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    一种 甲基 安全 输送 装置
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    摘要
    申请专利号:

    CN201610330689.3

    申请日:

    2016.05.18

    公开号:

    CN106006525A

    公开日:

    2016.10.12

    当前法律状态:

    实审

    有效性:

    审中

    法律详情: 实质审查的生效IPC(主分类):B67D 7/02申请日:20160518|||公开
    IPC分类号: B67D7/02(2010.01)I; B67D7/72(2010.01)I; B67D7/78(2010.01)I; B67D7/32(2010.01)I 主分类号: B67D7/02
    申请人: 上海正帆科技股份有限公司
    发明人: 龚小雷; 潘高鹏; 李东升
    地址: 201108 上海市闵行区莘庄工业区春中路56号
    优先权:
    专利代理机构: 上海申汇专利代理有限公司 31001 代理人: 翁若莹;王婧
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201610330689.3

    授权公告号:

    |||

    法律状态公告日:

    2016.11.09|||2016.10.12

    法律状态类型:

    实质审查的生效|||公开

    摘要

    本发明提供了一种三甲基铝的安全输送装置,其特征在于,包括三甲基铝源瓶,所述的三甲基铝源瓶分别连接第一推送气体入口管路、第一三甲基铝源出口管路、第一吹扫气源入口管路和第一排放出口管路。本发明能够彻底消除安全隐患,保证三甲基铝源供应的纯度,保证压力输出的稳定性。

    关于本文
    本文标题:一种三甲基铝的安全输送装置.pdf
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