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    重庆时时彩不定位胆技巧: 光电探测器固定装置.pdf

    摘要
    申请专利号:

    重庆时时彩单双窍门 www.4mum.com.cn CN200910198565.4

    申请日:

    2009.11.10

    公开号:

    CN101718957A

    公开日:

    2010.06.02

    当前法律状态:

    授权

    有效性:

    有权

    法律详情: 专利权人的姓名或者名称、地址的变更IPC(主分类):G03F 7/20变更事项:专利权人变更前:上海微电子装备有限公司变更后:上海微电子装备(集团)股份有限公司变更事项:地址变更前:201203 上海市张江高科技园区张东路1525号变更后:201203 上海市张江高科技园区张东路1525号|||授权|||实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/20申请日:20091110|||公开
    IPC分类号: G03F7/20 主分类号: G03F7/20
    申请人: 上海微电子装备有限公司
    发明人: 苏海业
    地址: 201203 上海市张江高科技园区张东路1525号
    优先权:
    专利代理机构: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 屈蘅;李时云
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN200910198565.4

    授权公告号:

    |||101718957B||||||

    法律状态公告日:

    2017.07.28|||2011.05.11|||2010.07.21|||2010.06.02

    法律状态类型:

    专利权人的姓名或者名称、地址的变更|||授权|||实质审查的生效|||公开

    摘要

    本发明提出一种光电探测器固定装置,用于将光电探测器固定在光刻装置中,光电探测器具有中心轴线,其一端为探测面,另一端为管脚。固定装置包括:中空圆台、固定座和顶块。中空圆台为以中心轴线对称的筒状结构,中空圆台包覆光电探测器,中空圆台外表面半径自探测面至管脚方向均匀增大。固定座固定在光刻装置中,固定座具有楔形开口,楔形开口的内壁形状与中空圆台的外表面相对应,包覆中空圆台的外表面。顶块包括压紧块和锁固件,锁固件锁合于固定座,锁固件抵压压紧块,压紧块抵压光电探测器具有管脚的一端和中空圆台。本发明所提供的固定装置适用于固定需要不断运动且运动稳定性要求高的光电探测器。

    权利要求书

    1: 一种光电探测器固定装置,用于将光电探测器固定在光刻装置中,上述光电探测器具有中心轴线,其一端为探测面,另一端为管脚,上述管脚焊接在电路板上,其特征在于,固定装置包括: 中空圆台,为以中心轴线对称的筒状结构,上述中空圆台包覆上述光电探测器,上述中空圆台外表面半径自上述探测面至上述管脚方向均匀增大; 固定座,固定在光刻装置中,上述固定座具有楔形开口,上述楔形开口的内壁形状与上述中空圆台的外表面相对应,包覆上述中空圆台的外表面;以及 顶块包括压紧块和锁固件,上述锁固件锁合于上述固定座,上述锁固件抵压上述压紧块,上述压紧块抵压上述光电探测器具有管脚的一端和上述中空圆台。
    2: 根据权利要求1所述的光电探测器固定装置,其特征在于,其中上述光电探测器的上述探测面自上述楔形开口露出。
    3: 根据权利要求1所述的光电探测器固定装置,其特征在于,其中上述压紧块和上述锁固件为一体成型。
    4: 根据权利要求1所述的光电探测器固定装置,其特征在于,其中上述中空圆台的材料为橡胶。
    5: 根据权利要求1所述的光电探测器固定装置,其特征在于,其中上述中空圆台的筒壁开有槽口,当上述光电探测器的尺寸变化,上述中空圆台利用上述槽口改变自身内外径尺寸充分包覆上述光电探测器。
    6: 根据权利要求1所述的光电探测器固定装置,其特征在于,其中上述压紧块具有内孔,上述光电探测器的管脚通过上述内孔焊接至上述电路板上。
    7: 根据权利要求1所述的光电探测器固定装置,其特征在于,其中上述压紧块具有槽口,上述槽口将上述内孔沿上述压紧块的径向贯通至上述压紧块外,装配时将上述压紧块从侧边装配于上述光电探测器与上述电路板之间。
    8: 根据权利要求1所述的光电探测器固定装置,其特征在于,其中上述固定座具有螺纹孔,上述锁固件利用螺钉锁合于上述固定座,上述螺钉调节上述顶块与上述固定座之间的距离。
    9: 根据权利要求1所述的光电探测器固定装置,其特征在于,其中上述锁固件具有空腔,形成容置空间容置上述电路板,上述锁固件为金属材料,对电路板进行电磁屏蔽。
    10: 根据权利要求9所述的光电探测器固定装置,其特征在于,其中上述顶块具有电路板压圈固定在上述锁固件的空腔内,抵压上述电路板上与管脚连接的表面的相反表面。

