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    重庆时时彩在哪里玩: 提高电铸微流控镍模具寿命的方法及电铸微流控镍模具.pdf

    摘要
    申请专利号:

    重庆时时彩单双窍门 www.4mum.com.cn CN201610772529.4

    申请日:

    2016.08.30

    公开号:

    CN106222708A

    公开日:

    2016.12.14

    当前法律状态:

    授权

    有效性:

    有权

    法律详情: 授权|||著录事项变更IPC(主分类):C25D 1/10变更事项:申请人变更前:北京同方光盘股份有限公司变更后:北京同方光盘股份有限公司变更事项:地址变更前:100000 北京市海淀区清华大学毕业大厦6层变更后:101500 北京市海淀区清华大学华业大厦6层|||专利申请权的转移IPC(主分类):C25D 1/10登记生效日:20180517变更事项:申请人变更前权利人:北京同方生物芯片技术有限公司变更后权利人:北京同方光盘股份有限公司变更事项:地址变更前权利人:101500 北京市密云县密云经济技术开发区水源路4号清华同方信息综合楼202室变更后权利人:100000 北京市海淀区清华大学毕业大厦6层|||实质审查的生效IPC(主分类):C25D 1/10申请日:20160830|||公开
    IPC分类号: C25D1/10 主分类号: C25D1/10
    申请人: 北京同方生物芯片技术有限公司
    发明人: 郭哲; 刘??? 许斌; 李晓龙; 胡在兵
    地址: 101500 北京市密云县密云经济技术开发区水源路4号清华同方信息综合楼202室
    优先权:
    专利代理机构: 北京亿腾知识产权代理事务所 11309 代理人: 陈霁
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201610772529.4

    授权公告号:

    ||||||||||||

    法律状态公告日:

    2018.07.13|||2018.06.22|||2018.06.05|||2017.01.11|||2016.12.14

    法律状态类型:

    授权|||著录事项变更|||专利申请权、专利权的转移|||实质审查的生效|||公开

    摘要

    本发明涉及一种提高电铸微流控镍模具的方法,包括:根据微流控设计的图形,设计、制备负性掩模板;在衬底上旋涂负性光刻胶;利用所述负性掩模板对所述衬底上的光刻胶进行曝光、显影处理;对显影处理后得到的光刻胶图形进行表面金属化处理;将表面金属化的光刻模具进行电铸处理,得到电铸模具;将所述电铸模具进行减薄打磨处理,获得所需电铸微流控镍模具。本方法通过合理设计安排电铸微流控镍模具中镍板的厚度,再借助精密打磨设备,将电铸出的镍模具背部打磨平,借助此方法增强了镍模具的机械强度,大大提高了微流控镍模具的寿命,节约了模具制备成本,间接提高了微流控芯片的片间均匀性。

    权利要求书

    1.一种提高电铸微流控镍模具的方法,其特征在于,所述方法包括:
    根据微流控设计的图形,设计、制备负性掩模板;
    在衬底上旋涂负性光刻胶;
    利用所述负性掩模板对所述衬底上的光刻胶进行曝光、显影处理;
    对显影处理后得到的光刻胶图形进行表面金属化处理;
    将表面金属化的光刻模具进行电铸处理,得到电铸模具;
    将所述电铸模具进行减薄打磨处理,获得所需电铸微流控镍模具。
    2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述衬底为玻璃、金属或表面附有金属的
    玻璃料。
    3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,对所述衬底上的光刻胶进行曝光处理之
    前,还包括:
    对所述衬底上的光刻胶进行烘焙处理。
    4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,对所述曝光处理后的光刻胶进行显影处理
    之前,还包括:
    对所述曝光处理后的光刻胶进行烘焙处理。
    5.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,对所述光刻胶图形进行表面金属化处理,
    具体为:
    对所述光刻胶图形进行磁控溅射镍,达到表面金属化的目的。
    6.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,电铸的厚度为光盘注塑机正常模具的厚度
    加上信息层的高度。
    7.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,将所述电铸模具进行减薄打磨处理,获得
    所需电铸微流控镍模具,具体为:
    将电铸模具中信息层的背部悬空的部分打磨掉,使得电铸的厚度变为适合光盘注塑机
    使用的位置,获得所需电铸微流控镍模具。
    8.一种如权利要求1-7任一项所述的方法制备的电铸微流控镍模具。

    关 键 词:
    提高 电铸 微流控镍 模具 寿命 方法
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