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    重庆时时彩后三胆方法: 用于基板制造的曝光方法及其对位装置.pdf

    摘要
    申请专利号:

    重庆时时彩单双窍门 www.4mum.com.cn CN200910171618.3

    申请日:

    2009.08.31

    公开号:

    CN101718956A

    公开日:

    2010.06.02

    当前法律状态:

    终止

    有效性:

    无权

    法律详情: 未缴年费专利权终止IPC(主分类):G03F 7/20申请日:20090831授权公告日:20130605终止日期:20160831|||授权|||实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/20申请日:20090831|||公开
    IPC分类号: G03F7/20; G03F9/00 主分类号: G03F7/20
    申请人: 四川虹欧显示器件有限公司
    发明人: 何斌; 虞尚友; 徐家舒
    地址: 621000 四川省绵阳市经济开发区绵州大道中段186号长虹工业园
    优先权:
    专利代理机构: 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 代理人: 余刚
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN200910171618.3

    授权公告号:

    |||101718956B||||||

    法律状态公告日:

    2017.10.24|||2013.06.05|||2010.07.21|||2010.06.02

    法律状态类型:

    专利权的终止|||授权|||实质审查的生效|||公开

    摘要

    本发明公开了一种用于基板制造的曝光方法,包括以下步骤:将掩模上的两个掩模对位码与基板上的两个基板对位码精确对位,所述两个掩模对位码和所述两个基板对位码对应于所述基板上的两个用于曝光的区域,使用所述掩模对所述两个区域进行曝光。本发明还公开了一种用于基板制造的曝光的对位装置,包括:摄像???、画像处理???、指令??橐约爸葱心??。上述曝光方法及其对位装置在保证曝光图形一致性良好的同时,也保证了曝光后上述基板上曝光图形的平行度。

    权利要求书

    1: 一种用于基板制造的曝光方法,其特征在于,包括以下步骤: 将掩模上的两个掩模对位码与基板上的两个基板对位码精确对位,所述两个掩模对位码与所述两个基板对位码分别对应于所述基板上的两个用于曝光的区域; 使用所述掩模对所述两个区域进行曝光。
    2: 根据权利要求1所述的曝光方法,其特征在于,所述两个掩模对位码与所述两个基板对位码分别位于所述两个区域的中间。
    3: 根据权利要求2所述的曝光方法,其特征在于,所述两个掩模对位码与所述两个基板对位码分别位于与所述两个区域的平行方向相垂直的方向上。
    4: 根据权利要求1所述的曝光方法,其特征在于,所述两个基板对位码呈十字型或点圆型,对应的所述两个掩模对位码呈方环型或圆环型。
    5: 根据权利要求1所述的曝光方法,其特征在于,使用所述掩模对所述两个区域进行曝光具体包括:采用紫外线平行光进行两步骤曝光方法。
    6: 根据权利要求1-5之一所述的曝光方法,其特征在于,将所述掩模上的所述两个掩模对位码与所述基板上的所述两个基板对位码进行精确对位具体包括: 摄取所述基板上的所述两个基板对位码和所述掩模上的所述两个掩模对位码,所述两个基板对位码和所述两个掩模对位码分别对应于所述基板上的两个用于曝光的区域; 分析所述摄取的所述两个基板对位码和所述两个掩模对位码的几何形状信息,得到所述两个基板对位码和所述两个掩模对位码之间的重心的空间位置关系信息; 根据所述空间位置关系信息发出位置移动的指令; 执行所述指令,使所述基板相对于所述掩模发生移动,直至所述两个掩模对位码与所述两个基板对位码实现准确对位。
    7: 根据权利要求1所述的曝光方法,其特征在于,在使用所述掩模对所述两个区域进行曝光之后还包括: 采用所述两个掩模对位码和所述两个基板对位码对所述基板进行精确对位; 对所述基板进行一次性喷涂荧光粉。
    8: 一种用于基板制造的曝光的对位装置,其特征在于,包括: 摄像???,用于摄取基板上的两个基板对位码和掩模上的两个掩模对位码,所述两个基板对位码和所述两个掩模对位码分别对应于所述基板上的两个用于曝光的区域; 画像处理???,用于分析所述摄取的所述两个基板对位码和所述两个掩模对位码的几何形状信息,得到所述两个基板对位码和所述两个掩模对位码之间的重心的空间位置关系信息; 指令???,用于根据所述空间位置关系信息发出位置移动的指令; 执行???,用于使所述基板相对于所述掩模发生移动,直至所述两个掩模对位码与所述两个基板对位码实现准确对位。
    9: 根据权利要求8所述的对位装置,其特征在于,所述摄像??槭堑绾神詈掀骷阆裢?。
    10: 根据权利要求8所述的对位装置,其特征在于,所述指令??槭荘LC指令系统。

    关 键 词:
    用于 制造 曝光 方法 及其 对位 装置
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