是两倍关系,绝对编码光栅上水平方向上每一
    个位置均与一个固定的二进制编码对应。

    所述的用于投影光刻中的焦面检测装置,其中,待测面是投影光刻中
    待加工的表面,具有镜面反射、漫反射性质的平面或曲面。

    所述的用于投影光刻中的焦面检测装置,其中,所述探测器件为对光
    信号敏感的线阵或面阵光电探测类器件中的一种。

    所述的用于投影光刻中的焦面检测装置,其中,所述探测器件为CCD
    面阵探测器、线阵CCD探测器或CMOS器件。

    本发明的有益效果是:通过利用编码光栅代替传统狭缝,提高了检焦
    测量范围,并且仅利用CCD中心区域,或线阵光电探测器件记录编码光
    栅像,降低了对CCD镜头成像质量的要求。并且,本发明采用绝对编码
    光栅,仅需利用线阵光电探测器,或面阵光电探测器的中心部分对其光栅
    像进行探测,降低了对成像系统镜头的要求,利于实现高精度焦面测量。

    附图说明

    图1为本发明中焦面检测装置原理图

    图2为编码光栅示意图

    附图中主要组件符号说明:

    照明光源1;绝对编码光栅2;投影成像系统3;第一反射镜4;待测
    面5;第二反射镜6;检焦标记放大系统;探测器件8。

    具体实施方式

    本发明利用二元编码光栅代替传统狭缝,实现大范围,高精度的焦面
    检测。

    本发明由照明光源1、绝对编码光栅2、投影成像系统3、第一反射镜
    4、待测面5、第二反射镜6、检焦标记放大系统7和探测器件8组成。由
    照明光源1发出的光照射到绝对编码光栅2上,经绝对编码光栅2调制后
    的光通过投影成像系统3后被反射镜4投影成像到待测面5上,经待测面
    5反射后,通过反射镜6进入检焦标记放大系统7后被探测器件8接收。
    利用探测器8接收随待测面5高度变化而位置发生改变的绝对编码光栅
    像,通过提取与待测面5高度对应的光栅像绝对编码,完成对待测面5位
    置高度的检测。

    本发明的照明光源1采用宽带或单色光源,所述宽带或单色光源包括
    卤素灯、氙灯、LED、激光器或工程技术中常见的光源。

    本发明的绝对编码光栅2,作为检焦标记具有0、1两种透过率,并利
    用二进制编码对其透过率分布进行编码。绝对编码光栅沿竖直方向由若干
    条码道组成,每条码道上由透光和不透光的矩形区相间组成,相邻码道的
    矩形区数目是两倍关系,绝对编码光栅上水平方向上每一个位置均与一个
    固定的二进制编码对应。分辨率要求越高,测量范围要求越大,码道就越
    多,对于一个具有N位编码的绝对编码光栅,必须具有N条码道。

    本发明的待测面5是投影光刻中待加工的表面,是具有镜面反射、漫
    反射性质的平面或曲面。

    本发明的探测器件8不仅可以为CCD面阵探测器,还可以是线阵CCD
    探测器,CMOS器件等对光信号敏感的线阵或面阵光电探测类器件中的一
    种。

    为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚明白,以下结合具体实
    施例,并参照附图,对本发明进一步详细说明。

    本发明的焦面检测装置如图1所示,包括:由照明光源1、绝对编码
    光栅2、投影成像系统3、反射镜4、待测面5、反射镜6、检焦标记放大
    系统7和探测器件8组成。

    照明光源1采用LED作为光源,工作过程中,照明光源1发出的光
    照射到绝对编码光栅2上,经绝对编码光栅2调制后由投影成像系统3后
    及反射镜4投影成像到待测面5上,待测面5为具有镜面反射性质的待加
    工平面。光栅像被待测面5反射后,经反射镜6及放大系统7后,由探测
    器件8接收。探测器件8为线阵光电探测器件。

