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    重庆时时彩万位杀: 晶片检查用接口装置和晶片检查装置.pdf

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    晶片 检查 接口 装置
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    摘要
    申请专利号:

    CN201310074078.3

    申请日:

    2013.03.08

    公开号:

    CN103308845A

    公开日:

    2013.09.18

    当前法律状态:

    授权

    有效性:

    有权

    法律详情: 授权|||实质审查的生效IPC(主分类):G01R 31/28申请日:20130308|||公开
    IPC分类号: G01R31/28 主分类号: G01R31/28
    申请人: 东京毅力科创株式会社
    发明人: 山田浩史
    地址: 日本东京都
    优先权: 2012.03.09 JP 2012-052914
    专利代理机构: 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 代理人: 龙淳
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201310074078.3

    授权公告号:

    ||||||

    法律状态公告日:

    2015.12.02|||2013.10.23|||2013.09.18

    法律状态类型:

    授权|||实质审查的生效|||公开

    摘要

    本发明提供一种晶片检查用接口装置,其能够消除基于温度变化导致的晶片与探针卡的位置偏差,能够将设置于晶片的半导体器件的电极与形成于探针卡的探针准确地对位,对半导体器件进行适当的电特性检查。晶片检查用接口装置(18)包括:探针卡(20),其在与晶片(W)相对的面具备与形成于该晶片(W)的多个半导体器件的电极对应设置的多个探针(25);弹簧框架(40),其与该探针卡(20)的与晶片(W)相对的面的相反侧的面抵接而支承该探针卡(20);和设置于弹簧框架(40)的加热器(44),加热器(44)沿着设置于弹簧框架的贯通孔(43)的各边配置为格子状。

    关于本文
    本文标题:晶片检查用接口装置和晶片检查装置.pdf
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