    说明书


    光电探测器固定装置

        【技术领域】

        本发明涉及一种固定装置,且特别涉及一种光刻装置中光电探测器的固定装置。

        背景技术

        在扫描光刻机的设计过程中,掩模台和工件台需要配置一个测量能量密度的能量传感器,能量传感器中有一个光电探测器,将光信号转换成电信号用来测量激光的各项指标。光电探测器的探测面一般以扫描光刻机系统的光轴为中心对称。

        光电探测器机构的最佳探测面很难把握和确定,需要进行不断的测试和试验来最终确定。在确定最佳探测面的基础上,需要做一个固定装置来保证光电探测器可换并且位置可调,在运动过程中还需满足光电探测器位置精度高、能承受一定的加速度。这样通过对不同型号光电探测器和不同位置进行测量,进行数据分析,确定每种光电探测器的最佳探测面。此固定装置要能够满足在运动中对不同外形尺寸的光电探测器进行自动抱紧和定心,稳定性高和运动偏心小,保证光电探测器自身探测面定心精度高和运动稳定性好。

        光电探测器通常包括壳体、尾纤和管脚。目前,光电探测器一般的固定方法为:通过管脚将光电探测器直接焊接在电路板上,下端与电路板贴合或者将探测器裸露于电路板上面,电路板再利用各种方法装配在基体上。

        这种方法使得光电探测器的定位精度完全取决于电路板的安装精度,然而一般电路板上焊接有许多部件,电路板外形和装配尺寸精度比较低。通常通过探测器探测面的大小来补偿与光轴中心对称度差的缺陷,这种方法使得探测器的定位精度低,稳定性差。

        如图4所示,中国专利ZL200320122065.0中介绍了一种供探测器使用的固定装置,其包括压板2和底套3,底套3套合在压板2的腔体内;压板2上部开有供探测器1的管脚穿过的排孔6,压板2的两个侧面上有用于同基体通过螺钉固定的固紧件5,压板2底部为空腔,压板2与底套3套合后形成的内部空腔大小与需固定的探测器1相适应,压板2的一侧面开有供探测器探头伸出的圆孔;所述的底套3带有凸缘,底套3内腔大小同探测器大小适配。

        该技术方案中的探测器固定在底套3和压板2内,不能相对于底套3和压板2移动,另外,探测器安装位置仍需要依靠探测器焊接于电路板上的精度来决定,因此安装精度不高。

        【发明内容】

        本发明提出一种光电探测器固定装置,能够解决上述问题。

        为了达到目的,本发明提出一种光电探测器固定装置,用于将光电探测器固定在光刻装置中,光电探测器具有中心轴线,其一端为探测面,另一端为管脚。固定装置包括:中空圆台、固定座和顶块。中空圆台为以中心轴线对称的筒状结构,中空圆台包覆光电探测器,中空圆台外表面半径自探测面至管脚方向均匀增大。固定座固定在光刻装置中,固定座具有楔形开口,楔形开口的内壁形状与中空圆台的外表面相对应,包覆中空圆台的外表面。顶块包括压紧块和锁固件,锁固件锁合于固定座,锁固件抵压压紧块,压紧块抵压光电探测器具有管脚的一端和中空圆台。

