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    重庆时时彩五码直选: 探针装置和探针装置的探针卡安装方法.pdf

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    探针 装置 安装 方法
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    摘要
    申请专利号:

    CN201310081238.7

    申请日:

    2013.03.14

    公开号:

    CN103308734A

    公开日:

    2013.09.18

    当前法律状态:

    撤回

    有效性:

    无权

    法律详情: 发明专利申请公布后的视为撤回IPC(主分类):H01L 21/66申请公布日:20130918|||实质审查的生效IPC(主分类):G01R 1/073申请日:20130314|||公开
    IPC分类号: G01R1/073 主分类号: G01R1/073
    申请人: 东京毅力科创株式会社
    发明人: 秋山收司; 雨宫浩
    地址: 日本东京都
    优先权: 2012.03.14 JP 2012-057236
    专利代理机构: 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 代理人: 龙淳
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201310081238.7

    授权公告号:

    ||||||

    法律状态公告日:

    2015.12.23|||2013.10.23|||2013.09.18

    法律状态类型:

    发明专利申请公布后的视为撤回|||实质审查的生效|||公开

    摘要

    本发明提供一种搬送探针卡且进行安装时能够可靠地进行交接、并能够抑制探针卡地破损等的发生的探针装置和探针装置的探针卡安装方法,其包括:卡夹持机构;晶片吸盘;盘,其下表面配置有对位用标记;盘支承机构,其能够支承盘;摄像机;移动机构,其用于将盘搬入到与盘支承机构的交接位置;和控制单元,其利用摄像机对通过移动机构配置于交接位置的盘的对位用标记进行摄像,检测该对位用标记的位置,当对位用标记的位置位于规定的范围内时,进行从移动机构到盘支承机构的探针卡的交接;当对位用标记的位置位于规定的范围外时,中止从移动机构到盘支承机构的探针卡的交接。

    关于本文
    本文标题:探针装置和探针装置的探针卡安装方法.pdf
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