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    重庆时时彩真坑: 基于石墨烯碳纳米管复合材料的电阻式相对湿度传感器.pdf

    摘要
    申请专利号:

    重庆时时彩单双窍门 www.4mum.com.cn CN201310289863.0

    申请日:

    2013.07.09

    公开号:

    CN103323498A

    公开日:

    2013.09.25

    当前法律状态:

    授权

    有效性:

    有权

    法律详情: 授权|||实质审查的生效IPC(主分类):G01N 27/04申请日:20130709|||公开
    IPC分类号: G01N27/04 主分类号: G01N27/04
    申请人: 山东师范大学
    发明人: 姜守振; 张超; 仇恒伟
    地址: 250014 山东省济南市历下区文化东路88号
    优先权:
    专利代理机构: 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 代理人: 杨琪
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201310289863.0

    授权公告号:

    ||||||

    法律状态公告日:

    2015.03.25|||2013.10.30|||2013.09.25

    法律状态类型:

    授权|||实质审查的生效|||公开

    摘要

    本发明公开了一种基于石墨烯碳纳米管复合材料的电阻式相对湿度传感器,包括衬底以及位于衬底上的敏感层,敏感层上印刷有一对电极,这一对电极均通过电极引线连接至欧姆表;敏感层为石墨烯碳纳米管复合材料,石墨烯碳纳米管复合材料通过化学气相沉积法直接沉积于衬底上。本发明结构简单可靠、成本低、易于实现批量生产,该相对湿度传感器便于携带且在反应时间、一致性、精确度等方面的指标均高于传统方式生产的湿度传感器。采用化学气相沉积法,实现了石墨烯碳纳米管复合材料的直接制备,简化了制备工艺,同时制备的石墨烯碳纳米管的形貌可控并且具有优异的光学及电学特性,而极大地促进的石墨烯碳纳米管复合材料的应用。

    权利要求书

    权利要求书
    1.   一种基于石墨烯碳纳米管复合材料的电阻式相对湿度传感器,其特征在于,包括衬底以及位于衬底上的敏感层,所述敏感层上印刷有一对电极,这一对电极均通过电极引线连接至欧姆表;所述敏感层为石墨烯碳纳米管复合材料,所述石墨烯碳纳米管复合材料通过化学气相沉积法直接沉积于衬底上。

    2.   根据权利要求1所述的电阻式相对湿度传感器,其特征在于,所述衬底为未抛光的石英片。

    3.   权利要求1或2所述的电阻式相对湿度传感器的制备方法,其特征在于,具体步骤如下:
    1)将催化金属箔片和衬底放入反应炉中,在800~1200℃范围内对催化金属箔片以及衬底表面退火处理,向反应炉内通入碳源气体,通过化学气相沉积法使得衬底表面直接生长石墨烯纳米管复合材料;
    2)在表面沉积有石墨烯碳纳米管复合材料的衬底上,印刷电极I和电极II,并将电极I和电极II连接至欧姆表。

    4.   根据权利要求3所述的制备方法,其特征在于,所述步骤1)的具体方法是:
    11)将催化金属箔片置于反应炉的恒温区域,衬底置于反应炉的炉尾区域;
    12)将反应炉内的气压抽至极限真空状态1.33×10?4~3.99×10?4Pa,保持真空状态15~40分钟后,将石英管内的气压升至0.133~0.399Pa,注入氢气,其流量控制在50~100mL/min.;反应炉达到设定温度后,恒温20~60分钟,退火;
    13)向抽真空的反应炉内通入碳源气体,通过化学气相沉积法使得衬底表面直接生长石墨烯纳米管复合材料;
    14)生长完成后,冷却至室温,取出长有石墨烯碳纳米管复合材料的衬底。

    5.   根据权利要求4所述的制备方法,其特征在于,所述催化金属箔片为铜箔或镍箔,所述衬底为未抛光的石英片。

    6.   根据权利要求4所述的制备方法,其特征在于,所述碳源气体为甲烷,其流量控制在50~300mL/min.。

    7.   根据权利要求4所述的制备方法,其特征在于,所述石墨烯碳纳米管复合材料的生长时间控制在30~180分钟。

    8.   根据权利要求4所述的制备方法,其特征在于,所述反应炉包括管式炉以及与其配套的石英管,所述石英管的一侧通过真空计分别与氢气流量计和碳源气体流量计连接,氢气流量计和碳源气体流量计分别与氢气和碳源气体气瓶连接;另一侧通过阀门与真空泵连接。

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    基于 石墨 纳米 复合材料 电阻 相对湿度 传感器
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