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    重庆时时彩稳赚计划软件: 梁膜结合传感器结构.pdf

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    结合 传感器 结构
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    摘要
    申请专利号:

    CN201110253241.3

    申请日:

    2011.08.31

    公开号:

    CN102359837A

    公开日:

    2012.02.22

    当前法律状态:

    授权

    有效性:

    有权

    法律详情: 授权|||实质审查的生效IPC(主分类):G01L 1/20申请日:20110831|||公开
    IPC分类号: G01L1/20; G01L9/02 主分类号: G01L1/20
    申请人: 江苏奥力威传感高科股份有限公司
    发明人: 戴兆喜; 韩民俊; 乔康; 程绍龙; 范传东
    地址: 225000 江苏省扬州市邗江区邗江经济开发区祥园路8号
    优先权:
    专利代理机构: 代理人:
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    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201110253241.3

    授权公告号:

    102359837B||||||

    法律状态公告日:

    2013.10.23|||2012.07.04|||2012.02.22

    法律状态类型:

    授权|||实质审查的生效|||公开

    摘要

    梁膜结合传感器结构,包括底部的支撑梁,支撑梁上部为压敏电阻层,压敏电阻层的表层为钝化膜,所述支撑梁截面呈正立的直角梯形,并在支撑梁的上部设置有一个与压敏电阻层和钝化膜等高的?;ぬ?,?;ぬ跤糜谙拗蒲姑舻缱璨阋约把姑舻缱璨惚砻娴亩刍そ胁嘞蛞贫?,并且可以对压敏电阻层的侧面进行?;?,而支撑梁的截面呈正立的直角梯形,即直角梯形的宽边位于下部,直角梯形的窄边位于上部,这样可以使上部窄边所受到的压力进行扇面状的分散,可以降低对底部支撑壳体的应力要求。

    权利要求书

    1: 梁膜结合传感器结构, 包括底部的支撑梁, 支撑梁上部为压敏电阻层, 压敏电阻层的 表层为钝化膜, 其特征在于, 所述支撑梁截面呈正立的直角梯形, 并在支撑梁的上部设置有 一个与压敏电阻层和钝化膜等高的?;ぬ?, 所述?;ぬ跤胨鲋С帕阂惶宄尚?。

    说明书


    梁膜结合传感器结构

        【技术领域】
         本发明涉及一种压力传感器结构, 具体的说是钝化膜与支撑梁相结合的传感器结构。 背景技术 MEMS 压力传感器中最重要的部分是感受压力的压敏电阻, 常用的结构式采用四个 压敏电阻组成惠斯通桥。所以常用的压力传感器结构都会涉及一层压敏电阻层。在使用的 过程中由于需要对压敏电阻层进行?;?, 而同时需要在感受压力之后将压力承受起来, 于 是就需要有支撑梁, 常用的支撑梁都是倒梯形结构, 由梯形的窄边进行支撑感受到的压力, 而宽边不需要承受压力, 为了保证足够的支撑强度, 需要将梯形的窄边设计的足够宽, 这样 就造成一定程度的材料浪费, 而常用的压力传感器结构采用的都是层状结构, 即外部的钝 化膜、 压敏电阻、 支撑梁结构都是具有独立的分层的, 相互之间不交叉, 所以也就不能起到 相应的限制作用, 于是目前所使用的压力传感器都必须是整体成型的, 如果采用分体成型 的结构, 则需要设计其他的?;?、 限制等结构。
         发明内容 本发明的目的是提供一种梁膜结合传感器结构, 解决现有技术采用的整体式的支 撑梁呈倒梯形, 其应力承受范围相对较小, 应力分布不均, 易于产生应力集中的问题。
         本发明的目的是通过以下技术方案来实现 :
         梁膜结合传感器结构, 包括底部的支撑梁, 支撑梁上部为压敏电阻层, 压敏电阻层 的表层为钝化膜, 所述支撑梁截面呈正立的直角梯形, 并在支撑梁的上部设置有一个与压 敏电阻层和钝化膜等高的?;ぬ?, 所述?;ぬ跤胨鲋С帕阂惶宄尚?, ?;ぬ跤糜谙拗蒲?敏电阻层以及压敏电阻层表面的钝化膜进行侧向移动, 并且可以对压敏电阻层的侧面进行 ?;?, 而支撑梁的截面呈正立的直角梯形, 即直角梯形的宽边位于下部, 直角梯形的窄边位 于上部, 这样可以使上部窄边所受到的压力进行扇面状的分散, 可以降低对底部支撑壳体 的应力要求。 事实上, 不管是采用正立的梯形还是倒立的梯形结构, 与压敏电阻层接触的部 分所受到的压力不会减小, 即两种设置方式中梯形的顶部承受的压力是相同的, 不同之处 仅在于底部所承受的压力变化, 通过本发明的结构改进, 可以降低底部支撑壳体的应力承 受能力, 提高稳定性。
         附图说明
         下面根据附图和实施例对本发明作进一步详细说明。
         图 1 是本发明实施例所述的梁膜结合传感器结构的结构图。 具体实施方式
         如图 1 所示, 本发明所述的梁膜结合传感器结构, 包括底部的支撑梁 1, 支撑梁 1 上部为压敏电阻层 2, 压敏电阻层 2 的表层为钝化膜 3, 所述支撑梁 1 截面呈正立的直角梯形, 并在支撑梁 1 的上部设置有一个与压敏电阻层 2 和钝化膜 3 等高的?;ぬ?4, 所述?;ぬ?4 与所述支撑梁 1 一体成型, ?;ぬ?4 用于限制压敏电阻层 2 以及压敏电阻层 2 表面的钝 化膜 3 进行侧向移动, 并且可以对压敏电阻层 2 的侧面进行?;?, 而支撑梁 1 的截面呈正立 的直角梯形, 即直角梯形的宽边位于下部, 直角梯形的窄边位于上部, 这样可以使上部窄边 所受到的压力进行扇面状的分散, 可以降低对底部支撑壳体的应力要求。 事实上, 不管是采 用正立的梯形还是倒立的梯形结构, 与压敏电阻层 2 接触的部分所受到的压力不会减小, 即两种设置方式中梯形的顶部承受的压力是相同的, 不同之处仅在于底部所承受的压力变 化, 通过本发明的结构改进, 可以降低底部支撑壳体的应力承受能力, 提高稳定性。 ?;ぬ?4 与所述支撑梁 1 一体成型, 这样可以进一步提高支撑梁 1 对上部压敏电阻层 2 的?;ぷ饔?, 提高压力传感器整体的稳定性。

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