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    重庆时时彩玩家交流群: 晶圆派工方法.pdf

    摘要
    申请专利号:

    重庆时时彩单双窍门 www.4mum.com.cn CN201310630264.0

    申请日:

    2013.11.29

    公开号:

    CN103646891A

    公开日:

    2014.03.19

    当前法律状态:

    授权

    有效性:

    有权

    法律详情: 授权|||实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/66申请日:20131129|||公开
    IPC分类号: H01L21/66; G06Q10/06(2012.01)I 主分类号: H01L21/66
    申请人: 上?;ξ⒌缱佑邢薰?
    发明人: 沈晓栋; 邵雄
    地址: 201210 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路568号
    优先权:
    专利代理机构: 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 代理人: 吴世华;陶金龙
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201310630264.0

    授权公告号:

    ||||||

    法律状态公告日:

    2016.09.07|||2014.04.16|||2014.03.19

    法律状态类型:

    授权|||实质审查的生效|||公开

    摘要

    本发明公开了一种晶圆派工方法,属于集成电路领域。派工方法包括:根据FAB生产规则定义进入缺陷检测扫描平台的晶圆样本,据此生成抽样配置信息;根据所述抽样配置信息、机台的制程时间,生成派工规则,以将晶圆样本平均派工到制程机台组中的制程机台上。如此,随后到缺陷检测站点检查后,制程机台组中的每个机台都会有检查结果,避免了现有技术中YE工程师手动取消等操作,从而提高了良率监控方案的监控效率。

    权利要求书

    权利要求书
    1.  一种晶圆派工方法,其特征在于,包括:
    根据FAB生产规则定义进入缺陷检测扫描平台的晶圆样本,据此生成抽样配置信息;
    根据所述抽样配置信息、机台的制程时间,生成派工规则,以将晶圆样本平均派工到制程机台组中的制程机台上。

    2.  根据权利要求1所述的方法,其特征在于,根据FAB生产规则定义进入缺陷检测扫描平台的晶圆样本,据此生成抽样配置信息包括:
    定义一生产批号,根据生产批号的尾数来定义进入缺陷检测扫描平台的晶圆样本,据此生成抽样配置信息。

    3.  根据权利要求2所述的方法,其特征在于,所述机台的制程时间包括所述生产批号。

    4.  根据权利要求1或2所述的方法,其特征在于,所述生产批号的尾数为抽样产品批次。

    5.  根据权利要求2所述的方法,其特征在于,根据FAB生产规则定义进入缺陷检测扫描平台的晶圆样本,据此生成抽样配置信息还包括:
    根据生产批号的尾数有规律或者随机定义进入缺陷检测扫描平台的晶圆样本。

    6.  根据权利要求1所述的方法,其特征在于,将晶圆样本平均派工到制程机台组中的制程机台上时还包括:给已经分配了晶圆样本的制程机台赋予一生产标志。

    7.  根据权利要求1-6任意所述的方法,其特征在于,所述抽样配置信息包括晶圆样本的名称、晶圆样本加工的制程机台编号、FAB生产规则。

    8.  根据权利要求1-6任意所述的方法,其特征在于,所述机台的制程时间为产品进出制程机台的时间。

    9.  根据权利要求6所述的方法,其特征在于,还包括:当一组制程机台组中的每一个制程机台都分配了生产标志后,在下一个生产周期前,清除该生产标志。

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    晶圆派工 方法
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