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    扫描 设备
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    摘要
    申请专利号:

    CN201010257003.5

    申请日:

    2010.08.17

    公开号:

    CN102375076A

    公开日:

    2012.03.14

    当前法律状态:

    授权

    有效性:

    有权

    法律详情: 授权|||实质审查的生效IPC(主分类):G01Q 10/00申请日:20100817|||公开
    IPC分类号: G01Q10/00(2010.01)I 主分类号: G01Q10/00
    申请人: 台湾积体电路制造股份有限公司
    发明人: 李伯毅; 郑荣伟; 王宗鼎
    地址: 中国台湾新竹市
    优先权:
    专利代理机构: 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 代理人: 姜燕;陈晨
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201010257003.5

    授权公告号:

    ||||||

    法律状态公告日:

    2016.08.03|||2012.04.25|||2012.03.14

    法律状态类型:

    授权|||实质审查的生效|||公开

    摘要

    本发明公开了一种扫描设备,用以对一待测物进行检测,包括一轨道、一探测头、一连接装置以及一转位单元。该连接装置连接该轨道以及该探测头,该连接装置包括一推送单元,该推送单元连接该轨道,使该连接装置及该探测头沿该轨道滑动。转位单元连接于该探测头以及该轨道,该转位单元通过磁力控制该探测头相对于该轨道而转动。本发明中的由该待测物所反射的超音波信号仍可充分的由探测头接收,可避免检测失败的情况发生。

    权利要求书

    1: 一种扫描设备, 用以对一待测物进行检测, 包括 : 一轨道 ; 一探测头 ; 一连接装置, 该连接装置连接该轨道以及该探测头, 该连接装置包括一推送单元, 该推 送单元连接该轨道, 使该连接装置及该探测头沿该轨道滑动 ; 以及 一转位单元, 连接于该探测头以及该轨道, 该转位单元通过磁力控制该探测头相对于 该轨道而转动。
    2: 如权利要求 1 所述的扫描设备, 其中, 该推送单元包括多个滚轮, 该滚轮于该轨道中 滑动。
    3: 如权利要求 1 所述的扫描设备, 其中, 该转位单元包括多个悬吊磁铁以及多个悬吊 电磁元件, 所述多个悬吊磁铁设于该探测头之上, 所述多个悬吊电磁元件设于该轨道, 所述 多个悬吊电磁元件对应所述多个悬吊磁铁, 通过调制所述多个悬吊电磁元件对于所述多个 悬吊磁铁的吸力, 该探测头相对于该轨道转动。
    4: 如权利要求 3 所述的扫描设备, 其中, 该轨道包括一支撑部以及一悬吊部, 该支撑部 形成于该悬吊部的两侧, 该推送单元于该支撑部接触该轨道, 所述多个悬吊电磁元件设于 该支撑部之上。
    5: 如权利要求 4 所述的扫描设备, 其中, 该转位单元还包括多个辅推磁铁以及多个辅 推电磁元件, 所述多个辅推磁铁设于该探测头之上, 所述多个辅推电磁元件设于该轨道, 所 述多个辅推电磁元件对应所述多个辅推磁铁, 通过调制所述多个辅推电磁元件对于所述多 个辅推磁铁的吸力, 该探测头相对于该轨道转动。
    6: 如权利要求 5 所述的扫描设备, 其中, 所述多个辅推电磁元件设于该悬吊部之上。
    7: 如权利要求 6 所述的扫描设备, 其中, 该探测头包括一顶面, 该顶面上形成有一凹 槽, 所述多个悬吊磁铁设于该顶面之上, 所述多个辅推磁铁设于该凹槽之中。
    8: 如权利要求 1 所述的扫描设备, 其中, 该连接装置还包括一支撑框件, 该支撑框件连 接该推送单元以及该探测头。
    9: 如权利要求 1 所述的扫描设备, 其中, 该扫描设备为一超音波扫描式显微镜。
    10: 如权利要求 1 所述的扫描设备, 其中, 该转位单元包括多个磁铁以及多个电磁元 件, 所述多个磁铁设于该轨道之上, 所述多个电磁元件设于该探测头, 所述多个电磁元件对 应所述多个磁铁, 通过调制所述多个电磁元件对于所述多个磁铁的吸力, 该探测头相对于 该轨道转动。