        可选的,其中上述光电探测器的上述探测面自上述楔形开口露出。

        可选的,其中上述压紧块和上述锁固件为一体成型。

        可选的,其中上述中空圆台的材料为橡胶。

        可选的,其中上述中空圆台的筒壁开有槽口,当上述光电探测器的尺寸变化,上述中空圆台利用上述槽口改变自身内外径尺寸充分包覆上述光电探测器。

        可选的,其中上述压紧块具有内孔,上述光电探测器的管脚通过上述内孔焊接至上述电路板上。

        可选的,其中上述压紧块具有槽口,上述槽口将上述内孔沿上述压紧块的径向贯通至上述压紧块外,装配时将上述压紧块从侧边装配于上述光电探测器与上述电路板之间。

        可选的,其中上述固定座具有螺纹孔,上述锁固件利用螺钉锁合于上述固定座,上述螺钉调节上述顶块与上述固定座之间的距离。

        可选的,其中上述锁固件具有空腔,形成容置空间容置上述电路板,上述锁固件为金属材料,对电路板进行电磁屏蔽。

        可选的,其中上述顶块具有电路板压圈固定在上述锁固件的空腔内,抵压上述电路板上与管脚连接的表面的相反表面。

        本发明提供的装置能够稳定地将光电探测器固定在光刻装置的光轴上;当更换光电探测器位置时,能够在不更换固定装置的基础上对光电探测器的位置进行调整,中空圆台的弹性特质使得其可以与具有一定公差带的一系列探测器配合良好,固定装置可以探测器经??苫坏厍榭鱿?,对不同的尺寸探测器都能达到紧配合;装配不同类型、不同基本尺寸的光电探测器时,能够通过更换中空圆台来扩大固定装置的应用范围。该固定装置还能够固定光电探测器的中心轴线,使得光电探测器安装至光刻装置对准系统中或者在光刻装置中调整探测面位置时,光电探测器的中心轴线与对准系统的光轴稳定重合,使用者无需再对光电探测器的中心轴线进行调整或者通过增大探测面的位置使得光电探测器位于光轴上。

        本发明所提供的固定装置适用于固定用来探测各项指标的测试实验和机构等中的光电探测器,这些光电探测器需要不断运动且运动稳定性要求高。本固定装置器件规模小,可用于单件小批量生产。

        【附图说明】

        图1为本发明较佳实施例的对准系统结构示意图;

        图2所示为本发明较佳实施例的光电探测器固定装置的结构示意;

        图3所示为图2中虚线部分元件的细部组装分解图;

        图4所示为先前技术中的探测器固定装置。

        【具体实施方式】

        为了更了解本发明的技术内容,特举具体实施例并配合所附图式说明如下。

        请参考图1,图1为本发明较佳实施例的光刻装置对准系统结构示意图。

        光刻装置中的对准系统200的光源??橹?,光源101发出的激光束经照明??榈恼彰鞴庋低?02、分束器103、物镜104和反射镜105形成照明光束,入射到对准标记109上。对准标记109的零级反射光、±1级衍射光和散射光依次经反射镜105、物镜104和分束器103反射进入成像??榈某上窆饴?。

        成像??橹械耐妇?06和透镜108形成准直光路,发散的对准标记109的衍射光经过位于中间像面(或频谱面)位置的空间滤波器107后零级光和杂散光被遮挡,只有±1级衍射光透过空间滤波器107,再经透镜108成像?!?级衍射光成像在探测??榈墓獾缣讲馄?00上。

        光电探测器100位于对准系统200的光轴上,其探头用于接收成像光路中的光线。对准系统200通过光电探测器100探测光强,获得对准光信号,光电探测器100将光信号转换为电信号来计算得到对准信号。

        对准系统200的光轴为固定的,因此,在更换光电探测器100的过程中,需要尽量保证光电探测器100的中心轴线在光轴上不变动,从而无需在固定光电探测器100后,再调整光电探测器100的中心轴线。

        图2所示为本发明较佳实施例的光电探测器固定装置的结构示意图。

        固定装置是采用一种弹性锥套机构来定位光电探测器100,来实现运动过程中光电探测器与光轴的定心精度和稳定性。

        本实施例中光电探测器100的一端为探测面11,另一端为管脚12,光电探测器100还具有中心轴线13,当装配到对准系统200(如图1所示)中时,中心轴线13与对准系统200的轴线重合。探测面11用来探测光信号,管脚12电性连接至电路板303,将电信号传递至电路板303相关接脚。

        本实施例中光电探测器100的外表面为圆柱形,在其他实施例中,光电探测器100的外表面还可以是方形或任何能够被弹性材料包覆的形状。

        本实施例中的光电探测器固定装置至少包括:中空圆台301、固定座305以及顶块302,这些元件均是以中心轴线13为中心轴。

        中空圆台301的剖面为以中心轴线13对称的筒状结构。中空圆台301的内表面与探测器109的外表面形状相对应,使得中空圆台301的内表面能够压合在探测器109的外表面,即中空圆台301包覆探测器109。中空圆台301的外表面为锥形,即中空圆台301的外径尺寸自探测面11至管脚12方向逐渐变大,中空圆台301的筒壁自探测面11至管脚12方向均匀增厚。