    改检焦系统基于三角测量原理,当待测面高度发生变化时,探测器8
    接收到的光栅像将发生变化。本发明采用绝对编码光栅,光栅中每一个位
    置均与一个编码相对应,通过线阵探测器接收到光栅像并对其解调,就能
    够获得此时待测面5所处高度的对应编码。通过实验得到光刻投影物镜的
    理想成像焦面高度,并对该检焦系统进行标定,获得理想成像焦面对应的
    光栅像编码。工作过程中,通过对比理想成像焦面对应编码以及实时测量
    获得的待测面5的高度编码,就可以计算出待测面5与理想焦面的高度差,
    以此为依据对待测面5的高度进行调整,从而保证待测面5始终位于物镜
    理想焦面上。

    本实施例中,系统入射角θ为7°,投影成像系统3缩小倍率为5倍,
    放大系统7的放大倍率为5倍,线阵光电探测器的单个线宽为5μm。根据
    三角测量原理,当基片高度变化h时,所观察到的光栅像的移动量约为2h,
    为了达到1μm的焦面变化探测精度,以及32μm的测量范围,采用的绝对
    编码光栅应具有5位编码,即具有5条码道,其结构如图2所示。绝对编
    码光栅2具有0、1两种透过率,沿竖直方向由5条码道组成,每条码道
    上由透光和不透光的矩形区相间组成,相邻码道的矩形区数目是两倍关
    系,最小光栅矩形宽度10μm。

    本发明未详细阐述的内容为本领域技术人员的公知常识。

    以上所述仅为本发明的具体实施实例,并不用于限制本发明。凡在本
    发明的精神和原则之内所做的任何修改,等同替换或者改进等,均应包含
    在本发明的?;し段б阅?。

    关于本文
    本文标题:一种用于投影光刻中的焦面检测装置.pdf
    链接地址://www.4mum.com.cn/p-5861834.html
    关于我们 - 网站声明 - 网站地图 - 资源地图 - 友情链接 - 网站客服 - 联系我们

    [email protected] 2017-2018 www.4mum.com.cn网站版权所有
    经营许可证编号:粤ICP备17046363号-1 
     


    收起
    展开
  • 四川郎酒股份有限公司获第十二届人民企业社会责任奖年度环保奖 2019-05-13
  • 银保监会新规剑指大企业多头融资和过度融资 2019-05-12
  • 韩国再提4国联合申办世界杯 中国网友无视:我们自己来 2019-05-11
  • 中国人为什么一定要买房? 2019-05-11
  • 十九大精神进校园:风正扬帆当有为 勇做时代弄潮儿 2019-05-10
  • 粽叶飘香幸福邻里——廊坊市举办“我们的节日·端午”主题活动 2019-05-09
  • 太原设禁鸣路段 设备在测试中 2019-05-09
  • 拜耳医药保健有限公司获第十二届人民企业社会责任奖年度企业奖 2019-05-08
  • “港独”没出路!“梁天琦们”该醒醒了 2019-05-07
  • 陈卫平:中国文化内涵包含三方面 文化复兴表现在其中 2019-05-06
  • 人民日报客户端辟谣:“合成军装照”产品请放心使用 2019-05-05
  • 【十九大·理论新视野】为什么要“建设现代化经济体系”?   2019-05-04
  • 聚焦2017年乌鲁木齐市老城区改造提升工程 2019-05-04
  • 【专家谈】上合组织——构建区域命运共同体的有力实践者 2019-05-03
  • 【华商侃车NO.192】 亲!楼市火爆,别忘了买车位啊! 2019-05-03
  • 围棋棋谱讲解 山东十一选五投注时间 四川时时彩开奖号码查询 黑龙江11选5选3走势图 体彩14场胜负彩开奖 现在加盟什么行业最赚钱吗 福利彩票35选7第四期 河南十一选五奖励 足彩胜负彩 天津快乐十分任五遗漏 2019股票推荐排名 湖南幸运赛车走势 怎样进入彩票中心 安徽快三走势图和值 美国股票指数东方财富网 斯诺克桌