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    重庆时时彩五码: 方块电阻测量设备及吸盘.pdf

    摘要
    申请专利号:

    重庆时时彩单双窍门 www.4mum.com.cn CN201310631418.8

    申请日:

    2013.11.29

    公开号:

    CN103645381A

    公开日:

    2014.03.19

    当前法律状态:

    授权

    有效性:

    有权

    法律详情: 授权|||实质审查的生效IPC(主分类):G01R 27/02申请日:20131129|||公开
    IPC分类号: G01R27/02; H01L21/683 主分类号: G01R27/02
    申请人: 上?;ξ⒌缱佑邢薰?
    发明人: 叶青; 刘玮; 徐伯山; 周峻晨; 倪战平; 冯君; 吕杰; 黄磊
    地址: 201210 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路568号
    优先权:
    专利代理机构: 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 代理人: 吴世华;陶金龙
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201310631418.8

    授权公告号:

    ||||||

    法律状态公告日:

    2016.04.06|||2014.04.16|||2014.03.19

    法律状态类型:

    授权|||实质审查的生效|||公开

    摘要

    本发明公开了一种方块电阻测量设备及吸盘,属于集成电路领域。测量设备包括:吸盘,所述吸盘的内腔中设置有多条真空气路,所述吸盘吸附晶圆的表面设置有真空孔,多个所述真空气路与所述真空孔连通,在所述真空气路中有选择性的设置气体控制机构;真空气管,所述真空气管与所述吸盘内腔中的真空气路相通,再通过所述气体控制机构控制所述真空气路的真空气压,维持所述吸盘吸附晶圆时需要的真空气压。本发明的下述实施例中,通过在真空气路中有选择性的设置气体控制机构比如一气动阀,用于通过开关状态,控制所述真空气路的真空气压,维持吸盘吸附晶圆所需的真空气压,使得晶圆可以牢固的吸附在吸盘上,避免了在晶圆的量测过程中报警现象的发生。

    权利要求书

    权利要求书
    1.  一种方块电阻测量设备,其特征在于,包括:
    吸盘,所述吸盘的内腔中设置有多条真空气路,所述吸盘吸附晶圆的表面设置有真空孔,多个所述真空气路与所述真空孔连通,在所述真空气路中有选择性的设置气体控制机构;
    真空气管,所述真空气管与所述吸盘内腔中的真空气路相通,再通过所述气体控制机构控制所述真空气路的真空气压,维持所述吸盘吸附晶圆时需要的真空气压。

    2.  根据权利要求1所述的设备,其特征在于,根据晶圆发生变形的可能部位来设置所述气体控制机构。

    3.  根据权利要求2所述的设备,当晶圆的外延发生翘起变形,则仅在所述吸盘表面最外围所述真空孔对应的所述真空气路中设置所述气体控制机构。

    4.  根据权利要求2所述的设备,在所述吸盘的内腔中每条所述真空气路中均设置气体控制机构。

    5.  根据权利要求1-3任一所述的设备,其特征在于,所述气体控制机构为一气动阀,用于通过开关状态,控制所述真空气路的真空气压。

    6.  一种吸盘,其特征在于,所述吸盘的内腔中设置有多条真空气路,所述吸盘吸附晶圆的表面设置有真空孔,多个所述真空气路与所述真空孔连通,在所述真空气路中有选择性的设置气体控制机构。

    7.  根据权利要求6所述的吸盘,其特征在于,根据晶圆发生变形的可能部位来设置所述气体控制机构。

    8.  根据权利要求6所述的吸盘,当晶圆的外延发生翘起变形,则仅在所述吸盘表面最外围所述真空孔对应的所述真空气路中设置所述气体控制机构。

    9.  根据权利要求6所述的吸盘,在所述吸盘的内腔中每条所述真空气路中均设置气体控制机构。

    10.  根据权利要求6-9任一所述的吸盘,其特征在于,所述气体控制机构为一气动阀,用于通过开关状态,控制所述真空气路的真空气压。

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    方块 电阻 测量 设备 吸盘
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