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    重庆时时彩频率k线: 一种单凸梁式微机械加速度传感器.pdf

    摘要
    申请专利号:

    重庆时时彩单双窍门 www.4mum.com.cn CN201310271573.3

    申请日:

    2013.07.02

    公开号:

    CN103308718A

    公开日:

    2013.09.18

    当前法律状态:

    撤回

    有效性:

    无权

    法律详情: 发明专利申请公布后的视为撤回IPC(主分类):G01P 15/12申请公布日:20130918|||实质审查的生效IPC(主分类):G01P 15/12申请日:20130702|||公开
    IPC分类号: G01P15/12 主分类号: G01P15/12
    申请人: 中国工程物理研究院电子工程研究所
    发明人: 孙远程; 袁明权; 张茜梅; 王海青; 武蕊; 屈明山
    地址: 621900 四川省绵阳市919信箱512分箱
    优先权:
    专利代理机构: 中国工程物理研究院专利中心 51210 代理人: 翟长明;韩志英
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201310271573.3

    授权公告号:

    ||||||

    法律状态公告日:

    2015.06.24|||2013.10.23|||2013.09.18

    法律状态类型:

    发明专利申请公布后的视为撤回|||实质审查的生效|||公开

    摘要

    本发明提供了一种单凸梁式微机械加速度传感器。所述的传感器包括敏感芯片和下玻璃板;其中,敏感芯片含有框架、敏感凸梁、质量块及压敏电阻;其连接关系是,所述框架内设置有敏感凸梁,敏感凸梁一端与框架相连,另一端与质量块相连,敏感凸梁和质量块共同构成敏感芯片的可动部分;压敏电阻设置在敏感凸梁上表面:所述的敏感芯片与下玻璃板通过键合连接。所述的敏感芯片中敏感凸梁采用长度相等的上下两个矩形梁复合而成,上窄下宽。所述的敏感芯片中的可动部分与下玻璃板之间有间隙。本发明的单凸梁微机械加速度传感器在相同固有频率下灵敏度比普通悬臂梁高,反之在相同灵敏度的情况下则有更高的固有频率。

    权利要求书

    权利要求书
    1.   一种单凸梁式微机械加速度传感器,其特征在于:所述的传感器包括敏感芯片和下玻璃板(5);其中,敏感芯片含有框架(1)、敏感凸梁(2)、质量块(3)、压敏电阻,其连接关系是,所述框架(1)内设置有敏感凸梁(2),敏感凸梁(2)的一端与框架(1)相连,另一端与质量块(3)相连,敏感凸梁(2)和质量块(3)共同构成敏感芯片的可动部分;压敏电阻设置在敏感凸梁(2)上表面:所述的敏感芯片与下玻璃板(5)通过键合连接。

    2.   根据权利要求l所述的单凸梁式微机械加速度传感器,其特征在于:所述的敏感芯片中的敏感凸梁(2)采用长度相等的上矩形梁、下矩形梁复合而成。

    3.   根据权利要求1所述的单凸梁式微机械加速度传感器,其特征在于:所述的敏感凸梁(2)中的上矩形梁的宽度小于下矩形梁的宽度,两者宽度之比为0.2~0.8。

    4.   根据权利要求l所述的单凸梁式微机械加速度传感器,其特征在于:所述的下矩形梁的厚度与上矩形梁的厚度之比为0.2~5。

    5.   根据权利要求l所述的单凸梁式微机械加速度传感器,其特征在于,所述的压敏电阻设置为四个,放置在敏感凸梁(2)的顶部,四个压敏电阻首尾相接构成一个正方形,正方形的四个边分别与框架(1)的四个边平行。

    6.   根据权利要求1所述的单凸梁式微机械加速度传感器,其特征在于:所述的敏感芯片中的可动部分与下玻璃板(5)之间的距离为2μm~20μm。

    关 键 词:
    一种 单凸梁 式微 机械 加速度 传感器
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