        固定座305在对准系统200中位置固定。固定座305具有楔形开口51,光电探测器100的探测面11自楔形开口51露出,用以探测光信号。楔形开口51的内壁形状与中空圆台301的外表面相对应,适于包覆在中空圆台301的外表面。

        图2中,顶块302包括压紧块21和锁固件22。锁固件22利用螺钉306锁合于固定座305,且当锁固件22锁合于固定座305,锁固件22抵压压紧块21,使得压紧块21抵压光电探测器100具有管脚12的一端和中空圆台301。

        本领域技术人员能够预见到,压紧块21和锁固件22可以是一体成型的。

        当压紧块21抵压光电探测器100具有管脚12的一端和中空圆台301,中空圆台301受到朝向探测面11方向的力,在固定件305的楔形开口51中移动,造成中空圆台301的外表面与楔形开口51的内壁逐渐紧压,中空圆台301与楔形开口51达到紧配合,这样,光电探测器100能够稳定地固定在光电探测器100固定装置内。由于中空圆台301的筒壁自探测面11至管脚12方向均匀增厚,在移动过程中光电探测器100的中心轴线13不会发生移动。

        以下为列举本实施例的各种变形例,其中的技术特征为可选,以使本领域技术人员能够充分了解本发明的各种实施方式。

        中空圆台301的材料为橡胶等能够进行弹性形变的材料,当中空圆台301与楔形开口51相对移动时,中空圆台301被弹性压缩,能够增加中空圆台301与楔形开口51之间的紧配合程度,提高固定装置的稳定性。

        图3所示为图2中虚线部分元件的细部组装分解图。

        如图3所示,中空圆台301侧边开有槽口14,当更换不同型号的光电探测器100时,中空圆台301的开槽14可进行尺寸变化,使得中空圆台301内外径尺寸减小或增大,以充分包覆电探测器109的外表面,提高固定装置的稳定性。

        压紧块21具有内孔22,光电探测器100的管脚12通过内孔22焊接至电路板303上。内孔22周围的压紧块21表面用来均匀抵压光电探测器100具有管脚12的一端和中空圆台301。

        压紧块21还可以具有槽口23,将内孔22沿径向贯通至压紧块21外,这样可以避开管脚12的影响,将压紧块21从侧边装配于光电探测器100与电路板303之间。

        如图2所示,固定座305具有螺纹孔52,利用螺钉306能够调节顶块302与固定座305之间的距离,以根据光电探测器100的尺寸调节光电探测器100在固定装置中的位置。

        如图2所示,锁固件22具有空腔,形成容置空间307,以容置电路板303。锁固件22可以是金属材料,用来对电路板303进行电磁屏蔽,防止电磁干扰。

        顶块302更具电路板压圈24固定在锁固件22的空腔内,用以抵压电路板303上与管脚12连接的表面的相反表面,电路板压圈24能够随着顶块302的移动抵压电路板303,以稳固光电探测器100与电路板303的电性连接。

        本发明提供的装置能够稳定地将光电探测器固定在光刻装置的光轴上;当更换光电探测器位置时,能够在不更换固定装置的基础上对光电探测器的位置进行调整,中空圆台的受力收缩性使得其可以与具有一定公差带的一系列探测器配合良好,固定装置可以探测器经??苫坏那榭鱿?,对不同的尺寸探测器都能达到紧配合;装配不同类型、不同基本尺寸的光电探测器时,能够通过更换中空圆台来扩大固定装置的应用范围。该固定装置还能够固定光电探测器的中心轴线,使得光电探测器安装至光刻装置对准系统中或者在光刻装置中调整探测面位置时,光电探测器的中心轴线与对准系统的光轴稳定重合,使用者无需再对光电探测器的中心轴线进行调整或者通过增大探测面的位置使得光电探测器位于光轴上。

        本发明所提供的固定装置适用于固定用来探测各项指标的测试实验和机构等中的光电探测器,这些光电探测器需要不断运动且运动稳定性要求高。本固定装置器件规模小,可用于单件小批量生产。

        虽然本发明已以较佳实施例揭露如上,然其并非用以限定本发明。本发明所属技术领域中具有通常知识者,在不脱离本发明的精神和范围内,当可作各种的更动与润饰。因此,本发明的?;し段У笔尤ɡ笫樗缍ㄕ呶?。

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