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    重庆时时彩3星走势图带: 晶片检查用接口装置和晶片检查装置.pdf

    摘要
    申请专利号:

    重庆时时彩单双窍门 www.4mum.com.cn CN201310074078.3

    申请日:

    2013.03.08

    公开号:

    CN103308845A

    公开日:

    2013.09.18

    当前法律状态:

    授权

    有效性:

    有权

    法律详情: 授权|||实质审查的生效IPC(主分类):G01R 31/28申请日:20130308|||公开
    IPC分类号: G01R31/28 主分类号: G01R31/28
    申请人: 东京毅力科创株式会社
    发明人: 山田浩史
    地址: 日本东京都
    优先权: 2012.03.09 JP 2012-052914
    专利代理机构: 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 代理人: 龙淳
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201310074078.3

    授权公告号:

    ||||||

    法律状态公告日:

    2015.12.02|||2013.10.23|||2013.09.18

    法律状态类型:

    授权|||实质审查的生效|||公开

    摘要

    本发明提供一种晶片检查用接口装置,其能够消除基于温度变化导致的晶片与探针卡的位置偏差,能够将设置于晶片的半导体器件的电极与形成于探针卡的探针准确地对位,对半导体器件进行适当的电特性检查。晶片检查用接口装置(18)包括:探针卡(20),其在与晶片(W)相对的面具备与形成于该晶片(W)的多个半导体器件的电极对应设置的多个探针(25);弹簧框架(40),其与该探针卡(20)的与晶片(W)相对的面的相反侧的面抵接而支承该探针卡(20);和设置于弹簧框架(40)的加热器(44),加热器(44)沿着设置于弹簧框架的贯通孔(43)的各边配置为格子状。

    权利要求书

    权利要求书
    1.   一种晶片检查用接口装置,其特征在于,包括:
    探针卡,其在与晶片相对的面具备与形成于该晶片的多个半导体器件的电极对应设置的多个探针;
    框架,其与该探针卡的与所述晶片相对的面的相反侧的面抵接而支承该探针卡;和
    设置于该框架的加热部件。

    2.   如权利要求1所述的晶片检查用接口装置,其特征在于:
    所述加热部件为线状加热器。

    3.   如权利要求2所述的晶片检查用接口装置,其特征在于:
    所述框架具有多个矩形的贯通孔,所述线状加热器沿着多个所述贯通孔的各边设置。

    4.   如权利要求3所述的晶片检查用接口装置,其特征在于:
    所述线状加热器沿着所述贯通孔的各边设置为格子状。

    5.   如权利要求2~4中任一项所述的晶片检查用接口装置,其特征在于:
    所述线状加热器,设置于在所述框架的沿着厚度方向的截面中,与所述探针卡的抵接面一侧。

    6.   如权利要求1~5中任一项所述的晶片检查用接口装置,其特征在于:
    所述探针卡的各探针被预先偏置地配置,使得当所述探针卡被加热至规定温度而膨胀时,分别与在该规定温度的所述晶片形成的所述半导体器件的各电极抵接。

    7.   如权利要求6所述的晶片检查用接口装置,其特征在于:
    所述规定温度为-30℃~+100℃的范围内的温度。

    8.   如权利要求3~7中任一项所述的晶片检查用接口装置,其特征在于:
    所述贯通孔为弹簧针用的贯通孔。

    9.   一种晶片检查装置,其特征在于,具备:
    对形成于晶片的半导体器件的电特性进行检查的检查室;和
    向该检查室进行所述晶片的搬入搬出的搬送机构,
    所述检查室具有晶片检查用接口装置,
    该晶片检查用接口装置具备:
    探针卡,其在与晶片相对的面具备与形成于该晶片的多个半导体器件的电极对应设置的多个探针;
    框架,其与该探针卡的与所述晶片相对的面的相反侧的面抵接而支承该探针卡;和
    设置于该框架的加热部件。

    关 键 词:
    晶片 检查 接口 装置
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