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    重庆时时彩十大骗局: 保持在卡盘工作台上的被加工物的测量装置及激光加工机.pdf

    摘要
    申请专利号:

    重庆时时彩单双窍门 www.4mum.com.cn CN200810003441.1

    申请日:

    2008.01.15

    公开号:

    CN101226892A

    公开日:

    2008.07.23

    当前法律状态:

    授权

    有效性:

    有权

    法律详情: 授权|||实质审查的生效|||公开
    IPC分类号: H01L21/66; H01L21/304; G01B11/00; G01B11/02; B28D5/00; B23K26/03; B23K26/40 主分类号: H01L21/66
    申请人: 株式会社迪思科
    发明人: 能丸圭司
    地址: 日本东京
    优先权: 2007.1.15 JP 2007-005709
    专利代理机构: 北京三友知识产权代理有限公司 代理人: 陈 坚
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN200810003441.1

    授权公告号:

    101226892B||||||

    法律状态公告日:

    2011.11.30|||2009.12.30|||2008.07.23

    法律状态类型:

    授权|||实质审查的生效|||公开

    摘要

    本发明提供一种保持在卡盘工作台上的被加工物的测量装置及激光加工机。测量装置能可靠地测量被加工物的高度,并具有:白色光源;对白色光进行会聚的色差透镜;分束器,配设在白色光源和色差透镜之间,对照射到被加工物上的白色光的反射光进行分光;第一聚光透镜,对经分光的反射光进行会聚;掩模,其配设在第一聚光透镜的聚光点位置并具有针孔;第二聚光透镜,对通过了掩模的针孔的反射光进行会聚;衍射光栅,将通过第二聚光透镜而会聚的反射光转换为衍射光;第三聚光透镜,对通过衍射光栅而衍射的衍射光进行会聚;波长检测构件,检测通过第三聚光透镜会聚的衍射光的波长;以及控制构件,根据来自波长检测构件的波长信号求出被加工物的高度位置。

    权利要求书

    权利要求书
    1.  一种保持在卡盘工作台上的被加工物的测量装置,其是测量保持在卡盘工作台上的被加工物的高度的测量装置,所述卡盘工作台装备在加工机上,用于保持被加工物,其特征在于,
    所述保持在卡盘工作台上的被加工物的测量装置具有:
    白色光源,其发出白色光;
    色差透镜,其对所述白色光源发出的白色光进行会聚,并将其照射向保持在卡盘工作台上的被加工物;
    分束器,其配设在所述白色光源和所述色差透镜之间,对照射到被加工物上的白色光的反射光进行分光;
    第一聚光透镜,其对经所述分束器分光的反射光进行会聚;
    掩模,其配设在所述第一聚光透镜的聚光点位置上,并且具有使通过所述第一聚光透镜而会聚的反射光通过的针孔;
    第二聚光透镜,其对通过了所述掩模的针孔的反射光进行会聚;
    衍射光栅,其将通过所述第二聚光透镜而会聚的反射光转换为衍射光;
    第三聚光透镜,其对通过所述衍射光栅而衍射的衍射光进行会聚;
    波长检测构件,其检测通过所述第三聚光透镜而会聚的衍射光的波长;以及
    控制构件,其根据来自所述波长检测构件的波长信号,来求出保持在卡盘工作台上的被加工物的高度位置,
    所述控制构件具有存储控制图的存储器,该控制图设定了通过所述色差透镜而会聚的白色光的波长与焦距之间的关系,所述控制构件将来自所述波长检测构件的波长信号与所述控制图对照,求出距所述色差透镜的焦距,从而测量保持在卡盘工作台上的被加工物的高度位置。

    2.  根据权利要求1所述的保持在卡盘工作台上的被加工物的测量装置,其特征在于,
    所述保持在卡盘工作台上的被加工物的测量装置具有:X轴移动构件,其使所述色差透镜和所述卡盘工作台在X轴方向上相对移动;Y轴移动构件,其使所述色差透镜和所述卡盘工作台在与X轴方向正交的Y轴方向上相对移动;所述卡盘工作台的X轴方向位置检测构件;以及所述卡盘工作台的Y轴方向位置检测构件,
    所述控制构件根据来自所述波长检测构件和所述X轴方向位置检测构件以及所述Y轴方向位置检测构件的检测信号,来求出被加工物在预定位置处的高度位置,所述控制构件具有存储所述被加工物在预定位置处的高度位置的存储器。

    3.  一种激光加工机,其具有:卡盘工作台,其具有保持被加工物的保持面;加工用激光光线照射构件,其向保持在所述卡盘工作台上的被加工物照射加工用的激光光线;以及聚光点位置调整构件,其使所述加工用激光光线照射构件在与卡盘工作台的所述保持面垂直的方向上移动,其特征在于,
    所述激光加工机配设有权利要求1所述的测量装置,所述测量装置测量保持在所述卡盘工作台上的被加工物的高度位置。

    关 键 词:
    保持 卡盘 工作 台上 加工 测量 装置 激光
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