    说明书


    扫描设备

        【技术领域】
         本发明涉及一种扫描设备, 尤其涉及一种超音波扫描式显微镜。背景技术 参照图 1A, 其显示公知的超音波扫描式显微镜 1(C-Mode Scanning Acoustic Microscope) 的扫描情形。公知的超音波扫描式显微镜 1 包括一轨道 10、 一探测头 20 以及 介质液体 30。待测物 ( 晶片 )40 置于该介质液体 30 之中, 该探测头 20 沿轨道 10 滑动, 该 探测头 20 朝该待测物 ( 晶片 )40 发出一超音波信号 2, 该超音波信号 2 接触该待测物 ( 晶 片 )40 之后, 由该待测物 ( 晶片 )40 反射, 并由该探测头 20 所接收。借此, 以检测该待测物 ( 晶片 )40 的表面情况。
         参照图 1B, 然而, 当待测物 ( 晶片 )40 表面的弯曲程度过大时, 由该待测物 ( 晶 片 )40 所反射的超音波信号 2 将被散射, 而无法充分的由探测头 20 接收, 因此将导致检测 失败。
         发明内容
         本发明即为了欲解决公知技术的问题而提供的一种扫描设备, 用以对一待测物进 行检测, 包括一轨道、 一探测头、 一连接装置以及一转位单元。该连接装置连接该轨道以及 该探测头, 该连接装置包括一推送单元, 该推送单元连接该轨道, 使该连接装置及该探测头 沿该轨道滑动。转位单元连接于该探测头以及该轨道, 该转位单元通过磁力控制该探测头 相对于该轨道而转动。
         应用本发明的扫描设备, 由于探测头可以通过磁力调制而相对于该轨道转动, 因 此可以调整超音波信号的射出方向。当待测物 ( 晶片 ) 表面的弯曲程度过大时, 超音波信 号的行进方向仍然可以大致垂直于该待测物 ( 晶片 ) 表面, 因此由该待测物 ( 晶片 ) 所反 射的超音波信号仍可充分的由探测头接收, 避免检测失败的情况发生。 附图说明 图 1A 显示公知的超音波扫描式显微镜
         图 1B 显示当待测物 ( 晶片 ) 表面的弯曲程度过大时, 公知的超音波扫描式显微镜 的扫描情形 ;
         图 2 显示本发明实施例的扫描设备 ;
         图 3 显示图 2 中的沿 X 方向观察的剖面图 ; 以及
         图 4A 以及图 4B 显示本发明的扫描设备的扫描情形。
         其中, 附图标记说明如下 :
         1 ~超音波扫描式显微镜 ;
         2 ~超音波信号 ; 10 ~轨道 ;
         20 ~探测头 ; 30 ~介质液体 ;
         40 ~待测物 ; 100 ~扫描设备 ; 110 ~轨道 ; 111 ~支撑部 ; 112 ~悬吊部 ; 120 ~探测头 ; 121 ~顶面 ; 122 ~凹槽 ; 130 ~连接装置 ; 131 ~推送单元 ; 132 ~支撑框件 ; 140 ~转位单元 ; 141 ~悬吊电磁元件 ; 142 ~悬吊磁铁 ; 143 ~辅推电磁元件 ; 144 ~辅推磁铁。具体实施方式
         参照图 2, 其显示本发明实施例的扫描设备 100, 用以对一待测物 40 进行检测, 包 括一轨道 110、 一探测头 120、 一连接装置 130、 介质液体 30 以及一转位单元 140。待测物 40 置于该介质液体 30 之中。连接装置 130 连接该轨道 110 以及该探测头 120。连接装置 130 包括一推送单元 131。推送单元 131 连接该轨道 110, 使该连接装置 130 及该探测头 120 沿 该轨道 110 滑动。转位单元 140 连接该探测头 120 以及该轨道 110, 该转位单元 140 通过磁 力控制该探测头 120 相对于该轨道 110 而转动。 参照图 3, 其显示图 2 中的沿 X 方向观察的剖面图。搭配参照图 2、 图 3, 轨道 110 包括一支撑部 111 以及一悬吊部 112, 该支撑部 111 形成于该悬吊部 112 的两侧, 该推送单 元 131 于该支撑部 111 接触该轨道 110。该推送单元 131 可以为滚轮, 该滚轮 (131) 于该轨 道 110 的支撑部 111 上滑动。
