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    重庆时时彩k线360: 薄膜的制造方法及制造装置,薄膜层叠体和电子元件.pdf

    摘要
    申请专利号:

    重庆时时彩单双窍门 www.4mum.com.cn CN98803514.6

    申请日:

    1998.03.12

    公开号:

    CN1251142A

    公开日:

    2000.04.19

    当前法律状态:

    终止

    有效性:

    无权

    法律详情: 未缴年费专利权终止IPC(主分类):C23C 14/04申请日:19980312授权公告日:20050112终止日期:20150312|||授权|||实质审查的生效申请日:1998.3.12|||公开
    IPC分类号: C23C14/04; C23C14/02; H01G4/015; B32B15/08; B05B1/00; H01L21/31; H01L21/203; H01L21/285; B05D1/02; H01C17/06; H01F41/04; H05K3/14 主分类号: C23C14/04; C23C14/02; H01G4/015; B32B15/08; B05B1/00; H01L21/31; H01L21/203; H01L21/285; B05D1/02; H01C17/06; H01F41/04; H05K3/14
    申请人: 松下电器产业株式会社;
    发明人: 本田和义; 越后纪康; 小田桐优; 砂流伸树
    地址: 日本大阪府门真市
    优先权: 1997.03.19 JP 65802/1997
    专利代理机构: 中国专利代理(香港)有限公司 代理人: 杨凯;叶恺东
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    法律状态
    申请(专利)号:

    CN98803514.6

    授权公告号:

    |||1184347||||||

    法律状态公告日:

    2016.05.04|||2005.01.12|||2000.04.26|||2000.04.19

    法律状态类型:

    专利权的终止|||授权|||实质审查的生效|||公开

    摘要

    一种形成薄膜的方法,在该方法中,在真空中在支撑体上形成金属等的薄膜时,在薄膜的形成之前,从喷嘴孔作为蒸汽流在薄膜上施加形成图形用的构图材料并在支撑体上附着了该液化物之后形成薄膜,这样来施加构图材料,使得从多个喷嘴孔施加的构图材料在支撑体上进行一体化??尚纬杉词雇夹慰矶缺淇?、在图形端部处的模糊程度也小的图形。

    权利要求书

    1: 一种在真空中在支撑体上形成薄膜的薄膜的制造方法,在该方法 中,在上述薄膜的形成之前,在上述薄膜上施加形成图形用的构图材料 之后形成上述薄膜,其特征在于: 用来自喷嘴孔的蒸汽流施加上述构图材料,而且在来自多个上述喷 嘴孔的上述蒸汽流的液化物在上述支撑体上一体化之后形成上述薄膜。
    2: 如权利要求1中所述的薄膜的制造方法,其特征在于: 上述多个喷嘴孔间的在上述薄膜的图形宽度方向上的间隔是在用孔 的数目除上述薄膜的上述图形宽度所得到的值以下。
    3: 如权利要求1中所述的薄膜的制造方法,其特征在于: 作为上述构图材料,使用在常温下为液体的以含氟油或矿物油或直 链烷烃为主要成分的材料。
    4: 一种薄膜的制造装置,包括:真空槽;上述真空槽内的支撑体; 在上述支撑体上形成薄膜的薄膜形成装置;以及为了在上述薄膜上形成 图形而在上述薄膜的形成之前在上述支撑体上施加构图材料的构图材料 施加装置,其特征在于: 上述构图材料施加装置具有多个使构图材料的蒸汽喷出到上述支撑 体上的喷嘴孔,这样来设置上述喷嘴孔,使得从至少两个喷嘴孔喷出的 上述构图材料在上述支撑体上构成一个图形。
    5: 一种薄膜的制造装置,包括:真空槽;上述真空槽内的支撑体; 在上述支撑体上形成薄膜的薄膜形成装置;以及为了在上述薄膜上形成 图形而在上述薄膜的形成之前在上述支撑体上施加构图材料的构图材料 施加装置,上述支撑体具有相对于上述构图材料施加装置移动的机构, 其特征在于: 上述构图材料施加装置具有使构图材料的蒸汽喷出到上述支撑体上 的喷嘴孔,上述喷嘴孔的形状是这样的,与上述支撑体相对移动的方向 相比,在与其正交的方向上较长。
    6: 一种薄膜的制造装置,包括:真空槽;上述真空槽内的支撑体; 在上述支撑体上形成薄膜的薄膜形成装置;以及为了在上述薄膜上形成 图形而在上述薄膜的形成之前在上述支撑体上施加构图材料的构图材料 施加装置,上述支撑体具有相对于上述构图材料施加装置移动的机构, 其特征在于: 上述构图材料施加装置具有使构图材料的蒸汽喷出到上述支撑体上 的喷嘴孔,上述喷嘴孔的形状具有与上述支撑体相对移动的方向平行的 线段。
    7: 一种薄膜的制造装置,包括:真空槽;上述真空槽内的支撑体; 在上述支撑体上形成薄膜的薄膜形成装置;以及为了在上述薄膜上形成 图形而在上述薄膜的形成之前在上述支撑体上施加构图材料的构图材料 施加装置,上述支撑体具有相对于上述构图材料施加装置移动的机构, 其特征在于: 上述构图材料施加装置具有使构图材料的蒸汽喷出到上述支撑体上 的喷嘴孔,上述喷嘴孔的形状具有在与上述支撑体相对移动的方向正交 的方向上的开口宽度中心部处与上述支撑体相对移动的方向平行的方向 的开口宽度变窄的中间变细的部分。
    8: 一种薄膜的制造装置,包括:真空槽;上述真空槽内的支撑体; 在上述支撑体上形成薄膜的薄膜形成装置;以及为了在上述薄膜上形成 图形而在上述薄膜的形成之前在上述支撑体上施加构图材料的构图材料 施加装置,上述支撑体具有相对于上述构图材料施加装置移动的机构, 其特征在于: 上述构图材料施加装置具有使构图材料的蒸汽喷出到上述支撑体上 的喷嘴孔,上述喷嘴孔的形状具有与上述支撑体相对移动的方向平行的 线段,而且具有在与上述支撑体相对移动的方向正交的方向上的开口宽 度中心部处与上述支撑体相对移动的方向平行的方向的开口宽度变窄的 中间变细的部分。
    9: 一种薄膜层叠体,该薄膜层叠体是层叠形成了图形的薄膜层和上 述薄膜层以外的薄膜层而构成的,其特征在于: 在上述图形的宽度方向上,具有图形中央部的透过光量的50%的透 过光量的地点间的距离D0在300μm以上,而且在上述图形的端部,透 过光量为图形中央部的透过光量的20%的地点与80%的地点之间的图 形宽度方向的距离D1是上述D0的1/5以下。
    10: 一种电子元件,其特征在于: 在权利要求9中所述的薄膜层叠体上形成电极而构成。
    11: 如权利要求10中所述的电子元件,其特征在于: 形成了图形的薄膜层是金属薄膜层,该电子元件包含2层以上的上 述金属薄膜层,起到电容器的功能。

    关 键 词:
    薄膜 制造 方法 装置 层叠 电子元件
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