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    摘要
    申请专利号:

    CN201610575543.5

    申请日:

    2013.10.22

    公开号:

    CN106225288A

    公开日:

    2016.12.14

    当前法律状态:

    授权

    有效性:

    有权

    法律详情: 授权|||实质审查的生效IPC(主分类):F25B 9/14申请日:20131022|||公开
    IPC分类号: F25B9/14; F28D17/02 主分类号: F25B9/14
    申请人: 株式会社东芝; 东芝高新材料公司
    发明人: 山田胜彦; 布施圭一
    地址: 日本东京都
    优先权: 2012.10.22 JP 2012-232936
    专利代理机构: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 代理人: 黄永杰
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    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201610575543.5

    授权公告号:

    ||||||

    法律状态公告日:

    2019.01.29|||2017.01.11|||2016.12.14

    法律状态类型:

    授权|||实质审查的生效|||公开

    摘要

    提高蓄冷材粒子相对于冷头的载物台的充填率,且抑制制冷剂气体的通气性的降低。本发明的冷头的制造方法,具备:在蓄冷容器内充填第一蓄冷材粒子群的工序、以及在所述蓄冷容器内,由金属网材与所述第一蓄冷材粒子群分隔并充填第二蓄冷材粒子群的工序,作为所述金属网材,使用具有长边的长度在所述蓄冷材粒子群的平均粒径的1/10以上、1/2以下的四角形状的网孔并且具有被编织成网状且线径在20μm以上、90μm以下的金属线的网材。

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    本文标题:冷头的制造方法.pdf
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