         该探测头 120 包括一顶面 121, 该顶面 121 上形成有一凹槽 122。
         搭配参照图 2、 图 3, 该转位单元 140 包括多个悬吊电磁元件 141、 多个悬吊磁铁 142、 多个辅推电磁元件 143 以及多个辅推磁铁 144。
         所述多个悬吊磁铁 142 设于该探测头 120 的该顶面 121 之上, 所述多个悬吊电磁 元件 141 设于该轨道 110 的该支撑部 111 之上。所述多个悬吊电磁元件 141 对应所述多个 悬吊磁铁 142, 通过调制所述多个悬吊电磁元件 141 对于所述多个悬吊磁铁 142 的吸力, 可 使该探测头 120 相对于该轨道 110 转动。
         所述多个辅推磁铁 144 设于该探测头 120 的该凹槽 122 之中, 所述多个辅推电磁 元件 143 设于该轨道 110 的该悬吊部 112 之上 ( 接近底端 ), 所述多个辅推电磁元件 143 对 应所述多个辅推磁铁 144, 通过调制所述多个辅推电磁元件 143 对于所述多个辅推磁铁 144 的吸力, 可使该探测头 120 相对于该轨道 110 转动。
         参照图 3, 该连接装置 130 还包括一支撑框件 132, 该支撑框件 132 连接该推送单 元 131 以及该探测头 120。
         参照图 4A 以及图 4B, 其显示本发明的扫描设备 100 的扫描情形, 其中, 由于探测头 120 可以通过磁力调制而相对于该轨道 110 转动, 因此可以调整超音波信号 2 的射出方向。 当待测物 ( 晶片 )40 表面的弯曲程度过大时, 超音波信号 2 的行进方向仍然可以大致垂直 于该待测物 ( 晶片 )40 表面, 因此由该待测物 ( 晶片 )40 所反射的超音波信号 2 仍可充分 的由探测头 20 接收, 避免检测失败的情况发生。
         在上述实施例中, 扫描设备 100 可以根据探测头 20 所接收的超音波信号 2, 动态控
         制探测头 120 的旋转方位。
         在上述实施例中, 所述多个悬吊磁铁 142 设于该探测头 120 之上, 所述多个悬吊电 磁元件 141 设于该轨道 110 之上, 所述多个辅推磁铁 144 设于该探测头 120 之上, 所述多个 辅推电磁元件 143 设于该轨道 110 之上。然而, 上述描述并限制本发明, 在一变形例之中, 悬吊磁铁 142 与悬吊电磁元件 141 也可以互换位置, 辅推磁铁 144 与辅推电磁元件 143 也 可以互换位置。
         该扫描设备 100 可以为一超音波扫描式显微镜 (C-Mode Scanning Acoustic Microscope) 或其他形式的扫描设备。
         虽然本发明已以具体的优选实施例揭示如上, 然其并非用以限定本发明, 任何本 领域普通技术人员, 在不脱离本发明的精神和范围内, 仍可作些许的更动与润饰, 因此本发 明的?;し段У笔铀降娜ɡ笏缍ǖ姆段?。

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