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    重庆时时彩后四计划: 一种三维微力测量装置.pdf

    摘要
    申请专利号:

    重庆时时彩单双窍门 www.4mum.com.cn CN200910023227.7

    申请日:

    2009.07.07

    公开号:

    CN101710006A

    公开日:

    2010.05.19

    当前法律状态:

    终止

    有效性:

    无权

    法律详情: 未缴年费专利权终止IPC(主分类):G01L 1/22申请日:20090707授权公告日:20120425终止日期:20140707|||授权|||实质审查的生效IPC(主分类):G01L 1/22申请日:20090707|||公开
    IPC分类号: G01L1/22 主分类号: G01L1/22
    申请人: 西安交通大学
    发明人: 赵玉龙; 王伟忠; 林启敬; 蒋庄德
    地址: 710049 陕西省西安市咸宁路28号
    优先权:
    专利代理机构: 西安智大知识产权代理事务所 61215 代理人: 弋才富
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN200910023227.7

    授权公告号:

    |||101710006B||||||

    法律状态公告日:

    2015.09.02|||2012.04.25|||2010.07.07|||2010.05.19

    法律状态类型:

    专利权的终止|||授权|||实质审查的生效|||公开

    摘要

    一种三维微力测量装置,包括一减震平台3,减震平台3上固定有电控三维位移平台1与载物台2,并将压电陶瓷位移平台4固定在电控三维位移平台1的Z轴上,硅微三维微力传感器6固定在压电陶瓷平台4上,硅微三维微力传感器6的惠斯通电桥12将电压信号输出至放大运算电路13,电压信号经放大运算电路13放大后输入到数字显示???4中,可以同时进行μN级三维微力的测量,具有精度高、灵敏度高、线性好的特点。

    权利要求书

    1: 一种三维微力测量装置,包括一减震平台(3),在减震平台(3上相距一定位置分别固定有电控三维位移平台(1)与载物台(2),其特征是,将压电陶瓷位移平台(4)固定在电控三维位移平台(1)的Z轴上,硅微三维微力传感器(6)固定在压电陶瓷平台(4)上;硅微三维微力传感器(6)的惠斯通电桥(12)将电压信号输出至放大运算电路(13),电压信号经放大运算电路(13)放大后输入到数字显示???14)中。
    2: 根据权利要求1所说的三维微力测量装置,其特征是,硅微三维微力传感器(6)的探针(10)朝下。
    3: 根据权利要求1所说的三维微力测量装置,其特征是,放大运算电路(13)拟采用仪表放大器AD620。
    4: 根据权利要求1所说的三维微力测量装置,其特征是,数字显示???14)由包括了A/D转换??樵谀诘娜话隠ED显示芯片ICL7106组成。
    5: 根据权利要求1或2所说的三维微力测量装置,其特征是,探针(10)为石英光纤探针,探针尖直径小于60um。

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    一种 三维 测量 装置
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