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    重庆时时彩预警: 基于游标效应的双微环谐振腔光学生化传感芯片.pdf

    摘要
    申请专利号:

    重庆时时彩单双窍门 www.4mum.com.cn CN201310180737.1

    申请日:

    2013.05.16

    公开号:

    CN103308476A

    公开日:

    2013.09.18

    当前法律状态:

    授权

    有效性:

    有权

    法律详情: 授权|||实质审查的生效IPC(主分类):G01N 21/41申请日:20130516|||公开
    IPC分类号: G01N21/41 主分类号: G01N21/41
    申请人: 成都谱视科技有限公司
    发明人: 袁国慧; 王卓然; 高亮
    地址: 610041 四川省成都市成都高新区高朋大道5号1栋110室
    优先权:
    专利代理机构: 成都宏顺专利代理事务所(普通合伙) 51227 代理人: 周永宏
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201310180737.1

    授权公告号:

    ||||||

    法律状态公告日:

    2016.04.06|||2013.10.23|||2013.09.18

    法律状态类型:

    授权|||实质审查的生效|||公开

    摘要

    本发明的基于游标效应的双微环谐振腔光学生化传感芯片,包括自下而上依次层叠键合的硅基层、二氧化硅层和单晶硅层构成的SOI基体,SOI基体的单晶硅层包含光学耦合连接的两个微环谐振腔。所述的微环谐振腔在空间结构上为层叠状。由于在方案中引入狭缝光波导结构,而狭缝波导能够将光极大的限制在狭缝区域以增强光和物质之间的相互作用,其优势在于狭缝空间中的光能量密度远远大于倏逝场中光能量的密度,光与物质相互作用更强,检测灵敏度更高。并可以在达到相同传感性能的条件下,有利于实现光学生化传感器的微型化与片上传感系统。

    权利要求书

    权利要求书
    1.   基于游标效应的双微环谐振腔光学生化传感芯片,包括自下而上依次层叠键合的硅基层、二氧化硅层和单晶硅层构成的SOI基体,其特征在于,所述SOI基体的单晶硅层包含第一光学谐振腔和第二光学谐振腔,所述第一光学谐振腔与第二光学谐振腔具有不相同的自由光谱范围,二者光学耦合连接,所述第一光学谐振腔和第二光学谐振腔同为微环谐振腔。

    2.   根据权利要求1所述的基于游标效应的双微环谐振腔光学生化传感芯片,其特征在于,所述的第一光学谐振腔和第二光学谐振腔在空间结构上为层叠状。

    3.   根据权利要求1所述的基于游标效应的双微环谐振腔光学生化传感芯片,其特征在于,所述生化传感芯片的SOI基体的单晶硅层还包括狭缝光波导,所述狭缝光波导位于第一光学谐振腔和/或第二光学谐振腔的光信号传播路径上。

    4.   根据权利要求3所述的基于游标效应的双微环谐振腔光学生化传感芯片,其特征在于,所述狭缝光波导的狭缝为垂直于单晶硅层表面由单晶硅层向下刻蚀形成的狭缝。

    5.   根据权利要求3或4所述的基于游标效应的双微环谐振腔光学生化传感芯片,其特征在于,所述狭缝光波导的狭缝深度等于单晶硅层厚度。

    6.   根据权利要求3或4所述的基于游标效应的双微环谐振腔光学生化传感芯片,其特征在于,所述狭缝光波导的狭缝宽度为80nm~120nm。

    关 键 词:
    基于 游标 效应 双微环 谐振腔 光学 生化 传感 芯片
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